超薄型滤光片镀膜装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种实现上述超薄型滤光片生产工艺，且能有效提高镀膜均匀度的超薄型滤光片镀膜装置，其包括镀膜腔，所述镀膜腔内设有蒸镀源，所述蒸镀源上设有一外套筒，所述外套筒套设在所述蒸镀源上，所述外套筒的顶部设有一个一端开口的插槽，所述插槽内设有一可抽拉的弹性膜支架。使用该镀膜装置的生产工艺使用水洗膜代替透光基片，镀膜时会在水洗膜上形成镀膜层，镀膜完成后通过拉伸弹性膜使镀膜层分隔成规定尺寸的小块，最后在采用水洗的方式使镀膜层与水洗膜分离开来，这样就会形成无基片的滤光片，从而可有效降低滤光片的厚度。
【专利说明】超薄型滤光片镀膜装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及用于通讯领域的滤光片，特别涉及一种超薄型的滤光片镀膜的装置。
【背景技术】
[0002]光通信是指以光作为信息载体而实现的通信方式，按传输介质的不同可分为大气激光通信和光纤通信两种。光通信具有通信容量大、传输距离长、抗电磁干扰、传输质量佳、信号串扰小、保密性好等优点，是未来传输网络发展的最终目标，具有非常广阔的市场前景。在光通信产品的双向收发器模块中，通过选定波长的雷射讯号，而反射不需要的波段通常采用滤光片(edge filters)实现，可以说滤光片在光通信产品中起着致关重要的作用。带通滤光片是一种可从复合光中分离出某一波段单色光的光学器件，带通滤光片是通过在透光基片上镀电介质金属膜制成的，其利用电介质金属膜的干涉作用来从入射光中选取特定波段的光使其通过。滤光片上带通的宽度由滤光片上电介质金属膜的厚度决定，因此为了保证滤光片的质量，必须要保证滤光片上的厚度一致。
[0003]在滤光片的使用过程中，真正起作用的实际上是金属膜，透光基片只起到支撑镀膜的作用。随着通信设备逐渐向小型化方向发展，对滤光片厚度的要求越来越高，为了能够减小滤光片的厚度，人们普遍的想法就是减小透光基片的厚度，这样做虽然在一定程度上可以减小滤光片的厚度，但仍不能满足很多光电通讯设备的要求，最好的办法是将透光基片去除，但目前的工艺很难实现。
实用新型内容
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供了一种不使用透光基片的超薄型滤光片的镀膜装置。
[0005]为达到上述目的，本实用新型的实施例公开了一种超薄型滤光的镀膜装置，其包括镀膜腔，所述镀膜腔内设有蒸镀源，所述蒸镀源上设有一外套筒，所述外套筒套设在所述蒸镀源上，所述外套筒的顶部设有一个一端开口的插槽，所述插槽内设有一可抽拉的弹性膜支架。
[0006]进一步地，所述外套筒内设有一内套筒，所述外套筒与所述内套筒同轴设置，所述内套筒位于所述弹性膜支撑架下方，所述外套筒与所述内套筒之间通过数个均匀分布的紊流片连接，所述紊流片具有一定扭曲角度。
[0007]进一步地，所述外套筒的两端大、中间小。
[0008]进一步地，所述紊流片的扭曲角度为13-17°。
[0009]进一步地，所述紊流片的外表面设有导流槽。
[0010]该超薄型滤光片的镀膜装置在外套筒的顶部设置一端开口的插槽，弹性膜支架可抽拉的插在该插槽内，这样可非常方便的将弹性膜及水洗膜插入到外套筒内进行镀膜，镀膜完成后可非常方便的将支架抽出进行水洗、剥离，而且能有效保证滤光片厚度的一致性，可有效提尚滤光片的质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1为本实用新型实施例镀膜装置的结构示意图。
[0013]图2为本实用新型实施例外套筒的俯视图。
[0014]图3为本实用新型实施例弹性膜支架的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0016]术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，"多个"的含义是两个或两个以上。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语"安装"、"相连"、"连接"应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0017]如图1、2所示，本专利技术方案公开了一种用于生产超薄型滤光片的镀膜装置，其包括镀膜腔7，在镀膜腔7内设有蒸镀源5，蒸镀源5上设有一外套筒1，外套筒I套设在蒸镀源5上，外套筒I的顶部设有一个一端开口的插槽，插槽内设有一可抽拉的弹性膜支架6 (如图3所示)。
