干燥装置的制作方法

本发明涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种干燥装置。

背景技术：

精细金属掩膜(fmmmask)模式，是通过蒸镀方式将oled(有机发光二极管，organiclight-emittingdiode)材料按照预定程序蒸镀到ltps(低温多晶硅)背板上，利用掩膜板上的图形，蒸镀红绿蓝有机物到规定位置上。目前的drybath(干燥腔室)3的底部是封闭结构(只有排液一个孔)，如图1和图2所示，当风刀(ak)2进行向下吹气干燥掩膜板1的时候，由于干燥腔室3的下部分的几乎封闭式的结构，风刀2向下吹的气20在饱和的时候，会形成向上的气流10，向上的气流10会带动干燥腔室3底部沉积的particle(灰尘)，向上的气流10带动的灰尘会沉积到掩膜板1表面，沉积有灰尘的掩膜板1放到蒸镀腔室进行蒸镀的时候，会影响蒸镀产品的品质。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本发明提供一种干燥装置，减少反弹气流的产生，从而减少反弹气流带起的灰尘对掩膜板的影响。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种干燥装置，用于掩膜板的干燥，包括干燥腔室，所述干燥腔室端口处设有风刀，

所述干燥腔室侧壁靠近所述干燥腔室的底部的位置设有用于将风刀产生的气流排出的出风口。

进一步的，所述出风口通过管道与真空吸附结构连接。

进一步的，所述管道与所述出风口连接的一端的形状为漏斗状，所述管道与所述出风口连接的一端的面积大于所述管道远离所述干燥腔室内部的一端。

进一步的，所述干燥腔室相对的两个侧壁上、对应于所述干燥腔室的端口处设有所述风刀，所述管道靠近所述干燥腔室内部的一端、在第一方向上的长度等于所述干燥腔室相对应的侧壁的宽度，所述第一方向为所述管道对应的所述干燥腔室的侧壁的宽度方向。

进一步的，所述管道倾斜设置，且所述管道远离所述出风口的一端高于所述管道与所述出风口连接的一端，所述管道靠近所述干燥腔室底部的内表面为阶梯状。

进一步的，所述干燥腔室内设有使得风刀的气流通过并阻挡所述干燥腔室底部反弹的气流通过的单向阻挡结构，所述单向阻挡结构设置于所述出风口与所述风刀之间。

进一步的，所述单向阻挡结构包括多层叠加设置的过滤网。

进一步的，所述干燥腔室包括两个相对的侧壁，每个侧壁对应于所述干燥腔室的端口处设有所述风刀，每个所述侧壁的内表面靠近所述干燥腔室的底部的位置设有所述出风口，每个所述侧壁的内表面均设有第一隔板，所述第一隔板向所述干燥腔室的底部倾斜设置；

所述干燥腔室的底部设有与所述第一隔板配合控制风刀的气流方向以使得风刀的气流从所述出风口排出的第二隔板，所述第二隔板位于两个所述第一隔板之间，所述第二隔板的截面为倒置的v形。

进一步的，所述第一隔板靠近所述干燥腔室底部的一端具有向对应侧壁弯折的折边。

进一步的，所述折边与所述第一隔板的连接处为圆弧。

本发明的有益效果是：出风口的设置减少了反弹气流的产生，从而减少反弹气流带起的灰尘对掩膜板的影响提高产品蒸镀良率。

附图说明

图1表示现有技术中干燥装置结构示意图；

图2表示现有技术中干燥腔室内气流流向示意图；

图3表示本发明实施例中干燥装置结构示意图；

图4表示本发明实施例中管道与出风口连接的一端的结构示意图；

图5表示本发明实施例中管道靠近所述干燥腔室底部的内表面的局部结构示意图；

图6表示本发明实施例中另一实施方式的干燥装置结构示意图；

图7表示本发明实施例单向阻挡结构示意图；

图8表示本发明实施例中第三实施方式的干燥装置结构示意图；

图9表示本发明实施例中第三实施方式的干燥装置结构中的干燥腔室内部气流流向示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的特征和原理进行详细说明，所述实施例仅用于解释本发明，并非以此限定本发明的保护范围。

