技术总结
本实用新型公开了一种光阻供应系统，其特征在于，所述光阻供应系统包括：光阻瓶，包括光阻内袋、进气口、出液管；缓冲罐；输入管道，所述输入管道与所述光阻瓶的出液管相连；输出管道，所述输出管道位于所述缓冲罐下方；排气管道，所述排气管道位于所述缓冲罐上方；其中，所述输入管道为U型，所述排气管道与抽气装置相连，所述抽气装置在所述缓冲罐光阻液面上形成负压，U型输入管道，使光阻以更小的流速更稳定的状态流入缓冲罐，利于光阻静置排出气泡，同时减小对已静置光阻的冲击影响，抽气装置在缓冲罐光阻液面上形成负压，使光阻中的气泡更快更全面从光阻中排出。
技术研发人员：陶圆龙
受保护的技术使用者：昆山龙腾光电有限公司
文档号码：201620829127
技术研发日：2016.08.03
技术公布日：2017.01.11