技术总结
本技术方案提供的微动装置，通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力，与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面，和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作，提高了微动装置的准直性。所述微动装置还进一步包括第三方向微动组件，从而使得所述微动装置可以实现三维移动。另外，本技术方案还提供一种采用所述微动装置的显微镜扫描头和显微镜。
技术研发人员：薛其坤;陈曦;胡小鹏;季帅华;李鲁新;郑澄
受保护的技术使用者：清华大学
文档号码：201621247689
技术研发日：2016.11.18
技术公布日：2017.10.20