1.一种光源装置，用于使放电灯发光，该放电灯具有在内部设有用于形成发光部的第1电极及第2电极的玻璃部件、和相对于所述发光部分别设在所述玻璃部件的所述第1电极侧及所述第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，所述光源装置的特征在于，具备：
保管部，其保管所述放电灯；
支承部，其能够装拆地支承所述放电灯的所述第2灯座部件；
连结部，其将传递电力的部件能够装拆地连结到支承于所述支承部的所述放电灯的所述第1灯座部件；和
搬送部，其在基于所述支承部对所述第2灯座部件的支承及基于所述连结部实现的所述传递电力的部件相对于所述第1灯座部件的连结被解除的状态下，保持着所述第1灯座部件地在所述保管部与所述支承部之间搬送所述放电灯。
2.如权利要求1所述的光源装置，其特征在于，
在所述保管部中保管有未使用的放电灯，
所述搬送部保持着所述未使用的放电灯的所述第1灯座部件地将该未使用的放电灯搬送到该未使用的放电灯的所述第2灯座部件能够由所述支承部支承的位置。
3.如权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，
所述放电灯的所述第1灯座部件具有：
被连结部，其能够与所述传递电力的部件接触，并且能够与该部件面接触以减小该被连结部与该部件的电接触电阻；和
被保持部，其包含能够由所述搬送部保持的非平面部或倾斜部。
4.如权利要求3所述的光源装置，其特征在于，
所述第1灯座部件的所述被连结部包含以交叉方式配置的两个平面部，
所述连结部具有：导电性的第1部件，该第1部件与所述传递电力的部件连接、并且设有能够与所述第1灯座部件的所述被连结部接触的V字型的槽；和能够对所述第1灯座部件向所述第1部件侧施力的第2部件。
5.如权利要求4所述的光源装置，其特征在于，
所述连结部具有第1引导部件，该第1引导部件将所述第1部件以能够在沿着与所述第1灯座部件的所述被连结部的两个平面部垂直的平面的方向上位移的方式支承。
6.如权利要求4或5所述的光源装置，其特征在于，
所述连结部具有第2引导部件，该第2引导部件将所述第1部件以能够在沿着所述第1灯座部件的所述被连结部的两个平面部的方向上位移的方式支承。
7.如权利要求3所述的光源装置，其特征在于，
所述第1灯座部件的所述被连结部包含大致轴对称的面，
所述连结部具有：环状的导电性的第1部件，该第1部件与所述传递电力的部件连接、并且能够与所述第1灯座部件的所述被连结部接触；和能够对所述第1灯座部件向所述第1部件侧施力的第2部件。
8.如权利要求7所述的光源装置，其特征在于，
所述第1灯座部件的所述被连结部具有大致轴对称的凹部，
所述第2部件具有圆筒状的前端部、和与所述前端部相比内径逐渐变大的轴对称的锥部，
所述连结部具有能够夹装在所述第2部件的所述前端部或所述锥部与所述第1灯座部件的所述凹部之间的多个球体，
在所述多个球体处于所述第2部件的所述锥部内时，所述连结部能够从所述第1灯座部件脱离。
9.如权利要求3至8中任一项所述的光源装置，其特征在于，
在所述第1灯座部件的所述被保持部上形成有孔部，
所述搬送部具备：装卸部，该装卸部具有能够与所述第1灯座部件的所述被保持部的孔部卡合的突部、且夹持地保持所述第1灯座部件；和移动部，该移动部在所述装卸部保持着所述第1灯座部件的所述被保持部的状态下使所述装卸部移动。
10.如权利要求3至8中任一项所述的光源装置，其特征在于，
所述第1灯座部件的所述被保持部具有表面为球面状的轴对称部，
所述搬送部具有：
装卸部，其能够以夹持方式保持所述第1灯座部件的所述被保持部；
缓冲部，其根据所述装卸部与所述第1灯座部件之间的角度偏移而位移；和
移动部，其在所述装卸部保持着所述第1灯座部件的所述被保持部的状态下，使所述装卸部及所述缓冲部移动。
11.如权利要求1至10中任一项所述的光源装置，其特征在于，
具备滑动部，该滑动部将所述放电灯及所述保持部一体地移动到所述搬送部能够保持所述放电灯的所述第1灯座部件的位置。
12.如权利要求1至11中任一项所述的光源装置，其特征在于，
所述第2灯座部件具有凸缘部及层差部，
所述支承部具有：支承部件，该支承部件经由所述第2灯座部件的所述凸缘部而支承所述第2灯座部件；和第1杆部件，该第1杆部件将所述第2灯座部件以能够经由所述第2灯座部件的所述层差部相对于所述支承部件灯座装拆的方式固定于所述支承部件，
所述连结部具有：与所述传递电力的部件连接、并且能够与所述第1灯座部件接触的导电性部件；和能够对所述第1灯座部件向所述导电性部件侧施力的第2杆部件，
所述光源装置具备驱动所述第1杆部件及第2杆部件的共用的驱动部。
13.如权利要求1至12中任一项所述的光源装置，其特征在于，
所述保管部配置在比配置有所述连结部、所述保持部及所述搬送部的第1层靠下的第2层，
