图像生成装置和图像投影装置的制作方法

本发明涉及图像生成装置以及图像投影装置。

背景技术：

根据输入图像数据在屏幕等上进行图像投影的图像投影装置可以通过高速移动投影图像，让投影图像稍作偏移，来虚拟性地提高投影图像的分辨率。

例如，专利文献1(jp特开2004-180011号公报)公开了一种图像显示装置，其利用像素偏移方式，使得光轴相对于显示元件的多个像素发射的光发生移动，来偏移像素，从而能够显示比显示元件原本具有的分辨率更高的分辨率的图像。

如上所述，在使得投影图像移动，用以提高投影图像的分辨率时，需要高精度控制投影图像的位置。而如果投影图像的移动动作不稳定，不仅无法提高投影图像的分辨率，反而有可能降低图像质量。

技术实现要素：

鉴于上述问题，本发明提供一种图像生成装置，其目的在于改善投影图像移动动作的稳定性。

本发明的图像生成装置具有包含第一固定板和第二固定板的固定单元、以及在所述固定单元支承下能够移动的可动单元，所述可动单元具有：第一可动板，受到支承，能够在所述第一固定板和所述第二固定板之间移动；第二可动板，被设为与所述第一可动板之间夹着所述第一固定板；图像生成部，被设于所述第二可动板上，用于生成图像；以及，连接支承部件，被设为与所述第一可动板之间夹着所述第二固定板，与所述第一可动板相连接，支承所述第二可动板。本发明的效果在于，能够提供改善投影图像偏移动作稳定性的图像生成装置。

附图说明

图1是第一实施方式涉及的投影仪的示意图。

图2是第一实施方式涉及的投影仪的结构模块图。

图3是第一实施方式涉及的光学引擎的立体图。

图4是第一实施方式涉及的照明光学单元的示意图。

图5是第一实施方式涉及的投影光学单元内部构成的示意图。

图6是第一实施方式涉及的图像生成单元的立体图。

图7是第一实施方式涉及的图像生成单元的侧视图。

图8是第一实施方式涉及的固定单元的立体分解图。

图9是第一实施方式涉及的固定单元支承可动板的支承结构示意图。

图10是第一实施方式涉及的顶板的底面的示意图。

图11是第一实施方式涉及的可动单元的立体分解图。

图12是第一实施方式涉及的可动板上表面的示意图。

图13是第一实施方式涉及的dmd基板的底面的示意图。

图14是第一实施方式涉及的可动单元的侧视图。

图15是第二实施方式的可动单元的侧视图。

具体实施方式

以下参考附图描述本发明的实施方式。各幅附图中具有相同结构的部分采用相同标记，并且省略重复描述。

<第一实施方式>

图像投影装置的构成

图1是第一实施方式涉及的投影仪1的示意图。

投影仪1是一例图像投影装置，具有射出窗3和外设接口(i/f)9，内部设有用来生成投影图像的光学引擎。投影仪1在收到例如通过外设接口9连接的个人计算机或数码相机发送的图像数据后，由光学引擎根据收到的图像数据生成投影图像，而后将图像p如图1所示，从射出窗3投影到屏幕s上。

在以下的附图中，以x1x2方向为投影仪1的长度方向，y1y2方向为投影仪1的宽度方向，z1z2方向为投影仪1的高度方向。并且在以下的描述中，以投影仪1的射出窗3一方为上侧，与射出窗相反一方为下侧。

图2是第一实施方式涉及的投影仪1的结构模块图。

如图2所示，投影仪1具有电源4、主开关sw5、操作部7、外设接口9、系统控制部10、换气扇20、光学引擎15。

电源4连接公共电源，将电压和频率转换到可供投影仪1内部电路使用，用以向系统控制部10、换气扇20、以及光学引擎15等供电。

主开关sw5供用户进行投影仪1的on/off操作。在电源4通过电源导线与公共电源连接的状态下，操作主开关sw5至on，则电源4开始向投影仪1的各部供电，而操作主开关sw5至off，则电源4停止向投影仪1的各部供电。

