掩膜板的制作方法

文档序号:11518002阅读:307来源:国知局
掩膜板的制造方法与工艺

本发明涉及液晶显示领域,尤其涉及一种掩膜板。



背景技术:

液晶显示器作为一种常用的电子设备在人们的日常生活中得到了广泛的应用。有机发光二极管显示器(organiclightemittingdisplay,oled)由于具有生产成本便宜,自身发光无需背光源等优点而得到广泛的应用。而oled在制备的时候需要使用掩膜板来达到对玻璃基板上的发光像素的区域蒸镀发光材料。随着oled技术的发展,oled显示器的尺寸以及玻璃基板的尺寸都在不断的增加,这就要求掩膜板的尺寸也要不断增加,为了保证掩膜板的制作精度,蒸镀所使用的掩膜板大都采用条状子掩膜板的形式。一般而言,多个条状子掩膜板在拼接到一起时,相邻的条状子掩膜板之间存在间隙,从而使得蒸镀材料通过相邻的两个子掩膜板之间的间隙蒸镀到玻璃基板上,从而使得制备出来的oled品质不良。



技术实现要素:

本发明提供一种掩膜板,所述掩膜板包括外框及多个子掩膜板,所述外框为中空结构,用于承载所述子掩膜板,所述子掩膜板用于选择性地遮挡制备像素时的发光材料,所述子掩膜板沿第一方向延伸且多个所述子掩膜板沿第二方向排列,所述子掩膜板的两端设置在所述外框相对的两边上,所述子掩膜板包括第一本体、第一遮挡部及第二遮挡部,所述第一本体包括第一表面、第二表面、第三表面及第四表面,所述第一表面与所述第二表面相对设置,所述第三表面与所述第四表面相对设置,且所述第三表面分别与所述第一表面及所述第二表面相交,所述第四表面分别与所述第一表面及所述第二表面相交,所述第一遮挡部自所述第三表面延伸出来,且所述第一遮挡部的厚度小于所述第一本体的厚度,所述第二遮挡部自所述第四表面延伸出来,且所述第二遮挡部的厚度小于所述第一本体的厚度,所述子掩膜板的第一遮挡部用于和相邻的子掩膜板的第二遮挡部相互配合以遮挡相邻的两个子掩膜板之间的间隙。

相较于现有技术,本发明提供的掩膜板本发明的掩膜板中的子掩膜板中通过设置第一遮挡部及第二遮挡部,所述第一遮挡部自所述第三表面延伸出来,所述第二遮挡部自所述第四表面延伸出来,子掩膜板设置到所述外框上时,所述子掩膜板的第一遮挡部和相邻的子掩膜板的第二遮挡部配合以遮挡相邻的两个子掩膜板之间的间隙。因此,克服了现有技术中的相邻的子掩膜板之间存在间隙而导致的制备出来的oled产品不良的技术问题。进一步地,由于所述第一遮挡部自所述第三表面延伸出来,第二遮挡部自所述第四表面延伸出来,在所述子掩膜板设置到所述外框时,不需要额外的遮挡部件来遮挡相邻的子掩膜板之间的间隙,从而使得整个掩膜板的厚度较薄,从而减小了由于整个掩膜板的厚度较厚带来的oled混色不良的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一较佳实施例的掩膜板的结构示意图。

图2为图1中的掩膜板沿i-i线的剖面结构示意图。

图3为图2中子掩膜板中的子掩膜板的放大结构示意图。

图4为图2中子掩膜板中的第一侧板及第二侧板的放大结构示意图。

图5为本发明一较佳实施例的子掩膜板的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请一并参阅图1、图2及图3,图1为本发明一较佳实施例的掩膜板的结构示意图;图2为图1中的掩膜板沿i-i线的剖面结构示意图;图3为图2中子掩膜板中的子掩膜板的放大结构示意图。。所述掩膜板1包括外框10及多个子掩膜板30。所述外框10为中空结构,用于承载所述子掩膜板。所述子掩膜板30用于选择性地遮挡制备像素时的发光材料,所述子掩膜板30沿第一方向d1延伸且多个所述子掩膜板30沿第二方向d2排列,所述子掩膜板30的两端设置在所述外框10相对的两边上。在本实施方式中,所述子掩膜板30为条状,所述子掩膜板30的两个短边所在的两端设置在所述外框10相对的两边上。所述子掩膜板30包括第一本体31、第一遮挡部32及第二遮挡部33。所述第一本体31包括第一表面311、第二表面312、第三表面313及第四表面314。所述第一表面311与所述第二表面312相对设置,所述第三表面313与所述第四表面314相对设置,且所述第三表面313分别与所述第一表面311及所述第二表面312相交,所述第四表面314分别与所述第一表面311及所述第二表面312相交。所述第一遮挡部32自所述第三表面313延伸出来,且所述第一遮挡部32的厚度小于所述第一本体31的厚度。所述第二遮挡部33自所述第四表面314延伸出来,且所述第二遮挡部33的厚度小于所述第一本体31的厚度。所述子掩膜板30的第一遮挡部32用于和相邻的子掩膜板30的第二遮挡部33相互配合以遮挡相邻的两个子掩膜板30之间的间隙。

