1.一种用于对包括管芯上的多个垂直器件的电路布局进行半节点缩放的方法,包括:
减小所述管芯上的所述多个垂直器件的鳍节距和栅极节距;以及
缩放用于定义所述电路布局的至少一个减小面积的几何图案的波长。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,进一步包括维持所述管芯上的所述多个垂直器件的高度。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,进一步包括减小用于制造经半节点缩放的电路布局中的所述电路布局的工艺的数量。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,进一步包括使用多个波长来定义所述电路布局的所述至少一个减小面积的几何图案。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电路布局的所述至少一个减小面积的几何图案被布置在所述电路布局内的单层上。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电路布局的所述至少一个减小面积的几何图案被布置在中部制程层和后端制程层中的至少一层中。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电路布局被集成到移动电话、机顶盒、音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航设备、计算机、手持式个人通信系统(PCS)单元、便携式数据单元、和/或位置固定的数据单元中。
8.一种管芯上的经半节点缩放的电路布局,包括:
多个垂直器件,其具有第一鳍节距和第一栅极节距;以及
用于在所述经半节点缩放的电路布局中的减小面积的几何图案内选择性地传导电流的装置。
9.如权利要求8所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述管芯上的所述多个垂直器件的高度被维持。
10.如权利要求8所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述传导装置使用多个波长来制造。
11.如权利要求8所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述传导装置被布置在所述经半节点缩放的电路布局内的单层上。
12.如权利要求8所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述传导装置被布置在中部制程层和后端制程层中的至少一层中。
13.如权利要求8所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述经半节点缩放的电路布局被集成到移动电话、机顶盒、音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航设备、计算机、手持式个人通信系统(PCS)单元、便携式数据单元、和/或位置固定的数据单元中。
14.一种用于制造具有管芯上的多个垂直器件的经半节点缩放的电路布局的计算机程序产品,包括:
其上编码有程序代码的非瞬态计算机可读介质,所述程序代码包括:
用于减小所述管芯上的所述多个垂直器件的鳍节距和栅极节距的程序代码;以及
用于缩放用于定义所述经半节点缩放的电路布局的至少一个减小面积的几何图案的波长的程序代码。
15.如权利要求14所述的计算机程序产品,其特征在于,进一步包括用于维持所述管芯上的所述多个垂直器件的高度的程序代码。
16.如权利要求14所述的计算机程序产品,其特征在于,进一步包括用于减小用于制造所述经半节点缩放的电路布局的工艺的数量的程序代码。
17.如权利要求14所述的计算机程序产品,其特征在于,进一步包括用于使用多个波长来定义所述经半节点缩放的电路布局的所述至少一个减小面积的几何图案的程序代码。
18.如权利要求14所述的计算机程序产品,其特征在于,进一步包括用于将所述经半节点缩放的电路布局的所述至少一个减小面积的几何图案布置在单层上的程序代码。
19.如权利要求14所述的计算机程序产品,其特征在于,进一步包括用于将所述经半节点缩放的电路布局的所述至少一个减小面积的几何图案布置在中部制程层和后端制程层中的至少一层中的程序代码。
20.如权利要求14所述的计算机程序产品,其特征在于,所述经半节点缩放的电路布局被集成到移动电话、机顶盒、音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航设备、计算机、手持式个人通信系统(PCS)单元、便携式数据单元、和/或位置固定的数据单元中。
21.一种管芯上的经半节点缩放的电路布局,包括:
多个垂直器件,其具有第一鳍节距和第一栅极节距;以及
所述经半节点缩放的电路布局中的减小面积的几何图案内的至少一个器件。
22.如权利要求21所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述管芯上的所述多个垂直器件的高度被维持。
23.如权利要求21所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述至少一个器件使用多个波长来制造。
24.如权利要求21所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述至少一个器件被布置在所述经半节点缩放的电路布局内的单层上。
25.如权利要求21所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述至少一个器件被布置在中部制程层和后端制程层中的至少一层中。
26.如权利要求21所述的经半节点缩放的电路布局,其特征在于,所述经半节点缩放的电路布局被集成到移动电话、机顶盒、音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航设备、计算机、手持式个人通信系统(PCS)单元、便携式数据单元、和/或位置固定的数据单元中。