操作部7是用于接受用户各种操作的键钮，设于例如投影仪1的上表面。操作部7接受例如用户关于投影图像的大小、色彩、调焦等操作。操作部7受理的用户操作被送往系统控制部10。

外设接口9具有连接例如个人计算机、数码相机等的连接端子，将从连接设备送来的图像数据输出到系统控制部10。

系统控制部10具有图像控制部11和驱动控制部12。系统控制部10包含例如cpu、rom、ram等。通过cpu与ram协作执行保存在rom中的程序，实现系统控制部10的各项功能。

图像控制部11根据从外设接口9输入的图像数据，控制设于光学引擎15的图像生成单元50中的数字微镜器件dmd(digitalmicromirrordevice，以下简称为dmd)551，生成用来投影到屏幕s上的图像。

驱动控制部12用于控制使得图像生成单元50中被设置为能够移动的可动单元55发生移动的驱动部，从而控制设于可动单元55上的dmd551的位置。换气扇20在系统控制部10的控制下转动，用来冷却光学引擎15的光源30。

光学引擎15具有光源30、照明光学单元40、图像生成单元50、投影光学单元60，在系统控制部10的控制下将图像投影到屏幕s上。

光源30采用例如水银高压灯、氙气灯、led等，在系统控制部10的控制下，向照明光学单元40照射光。

照明光学单元40具有例如彩色转轮、光道元件、中继透镜等元件，用来将光源30射出的光引导到设于图像生成单元50上的dmd551上。

图像生成单元50是一例图像生成装置，具有受到固定支承的固定单元51以及能够在该固定单元51的支承下移动的可动单元55。可动单元55具有dmd551，可动单元55相对于固定单元51的位置受到系统控制部10的驱动控制部12的控制。dmd551是一例图像生成部，受到系统控制部10的图像控制部11的控制，对经过照明光学单元40引导的光进行调制，生成投影图像。投影光学单元60是一例投影部，例如具有多个投影透镜、反射镜等，将图像生成单元50的dmd551生成的图像放大并投影到屏幕s上。

<光学引擎的构成>

以下描述投影仪1的光学引擎15的个部分构成。

图3是第一实施方式涉及的光学引擎15的立体图。如图3所示，光学引擎15具有光源30、照明光学单元40、图像生成单元50、投影光学单元60，被设于投影仪1的内部。

光源30设于照明光学单元40的侧面，向x2方向照射光。照明光学单元40将光源30发射的光引导到设于下方的图像生成单元50。图像生成单元50用经过照明光学单元40引导的光生成投影图像。投影光学单元60被设于照明光学单元40的上方，将图像生成单元50生成的投影图像投影到投影仪1以外。

本实施方式涉及的光学引擎15用光源30发射的光向上投影图像，除此之外，还可以在水平方向投影图像。

<照明光学单元>

图4是第一实施方式涉及的照明光学单元40的示意图。

如图4所示，照明光学单元40具有彩色转轮401、光道元件402、中继透镜403和404、柱形镜405、凹面镜406。

彩色转轮401是例如在圆周方向上的不同部分设有r(红色)、g(绿色)、b(蓝色)各色滤色片的圆盘。该彩色转轮401高速转动，将光源30发射的光时分割为rbg各种颜色。

例如将玻璃板等粘接起来组成四角筒形状的光道元件402。在光道元件402的内表面上，透过彩色转轮401的rgb各色光受到多重反射，灰度分布变得均匀后，被引导到中继透镜403和404。

中继透镜403和404对从光道元件402射出的光的轴向色差进行补偿并会聚光。

柱形镜405和凹面镜406反射从中继透镜403和404射出的光，使得光射往图像生成单元406上的dmd551。dmd551对来自凹面镜406的反射光进行调制，生成投影图像。

<投影光学单元>

图5是第一实施方式涉及的投影光学单元60的内部构成的示意图。

如图5所示，投影光学单元60包含设于壳体内部的投影透镜601、反射镜602、曲面镜603。

投影透镜601具有多片透镜，使得图像生成单元50的dmd551生成的投影图像在反射镜602上成像。反射镜602和曲面镜603反射成像的投影图像，使该投影图像放大，投影到设于投影仪1之外的屏幕s上。