所述光源装置具备在更换所述放电灯时使所述保管部移动到所述第2层的升降部。
14.如权利要求1至13中任一项所述的光源装置，其特征在于，
包含所述放电灯、所述连结部及所述支承部的光源部设有多个，
对于所述多个光源部，所述搬送部及所述保管部被公共使用。
15.如权利要求1至14中任一项所述的光源装置，其特征在于，具备：
能够装拆地载置所述放电灯的所述第2灯座部件的支承部件；和
设在所述支承部件上且对从所述放电灯产生的光进行会聚的聚光镜。
16.如权利要求15所述的光源装置，其特征在于，
所述聚光镜包含对从所述放电灯产生的所述光进行反射的反射面、和被该反射面包围的开口，
所述支承部在所述玻璃部件的一部分穿插于所述开口的状态下支承所述第2灯座部件。
17.一种曝光装置，其特征在于，具备：
权利要求1至16中任一项所述的光源装置；
通过从所述光源装置的所述放电灯产生的光对光罩进行照明的照明系统；和
将所述光罩的图案的像投影到基板上的投影光学系统。
18.一种器件制造方法，其特征在于，包括：
使用权利要求17所述的曝光装置在基板上形成感光层的图案；和
对形成有所述图案的所述基板进行处理。
19.一种更换方法，用于更换放电灯，该放电灯具有形成发光部的玻璃部件、和以夹持该玻璃部件的方式设置的第1灯座部件及第2灯座部件，所述更换方法的特征在于，包括：
使与所述放电灯的所述第1灯座部件的被连结部面接触并且传递电力的部件从所述被连结部脱离；
使所述放电灯的所述第2灯座部件从支承部件脱离；和
保持所述放电灯的所述第1灯座部件的包含非平面部或倾斜部的被保持部并将所述放电灯向保管部搬送。
20.如权利要求19所述的更换方法，其特征在于，包括：
保持处于所述保管部的未使用的放电灯的所述第1灯座部件的所述被保持部，将该未使用的放电灯搬送到该未使用的放电灯的所述第2灯座部件能够由所述支承部件支承的位置；
通过所述支承部件支承所述未使用的放电灯的所述第2灯座部件；和
使连结有所述传递电力的部件的部件与所述未使用的放电灯的所述第1灯座部件的被连结部面接触。
21.一种放电灯的点亮方法，用于点亮放电灯，所述放电灯具有形成发光部的玻璃部件、和以夹持该玻璃部件的方式设置的第1灯座部件及第2灯座部件，所述放电灯的点亮方法的特征在于，包括：
使传递电力的部件与所述放电灯的所述第1灯座部件的被连结部面接触；
通过能够供给电力的支承部件来支承所述放电灯的所述第2灯座部件；和
经由所述传递电力的部件及所述支承部件向所述放电灯供给电力来点亮所述放电灯。
22.如权利要求21所述的放电灯的点亮方法，其特征在于，
包括保持所述放电灯的所述第1灯座部件的包含非平面部或倾斜部的被保持部来将所述放电灯从保管部搬送到所述支承部件。
23.一种放电灯，具有：在内部设有用于形成发光部的第1电极及第2电极的玻璃部件；和相对于所述发光部而分别设在所述玻璃部件的所述第1电极侧及所述第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，所述放电灯的特征在于，
所述第1灯座部件具有：
被连结部，其能够与传递电力的部件接触，并且能够与该部件面接触以减小被连结部与该部件的电接触电阻；和
被保持部，其包含能够由搬送部保持的非平面部或倾斜部。
24.如权利要求23所述的放电灯，其特征在于，
所述第1灯座部件的所述被连结部包含以交叉方式配置的两个平面部。
25.如权利要求23所述的放电灯，其特征在于，
所述第1灯座部件的所述被连结部包含大致轴对称的面。
26.如权利要求23至25中任一项所述的放电灯，其特征在于，
在所述第1灯座部件的所述被保持部上形成有能够供搬送部的突部卡合的孔部。
27.如权利要求23至25中任一项所述的放电灯，其特征在于，
所述第1灯座部件的所述被保持部具有能够由搬送部保持的、表面为球面状的轴对称部。
28.如权利要求23至27中任一项所述的放电灯，其特征在于，
在所述第1灯座部件中的所述玻璃部件与所述被连结部及所述被保持部之间设有散热片。
29.如权利要求23至28中任一项所述的放电灯，其特征在于，
所述第2灯座部件具有能够载置于支承部件的凸缘部、截面积比该凸缘部小的小径部、和截面积比该小径部大的层差部。
30.一种放电灯的制造方法，该放电灯为权利要求23～29中任一项所述的放电灯，其特征在于，包括：
制造在一端连结有导电性部件的所述玻璃部件；
制造形成有所述被连结部及所述被保持部的被覆部件；和
以覆盖所述玻璃部件的一端侧的所述导电性部件的方式固定所述被覆部件。
31.一种放电灯的制造方法，该放电灯为权利要求23～29中任一项所述的放电灯，其特征在于，包括：
准备在一端设有与所述第1电极或所述第2电极电连接的第1导电性部件的所述玻璃部件；
准备形成有所述被连结部及所述被保持部的第2导电性部件；和
将所述第2导电性部件与所述玻璃部件的一端侧的所述第1导电性部件连结。