采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统的制作方法
【专利摘要】采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统，属于新型光学准直结构应用【技术领域】，为了解决现有光栅曝光系统无法满足曝光系统的精度要求问题，激光束投射到分光器，形成两束有一定角度的相干平行光，两束光分别两套完全相同的装置，其中一束光经过反射镜进入空间滤波器，去掉光学干扰后再进入准直结构，形成准直光后入射到光栅基底上，由于是两束相干平行光，它们在相干长度范围内相遇，产生出稳定的干涉条纹，将干涉条纹记录到光栅基底上；其特征是，所述准直结构为非球面单透镜，该非球面单透镜一面为非球面，另一面为平面，非球面满足下式R：非球面顶点的曲率半径；K：二次曲面系数，K>0；A＝B＝C＝D＝E＝F＝G＝H＝I＝0。
【专利说明】采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统
【技术领域】
[0001] 本发明涉及采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统，属于新型光学准直 结构应用【技术领域】。
【背景技术】
[0002] 在传统的光栅曝光系统中，准直结构为保证像质，多采用两片或者两片以上的透 镜来实现。由于多片透镜存在安装复杂，传输效率低的原因，并且一般的准系统通过两套四 片镜子来完成，因为折射率不同，弥补相差，所以透镜的材料不同，一种透镜材料硬度较硬， 一种透镜材料硬度较软。加工难易程度不同，都要达到高精度很难实现。从而导致整个系 统的精度不能满足设计的精度要求，无法满足曝光系统的精度要求。但采用非球面单透镜 的结构，只要一种硬度较硬的材料就能解决，从而避免多片透镜产生的问题，只要加工满足 技术要求，整个系统就能满足要求的精度指标。传统的曝光系统的原理如图1所示。
【发明内容】
[0003] 本发明解决现有光栅曝光系统无法满足曝光系统的精度要求问题，提出一种采用 非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统。
[0004] 本发明的技术方案是：
[0005] 采用非球面透镜作为光学准直结构的光栅曝光系统，激光束投射到分光器，形成 两束有一定角度的相干平行光，两束光分别两套完全相同的装置，其中一束光经过反射镜 进入空间滤波器，去掉光学干扰后再进入准直结构，形成准直光后入射到光栅基底上，由于 是两束相干平行光，它们在相干长度范围内相遇，产生出稳定的干涉条纹，将干涉条纹记录 到光栅基底上；其特征是，所述准直结构为非球面单透镜，该非球面单透镜一面为非球面， 另一面为平面，所述非球面满足下式：
[0006]
【权利要求】
1.采用非球面透镜作为光学准直结构的光栅曝光系统，激光束投射到分光器（1)，形 成两束有一定角度的相干平行光，两束光分别两套完全相同的装置，其中一束光经过反射 镜（2)进入空间滤波器（3)，去掉光学干扰后再进入准直结构（6)，形成准直光后入射到光 栅基底（5)上，由于是两束相干平行光，它们在相干长度范围内相遇，产生出稳定的干涉条 纹，将干涉条纹记录到光栅基底（5)上；其特征是，所述准直结构（6)为非球面单透镜，该非 球面单透镜一面为非球面，另一面为平面，所述非球面满足下式：
其中，R:非球面顶点的曲率半径；K:二次曲面系数，K>0;A=B=C=D=E=F=G =H=I= 0〇
【文档编号】G02B3/02GK104483725SQ201410833080
【公开日】2015年4月1日 申请日期:2014年12月29日 优先权日:2014年12月29日
【发明者】高明辉, 郑玉权, 陈伟 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所