<图像生成单元>

图6是第一实施方式涉及的图像生成单元50的立体图。图7是第一实施方式涉及的图像生成单元50的侧视图。图7中省略显示图像生成单元50中的一部分元件。

如图6和图7所示，图像生成单元50具有固定单元51和可动单元55。固定单元51受到照明光学单元40的固定支承。可动单元55能够在固定单元51的支承下移动。

固定单元51具有作为第一固定板的顶板511、作为第二固定板的基板512、以及作为第三固定板的副板513(图6中未图示)。顶板511和基板512平行设置，其间隔开规定间隙。副板513层积在顶板511上表面。固定单元51具有上述构成，并被固定在照明光学单元40的下方。

可动单元55具有dmd551、作为第二可动板的dmd基板552、作为第一可动板的可动板553(图6中未显示)、作为连接支承部件的散热器554，能够在固定单元51的支承下移动。

dmd551设于dmd基板552的上表面(与设有顶板511一侧相反的表面)。dmd551具有图像生成面，该图像生成面上以格子形状排列多个可动方式的微镜。dmd551的各个微镜的镜面被设为能够围绕扭转轴转动倾斜，基于系统控制部10的图像控制部11发送的图像信号，受到on/off驱动。微镜的倾斜角度受到控制，例如在“on”时，将光源30发射的光反射到投影光学单元60，而在“off”时，将光源30发射的光反射到未图示的off光板。

这样，dmd551的各片微镜的倾斜角度受到图像控制部11发送的图像信号的控制，对由光源30发射并通过照明光学单元40的光进行调制，生成投影图像。

dmd基板552受散热器554支承，其上表面上设有dmd551。dmd基板552能够与支承该dmd基板552的散热器554一起移动。

可动板553被设为能够在受到支承的状态下，在顶板511和基板512之间，在平行于表面的方向上移动。可动板553的下表面与散热器554连接。

可动板553的位置发生变动后，与该可动板553相连接的散热器554、受到散热器554支承的dmd基板552、以及设于dmd基板552的dmd551的位置也随着该可动板553一起变动。

散热器554具有接触dmd551的放热部，用来冷却dmd551。通过散热器554控制dmd551的温度上升，能够减少dmd551的温度上升引起的动作不良或故障等问题的发生。

散热器554被设为连接可动板553，能够与dmd基板552一起移动。散热器554通过被设为能够与dmd基板552一起移动，其放热部始终接触dmd551，能够有效地冷却dmd551。

<固定单元>

图8是第一实施方式涉及的固定单元51的立体分解图。

如图8所示，固定单元51具有顶板511、基板512以及副板513。

顶板511以及基板512是以例如铁、不锈钢等磁性材料形成的平板部件。顶板511与基板512被设为互相平行，其间借助于多个支柱515相距规定间隔。副板513为l形平板部件，用图8中未图示的螺丝固定在顶板511的上表面。顶板511和基板512上与可动单元55的dmd551对应的位置上分别设有中央孔514和519。

如图8所示，支柱515的上端被压入顶板511的支柱孔516，形成正螺槽的下端被插入基板512的支柱孔517。支柱515在顶板511和基板512之间形成一定间隔，支承顶板511和基板512保持互相平行。

顶板511以及基板512上分别形成多个用来保持支承球体521转动的支承孔522和526。

顶板511上的支承孔522中插入内周表面上设有内螺纹的圆筒形保持部件523。支承球体521能够在保持部件523的保持下转动，位置调整螺丝524从上方插入保持部件523之中。盖部件527的保持部528从下端插入基板512上的支承孔526。盖部件527的保持部528形成为圆筒形，支承球体521能够在保持部528的保持下转动。

支承球体521分别在顶板511上的支承孔522和基板512上的支承孔526的保持下能够转动，这些支承球体521分别接触可动板553，而在支承球体521的支承下，可动板553能够移动。