如图3所示，本实施例提供一种干燥装置，用于掩膜板的干燥，包括干燥腔室3，所述干燥腔室3端口处设有风刀2。

所述干燥腔室3侧壁靠近所述干燥腔室3的底部的位置设有用于将风刀2产生的气流排出的出风口11。

在干燥腔室3的底部设置出风口11，利用出风口11的吸气作用，使气流流向改变(改变原来的反弹气流)，使得气流从设置的出风口11流出，图3中箭头方向为气流的流向，减少反弹气流所带的灰尘对掩膜板产生的影响，提高成品的蒸镀良率。

所述出风口11的大小以及出风口11的具体设置位置可根据实际需要设定，只要实现将风刀2产生的气流排出、从而减少反弹气流的产生即可。

本实施例中为了进一步有效的减少反弹气流的产生，所述出风口11通过管道7与真空吸附结构连接。利用真空吸附结构产生的吸力进一步的改变气流的流向，使得风刀2产生的气流进入干燥腔室3后，从所述出风口11流出，减少反弹气流的产生，从而减少气流带起的灰尘对掩膜板的影响。

本实施例中，所述管道7与所述出风口11连接的一端的形状为漏斗状，所述管道7与所述出风口11连接的一端的面积大于所述管道11远离所述干燥腔室3内部的一端。利于对气流流向的改变。

所述干燥腔室3的具体形状可以有多种，可以是圆柱体、长方体等，本实施例中，所述干燥腔室3为一长方体结构，所述干燥腔室3相对的两个侧壁上、对应于所述干燥腔室3的端口处设有所述风刀2，所述管道7靠近所述干燥腔室3内部的一端、在第一方向上的长度(图4中虚线所标示)等于所述干燥腔室3相对应的侧壁的宽度，所述第一方向为所述管道7对应的所述干燥腔室3的侧壁的宽度方向。

所述管道7与所述出风口11连接的一端的形状可以有多种只要实现所述管道7靠近所述干燥腔室3内部的一端、在第一方向上的长度(图4中虚线所标示)等于所述干燥腔室3相对应的侧壁的宽度，有效的防止反弹气流的产生，并且避免出现死角即可，本实施例中，所述管道7与所述出风口11连接的一端的形状为扁漏斗状，节省了管道7在干燥腔室3对应的侧壁上占用的空间，(所述管道7与出风口11连接的一端的形状与出风口11的形状是相对应的)所述管道7靠近所述干燥腔室3内部的一端为椭圆形(并不限于是椭圆形)，所述管道7靠近所述干燥腔室3内部的一端的长边的长度(椭圆形的长轴，图4中虚线所标示)等于所述干燥腔室3相对应的侧壁的宽度。配合真空吸附结构的吸力作用，更有效的改变干燥腔室内气流的流向，减少反弹气流的产生，图4中粗箭头表示气流流向。

所述管道7可以倾斜设置也可以水平设置，本实施例中优选的，所述管道7倾斜设置，当遇到体积大的灰尘的时候，一次吸气不能完全吸附去除体积大的灰尘的时候，尤其是所述管道7远离所述出风口11的一端高于所述管道7与所述出风口11连接的一端(即所述管道7向上倾斜设置)时，为了避免灰尘落于干燥腔室3的底部，所述管道7靠近所述干燥腔室3底部的内表面为阶梯状，如图5所示。阶梯状结构会承接住由气流带起的灰尘，且避免灰尘又下滑到干燥腔室3内，导致体积大的灰尘无法清除。

如图6所示，本实施例另一实施方式中，所述干燥腔室3内设有使得风刀2的气流通过并阻挡所述干燥腔室3底部反弹的气流通过的单向阻挡结构4，所述单向阻挡结构4设置于所述出风口与所述风刀2之间。