[0018]采用该镀膜装置进行镀膜时，可首先设置一水洗膜，按滤光片的要切割尺寸大小在水洗膜上设置划痕，使水洗膜上形成数个与滤光片尺寸大小相对应的方格，然后将水洗膜贴附在一弹性膜上。接着将弹性膜固定在一弹性膜支架6上，然后将弹性膜支架6插在外套筒I的插槽内，蒸镀源5工作散发出蒸发物对弹性膜支架6上的水洗膜进行镀膜。待镀膜完成后将弹性膜支架6从镀膜机内取出，将弹性膜从弹性膜支架6上取下并向四周拉伸，这样就能使弹性膜上的水洗膜沿划痕分离开，最后再通过水洗方式将水洗膜上的镀膜层与水洗膜分离，这样就能得到规定尺寸的超薄滤光片。
[0019]作为一种优选方式，在外套筒I和一内套筒2，内套筒2位于外套筒I内，外套筒I与内套筒2同轴设置，外套筒I与内套筒2之间通过数个均匀分布的紊流片3连接起来，每个紊流片3都具有一定扭曲角度。紊流片3的扭曲角度为13-17°，其中扭曲角度为15°为最佳扭转角度。
[0020]该装置在使用时，蒸镀源5挥发出的蒸发物通过外套筒I时，蒸发物会被紊流片3改变方向，蒸发物经过紊流片3后相当于进行过螺旋搅拌，这样就能使流过该外筒I的蒸发物更加的均匀，进而使水洗膜上的镀膜厚度保持一致。
[0021]作为一种优选方式，外套筒I的两端大、中间小，采用这种结构，蒸发物由外套筒I的下端进入，由于孔径逐渐减小，这样就会使蒸发物被压缩，进而使蒸发物流速增加，使其可快速的通过紊流片3，这样可起到更好的搅拌效果。外套筒I的上端孔径较大，这样蒸发物的流动速度会变慢，可对水洗膜起到较好的镀膜效果。紊流片3的外表面设有导流槽4，导流槽4在一定程度上可提高蒸发物通过紊流片的速度，这样也能提高紊流效果，使挥发出的蒸发物更加的均匀。
[0022]该超薄型滤光片的镀膜装置在外套筒的顶部设置一端开口的插槽，弹性膜支架可抽拉的插在该插槽内，这样可非常方便的将弹性膜及水洗膜插入到外套筒内进行镀膜，镀膜完成后可非常方便的将支架抽出进行水洗、剥离，而且能有效保证滤光片厚度的一致性，可有效提高滤光片的质量。使用该镀膜装置的生产工艺使用水洗膜代替透光基片，镀膜时会在水洗膜上形成镀膜层，镀膜完成后通过拉伸弹性膜使镀膜层分隔成规定尺寸的小块，最后在采用水洗的方式使镀膜层与水洗膜分离开来，这样就会形成无基片的滤光片，从而可有效降低滤光片的厚度。
[0023]以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。因此本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本【技术领域】的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【权利要求】
1.一种超薄型滤光片镀膜装置，包括镀膜腔，所述镀膜腔内设有蒸镀源，其特征在于:所述蒸镀源上设有一外套筒，所述外套筒套设在所述蒸镀源上，所述外套筒的顶部设有一个一端开口的插槽，所述插槽内设有一可抽拉的弹性膜支架。
2.根据权利要求1所述的超薄型滤光片镀膜装置，其特征在于:所述外套筒内设有一内套筒，所述外套筒与所述内套筒同轴设置，所述内套筒位于所述弹性膜支撑架下方，所述外套筒与所述内套筒之间通过数个均匀分布的紊流片连接，所述紊流片具有一定扭曲角度。
3.根据权利要求1所述的超薄型滤光片镀膜装置，其特征在于:所述外套筒的两端大、中间小。
4.根据权利要求2所述的超薄型滤光片镀膜装置，其特征在于:所述紊流片的扭曲角度为 13-17°。
5.根据权利要求2所述的超薄型滤光片镀膜装置，其特征在于:所述紊流片的外表面设有导流槽。
【文档编号】G02B5/20GK204228991SQ201420720449
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月25日 优先权日:2014年11月25日
【发明者】王喜昌 申请人:苏州鼎旺科技有限公司