图9是第一实施方式涉及的固定单元51支承可动板553的支承结构示意图。

如图9所示，在顶板511上，支承球体521在插入支承孔522的保持部件523的保持下能够转动。在基板512上，支承球体521在插入支承孔526的盖部件527的保持部528的保持下能够转动。

受到保持的各支承球体521至少有一部分从支承孔522和526中突出，与设于顶板511和基板512之间的可动板553接触。可动板553在其两侧表面受到被设为能够转动的多个支承球体521的支承下，能够在平行于顶板511和基板512、且平行于表面的方向上移动。

设于顶板511一方的支承球体521从保持部件523下端突出的突出量随着位置调整螺丝524的位置而变化。例如，位置调整螺丝524的位置在z1方向上发生变化时，支承球体521的突出量减少，顶板511与可动板553之间的间距减小。而位置调整螺丝524的位置在z1方向上发生变化时，支承球体521的突出量增加，顶板511与可动板553之间的间距增大。

这样，利用位置调整螺丝524来改变支承球体521的突出量，能够适当调整顶板511与可动板553之间的间距。

图10是第一实施方式涉及的顶板511的底面的示意图。如图10所示，顶板511的下表面(基板512一侧的表面)上设有驱动用磁铁531a、531b、531c、531d。在以下的描述中，将驱动用磁铁531a、531b、531c、531d统一称为驱动用磁铁531。

驱动用磁铁531被设于围绕顶板511的中央孔514的四个部位。驱动用磁铁531均以长边方向互相平行的两块立体长方形磁铁构成，各自形成的磁场均能够波及到在顶板511和基板512之间受到支承的可动板553。

驱动用磁铁531分别与被设为与可动板553上表面相对设置的驱动线圈构成驱动部，用来驱动可动板553移动。

如图8所示，副板513的上表面(与顶板511相反一侧的表面)上设有多个位置检测用磁铁541。位置检测用磁铁541与设于dmd基板552的下表面(顶板511一侧的表面)上的霍尔传感器一起构成检测dmd551的位置的位置检测部。

在副板513上设置位置检测用磁铁541，能够使得位置检测用磁铁541和设于顶板511上的驱动用磁铁531各自实施独立的位置调整。位置检测用磁铁541也可以设于顶板511的上表面，而不是设在副板513上。

关于设于固定单元51中的支柱515、支承球体521的数量及位置等，不受本实施方式例示构成的限制。

〈可动单元〉

图11是第一实施方式涉及的可动单元55的立体分解图。

如图11所示，可动单元55具有dmd551、dmd基板552、可动板553、散热器554，在固定单元51的支承下能够移动。

如上所述，可动板553被设置在固定单元51的顶板511和基板512之间，能够在多个支承球体521的支承下在平行于表面的方向上移动。

图12是第一实施方式涉及的可动板553的上表面的示意图。

如图12所示，可动板553以平板形部件形成，在与dmd基板552上的dmd551对应的位置上具有中央孔570，中央孔570周围设有驱动线圈581a、581b、581c、581d。在以下的描述中将驱动线圈581a、581b、581c、581d统一称为驱动线圈581。

各驱动线圈581均以平行于z1z2方向的轴为中心卷绕形成，被设于可动板553的上表面(顶板511一侧的表面)上形成的凹部中，并用盖覆盖。驱动线圈581与设于顶板511的驱动用磁铁531一起构成驱动可动板553的驱动部。

在可动单元55受到固定单元51支承的状态下，顶板511上的各驱动用磁铁531分别与可动板553的驱动线圈581相对设置。驱动线圈581中通电后，驱动用磁铁531形成的磁场产生洛伦兹力，该作用力成为使得可动板553发生移动的驱动力。

可动板553受到驱动用磁铁531和驱动线圈581之间产生的作为驱动力的洛伦兹力的作用，其位置相对于固定单元51，在xy平面上发生直线变动或转动。

各驱动线圈581中的电流大小以及方向受到系统控制部10的驱动控制部12的控制。驱动控制部12根据各驱动线圈581中的电流大小及方向，来控制可动板553的移动(转动)方向、移动量以及转动角度等。