当气体向下流动穿过所述单向阻挡结构4，由所述单向阻挡结构4上方(所述单向阻挡结构4靠近所述风刀2的一侧)的气流(风刀2产生的气流)带下来的灰尘和所述单向阻挡结构4表面沉积的灰尘会在较大风力的作用下，全部通过所述单向阻挡结构4进入到所述干燥腔室3的底部，大部分气流会通过出风口排出去，但是会有残余的直上反弹气流，会带动少量的灰尘，当反弹气流遇到所述单向阻挡结构4，会起到过滤和阻挡作用，同时在所述单向阻挡结构4上方的风力较大的大气流的共同作用下，灰尘基本不会通过所述单向阻挡结构4，进而减少掩膜板表面的附着的灰尘。

所述单向阻挡结构4的具体结构形式可以有多种，所述单向阻挡结构4的具体位置设定也可以根据实际需要设定，只要实现对所述单向阻挡结构4下方的灰尘的阻挡即可，本实施例中，所述单向阻挡结构4包括多层叠加设置的过滤网。

如图7所示，所述单向阻挡结构包括三层过滤网：第一过滤网41、第二过滤网42、第三过滤网43，为了保证所述单向阻挡结构下方的灰尘被阻挡，所述第一过滤网41、第二过滤网42、第三过滤网43的网格结构是可以相互交错设置，且第一过滤网41、第二过滤网42、第三过滤网43的网格大小也可以不同。

所述单向阻挡结构还包括使得所述第一过滤网41、第二过滤网42、第三过滤网43中两两之间的间距可调的间距调节结构，调整相邻过滤网之间的间距增强过滤网的过滤效果，具体间距的设置可以根据实际需要设置，例如，所述第一过滤网41、第二过滤网42、第三过滤网43中，相邻过滤网之间的间距可以为零，相邻过滤网之间也可以设定相同的间距，第一过滤网41和第二过滤网42之间的间距可以与第二过滤网42和第三过滤网43之间的间距不同(单向阻挡结构包括3层以上过滤网时，相邻两层过滤网之间的间距从干燥腔室的端口到底部的方向依次增大或依次减小)。

所述第一过滤网41、第二过滤网42、第三过滤网43的网格疏密度从干燥腔室3的端口到底部的方向可以是依次递增或依次递减或者疏密交叉设置(第一过滤网41的网格设置比较稀疏、第二过滤网42的网格设置比较紧密、第三过滤网43的网格设置比较稀疏)，本实施例中优选的，所述第一过滤网41、第二过滤网42、第三过滤网43的网格疏密度从干燥腔室3的端口到底部的方向依次递增。

需要说明的是，过滤网的数量可以根据需要设置，并不限制于三层的设置。

在本实施例第三实施方式中。如图8和图9所示，图中箭头表示气流的流向，所述干燥腔室3包括两个相对的侧壁，每个侧壁对应于所述干燥腔室3的端口处设有所述风刀2，每个所述侧壁的内表面靠近所述干燥腔室3的底部的位置设有所述出风口，每个所述侧壁的内表面均设有第一隔板5，所述第一隔板5向所述干燥腔室3的底部倾斜设置；

所述干燥腔室3的底部设有与所述第一隔板5配合控制风刀2的气流方向以使得风刀2的气流从所述出风口排出的第二隔板6，所述第二隔板6位于两个所述第一隔板5之间，所述第二隔板6的截面为倒置的v形。

利用第一隔板5和第二隔板6来控制气流的方向，减少残余气流，图中箭头所示为干燥腔室3内气流的流向，使气流更容易带动灰尘排出所述干燥腔室3。

本实施例中，所述第一隔板5靠近所述干燥腔室3底部的一端具有向对应侧壁弯折的折边51。折边51的设置起到导向的作用，利于所述第一隔板5与所述第二隔板6配合以使得气流回旋流动，最终从所述出风口排出。

为了使得气流更容易回旋流动，所述折边51与所述第一隔板5的连接处为圆弧。

以上所述为本发明较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明保护范围。