本实施方式中，驱动线圈581a和驱动用磁铁531a以及驱动线圈581d和驱动用磁铁531d作为第一驱动部，分别在x1x2方向上相对设置。驱动线圈581a和581d中通电后，如图12所示，产生x1方向或x2方向的洛伦兹力。可动板553在驱动线圈581a和驱动用磁铁531a与驱动线圈581d和驱动用磁铁531d之间产生的洛伦兹力的作用下，向x1方向或x2方向移动。

同时在本实施方式中，驱动线圈581b和驱动用磁铁531b以及驱动线圈581c和驱动用磁铁531c作为第二驱动部，在x1x2方向上并排设置，驱动用磁铁531b和531c的长度方向垂直于驱动用磁铁531a和531d的长度方向。该构成中，驱动线圈581b和581c中通电后，如图12所示，产生y1方向或y2方向的洛伦兹力。

可动板553在驱动线圈581b和驱动用磁铁531b之间以及驱动线圈581c和驱动用磁铁531c之间产生的洛伦兹力的作用下，向y1方向或y2方向移动。可动板553还在驱动线圈581b和驱动用磁铁531b之间以及驱动线圈581c和驱动用磁铁531c之间产生的相反方向的洛伦兹力的作用下，在xy平面上发生转动。

例如，通电后，如果驱动线圈581b和驱动用磁铁531b中产生y1方向的洛伦兹力，驱动线圈581c和驱动用磁铁531c中产生y2方向的洛伦兹力，则可动板553按照俯视面上的顺时针方向转动，发生位置变动。而如果驱动线圈581b和驱动用磁铁531b中产生y2方向的洛伦兹力，驱动线圈581c和驱动用磁铁531c中产生y1方向的洛伦兹力，则可动板553按照俯视面上逆时针方向转动，发生位置变动。

如图12所示，可动板553上对应固定单元51的支柱515的位置上设有可动范围限制孔571。可动范围限制孔571通过在其中插入固定单元51的支柱515，在发生振动等异常造成可动板553产生较大位置变动时，该可动范围限制孔571接触到支柱515，从而限制可动板553的可动范围。

可动范围限制孔571的数量、位置以及形状等不受本实施方式例示构成的限制。例如，可动范围限制孔571既可以是一个，也可以是多个。可动范围限制孔571的形状也可以采用与本实施方式不同的形状，例如长方形或圆形等。

图13是第一实施方式涉及的dmd基板底面的示意图。

如图13所示，在dmd基板552的下表面(顶板551一侧的表面)上，与设于副板513上的位置检测用磁铁541相对的位置上，设有霍尔传感器542。霍尔传感器542是一例磁传感器，用来向系统控制部10的驱动控制部12发送基于位置检测用磁铁541检测到的磁密度变化的信号。驱动控制部12根据霍尔传感器542发送的信号，检测dmd551的位置。

本实施方式中用磁性材料形成的顶板511以及基板512构成起到磁轭作用、包含驱动用磁铁531以及驱动线圈581的驱动部和磁电路。

通过上述构成，驱动部中产生的磁束集中在顶板511和基板512，能够抑制磁束泄漏到顶板511与基板512之间以外。

这样，便能够减小设于顶板511上表面一方的dmd基板552上的霍尔传感器542受到包含驱动用磁铁531以及驱动用线圈581的驱动部中形成的磁场的影响。为此，在输出基于位置检测用磁铁541的磁密度变化的信号时霍尔传感器542能够不致受到驱动部中产生的磁场的影响，因此，驱动控制部12能够高精度地掌握dmd551的位置。

如上所述，驱动控制部12根据受驱动部影响被减小了的霍尔传感器542的输出，能够以良好的精度检测dmd551的位置。为此，驱动控制部12能够按照检测到的dmd551的位置，控制各驱动线圈581中的电流大小和方向，高精度控制dmd551的位置。

关于作为驱动部的驱动用磁铁531以及驱动线圈581的数量和位置等，只要能够将可动板553移动到任意位置，也可以采用不同于本实施方式的构成。

例如，可以将驱动用磁铁531设置在基板512上，而将驱动用线圈581设置在可动板553的基板512一侧的表面上。还可以将驱动用磁铁531设置在可动板553上，而将驱动线圈581设置在顶板511或基板512上。进而，将位置检测用磁铁541设置在dmd基板552上，而将霍尔传感器542设置在副板513的上表面。再者，将包含驱动用磁铁531和驱动线圈581的驱动部设置在基板512和散热器554之间，而将包含位置检测用磁铁541和霍尔传感器542的位置检测部设置在顶板511和基板512之间。

但是，可动单元55重量增加会造成位置控制难以实行，因此，优选将驱动用磁铁531和位置检测用磁铁541设置在固定单元51(顶板511、基板512以及副板513)中。

此外，只要能够减少磁束从驱动部泄漏到位置检测部，顶板511和基板512各部分也可以用磁性材料形成。例如，顶板511和基板512可以用多片包含磁性材料形成的平板形状或薄片形状的材料层积形成。另外，可以用磁性材料形成副板513的至少一部分，用以起到磁轭作用。再者，顶板511中至少一部分也可以用磁性材料形成，用以起到磁轭作用，只要能够防止磁束从驱动部泄漏到位置检测部，也可以用非磁性材料形成基板512。

图14是第一实施方式涉及的可动单元55的侧视图。

如图14所示，散热器554具有上端面与dmd接触用以放热的柱形放热部563、支承dmd基板552的支柱561、连接可动板553的连接柱562。

如图13所示，dmd基板552上安装dmd551的部分设有放热孔556。散热器554的放热部563贯穿顶板511和基板512的中央孔514和519(图8)、可动板553的中央孔570(图12)、以及dmd基板552的放热孔556(图13)，以接触dmd底面。

为了提高dmd551的冷却效果，还可以在散热器554的放热部563与dmd551之间设置能够弹性变形的传热片。用传热片来提高散热器554的放热部563与dmd551之间的热传导性能，改善dmd551的冷却效果。

散热器554上表面周边四个部位设有支柱561，这些支柱561分别从散热器554的上表面向z1方向突出。如图11和图13所示，在dmd基板552上与散热器554的支柱561对应的位置上形成螺孔555。如图14所示，螺丝564插入螺孔555，将dmd基板552固定在支柱561的上端。

散热器554上表面的放热部563周围六个部位上设有连接柱562，这些连接柱562分别从散热器554的上表面向z1方向突出。连接柱562通过例如螺丝等固定在可动板553上端。散热器554通过连接柱562与可动板553连接。

支柱561和连接柱562在z1z2方向上的高度不同，分别形成与dmd基板552之间以及与可动板553之间的规定间距。

在此，为了提高冷却效果，在dmd基板552受到支柱561固定支承的状态下，将散热器554的放热部563设为按压在dmd551的底面上。在这种情况下，dmd551受到散热器554的放热部563按压，可能会造成dmd基板552弯曲。dmd基板552发生的弯曲如果影响到可动板553，则难以高精度控制可动单元55的位置，从而发生dmd551移动动作不稳定，造成投影图像质量下降。

对此，本实施方式涉及的可动单元55如上所述，dmd基板552受到散热器554的支柱561的支承，可动板553与散热器554的连接柱562连接。这样，dmd基板552和可动板553分别连接散热器554的不同部分，或者受到散热器554不同部分的支承，因而例如在dmd基板552发生弯曲时，也能够减小dmd基板552的弯曲对可动板553产生的影响。

为此，本实施方式涉及的图像生成单元50能够提高投影图像的移动动作的稳定性，高精度控制dmd551的位置，移动投影图像，提高分辨率。

<图像投影>

如上所述，在本实施方式涉及的投影仪1中，用于生成投影图像的dmd551设于可动单元55，其位置受到系统控制部10的驱动控制部的控制。

例如，驱动控制部12在图像投影时以对应帧速度的规定周期，控制可动单元55的位置在小于dmd551的多个微镜排列间距的多个位置之间高速移动。此时，图像控制部11对应各个位置向dmd551发送图像信号，用以生成发生移动的投影图像。

例如，驱动控制部12以规定周期在位置p1和p2之间来回移动，p1和p2之间的距离在x1x2方向和y1y2方向上小于dmd551的微镜排列间距。此时，图像控制部11控制dmd551生成与各个位置对应的发生移动的投影图像，能够将投影图像的分辨率提高到dmd551所具有的分辨率的大约两倍。而且，增加dmd551的移动位置，能够将投影图像的分辨率提高到dmd551的两倍以上。

这样，驱动控制部12控制dmd551与可动单元55一起移动动作，图像控制部11控制生成与dmd551的位置相对应的投影图像，从而能够投影达到dmd551分辨率以上的高分辨率图像。

而且，本实施方式涉及的投影仪1通过驱动控制部12控制，dmd551与可动单元55一起转动，因而，能够在不需要缩小投影图像的情况下转动投影图像。例如在dmd551等图像生成器件为固定的投影仪中，如果不缩小投影图像，便不能够在保持投影图像纵横比不变的情况下转动投影图像。对此，本实施方式涉及的投影仪1能够使得dmd551转动，因而，不需要缩小投影图像便能够转动投影图像，对投影图像进行倾斜等调整。

如上所述，本实施方式涉及的投影仪1中的dmd551能够移动，通过dmd551做移动动作，能够提高投影图像的分辨率。此外，用来冷却dmd551的散热器554搭载于与dmd551一起移动的可动单元55，因而能够有效冷却dmd551。

进而，本实施方式涉及的可动单元55分别受到散热器554的不同部分(支柱561和连接柱562)的连接或支承。该构成使得例如dmd基板552发生弯曲时，该dmd基板552产生的弯曲也不至于影响到可动板553，有利于dmd551保持稳定的移动动作。

再者，在本实施方式中，顶板511和基板512起到磁轭板的作用，防止包含驱动用磁铁531和驱动线圈581的驱动部中产生的磁束泄漏到外部。为此，在dmd基板552上位于顶板511上表面一侧的霍尔传感器542不会受到驱动部中产生的磁场的影响，能够输出与位置检测用磁铁541的磁密度变化相应的信号。为此，驱动控制部12能够基于霍尔传感器542的输出，高精度检测高速移动的dmd551的位置，以良好的精度控制dmd551的位置。

可动单元55的构成并不受到上述实施方式例示的构成的限制。例如设于散热器554的支柱561以及连接柱562的形状、数量以及设置等构成不限于上述实施方式中例示的构成。

<第二实施方式>

以下根据附图描述第二实施方式。在以下的描述中，对于与已经描述了的实施方式构成相同的部分不再重复描述。

图15是第二实施方式的可动单元56的侧视图。

图15所示的可动单元56具有分别支承dmd基板552和可动板553的链接支承部件595，作为冷却dmd551的放热部件的散热器557固定在连接支承部件595上。

连接支承部件595具有支承dmd基板552的支柱596和连接可动板553的连接柱597。支柱596以及连接柱597的形状、数量以及位置等构成与第一实施方式中的支柱561以及连接柱562的构成相同。

散热器557具有用于冷却dmd551的柱形放热部568，用螺丝565固定在连接支承部件595的下表面一方(与可动板553相反一方)。放热部568贯穿设于连接支承部件595中与dmd551对应的部分上的中央孔，其上端面接触dmd551的底面。

在第二实施方式的可动单元56中，dmd551受到散热器557的放热部568的冷却，减少了dmd551温度上升引起的动作不良或故障等问题的发生。而且，dmd基板552和可动板553分别受到连接支承部件595的不同部分(支柱596和连接柱597)连接或支承，因而能够抑制dmd基板552的弯曲等对可动板553产生的影像，提高dmd551移动动作的稳定性。

以上描述了本实施方式涉及的图像投影系统、图像生成装置以及图像投影装置，但是，本发明不受上述实施方式的限制，允许在本发明的范畴内对上述实施方式进行各种变化和改良。