优选地,所述第一本体31、所述第一遮挡部32及所述第二遮挡部33为一体结构。

相较于现有技术,本发明的掩膜板1中的子掩膜板30中通过设置第一遮挡部32及第二遮挡部33,所述第一遮挡部32自所述第三表面313延伸出来,所述第二遮挡部33自所述第四表面314延伸出来,子掩膜板30设置到所述外框10上时,所述子掩膜板30的第一遮挡部32和相邻的子掩膜板30的第二遮挡部33配合以遮挡相邻的两个子掩膜板30之间的间隙。因此,克服了现有技术中的相邻的子掩膜板之间存在间隙而导致的制备出来的oled产品不良的技术问题。进一步地,由于所述第一遮挡部32自所述第三表面313延伸出来,第二遮挡部33自所述第四表面314延伸出来,在所述子掩膜板30设置到所述外框10时,不需要额外的遮挡部件来遮挡相邻的子掩膜板之间的间隙,从而使得整个掩膜板1的厚度较薄,从而减小了由于整个掩膜板的厚度较厚带来的oled混色不良的技术问题。

所述第一遮挡部32包括第一端面321及第二端面322。所述第一端面321与所述第二端面322相对设置,且所述第一端面321及所述第二端面322均与所述第三表面313相交,所述第一端面321与所述第二表面312共面,所述第二端面322所在的平面位于所述第一表面311所在的平面以及所述第二表面312所在的平面之间。所述第二遮挡部33包括第三端面331及第四端面332,所述第三端面331与所述第四端面332相对设置,且所述第三端面331及所述第四端面332均与所述第四表面314相交,所述第三端面331与所述第一表面311共面,所述第四端面332所在的平面位于所述第一表面311所在的平面以及所述第二表面312所在的平面之间。

在本实施方式中,所述第一端面321与所述第二端面322之间的距离为第一距离,所述第三端面331与所述第四端面332之间的距离为第二距离,所述第一距离与所述第二距离之和等于所述第一表面311与所述第二表面312之间的距离。当所述子掩膜板30组装时,所述子掩膜板30的第一遮挡部32和相邻的子掩膜板30的第二遮挡部33拼接到一块,以遮挡相邻的两个子掩膜板30之间的间隙,且所述子掩膜板30的第一遮挡部32和相邻的子掩膜板30的第二遮挡部33相互承接以保证相邻的子掩膜板30远离所述外框10的表面平整。优选地,所述第一距离等于所述第二距离。

在本实施方式中,所述第一表面311相较于所述第二表面312邻近所述外框10设置。可以理解地,在其他实施方式中,所述第二表面312相较于所述第一表面311邻近所述外框10设置。

在本实施方式中,所述外框10包括第一边11、第二边12、第三边13及第四边14。所述第一边11及所述第二边12平行且间隔设置,所述第一边11及所述第二边12沿所述第一方向d1延伸,所述第三边13及所述第四边14平行且间隔设置,所述第三边13及所述第四边14沿所述第二方向d2延伸。所述第三边13相对的两端分别连接在所述第一边11的一端及所述第二边12的一端,所述第四边14相对的两端分别连接在所述第一边11远离所述第三边13的一端及所述第二边12远离所述第三边13的一端。所述子掩膜板30的两端分别设置在所述第三边13及所述第四边14上。在本实施方式中,所述子掩膜板30为条状,所述子掩膜板30的两个短边所在的两个端分别设置在所述第三边13及所述第四边14上。所述掩膜板1还包括侧板40,所述侧板40用于遮挡所述子掩膜板30与所述外框10之间的间隙。在本实施方式中,所述侧板40为两种,为了方便区分,分别命名为第一侧板41及第二侧板42。所述第一侧板41用于遮挡所述第一边11以及与所述第一边11距离最近的子掩膜板30之间的间隙,所述第二侧板42用于遮挡所述第二边12以及与所述第二边12距离最近的子掩膜板30之间的间隙。

请一并参阅图4,图4为图2中子掩膜板中的第一侧板及第二侧板的放大结构示意图。所述第一侧板41包括第二本体411及第一延伸部412。在本实施方式中,所述第二本体411为条状,所述第一延伸部412自所述第二本体411的一端面延伸出来,所述第一延伸部412的厚度小于所述第二本体411的厚度且所述第一延伸部的412一端面与所述第二本体411的一端面共面,所述第二本体411部分设置在所述第一边11上,所述第一延伸部412中与所述第二本体411的端面共面的端面背离所述外框10设置,且所述第一延伸部412与距离所述第一边11最近的子掩膜板30的第二遮挡部33配合以遮挡所述第一边11与距离所述第一边11最近的子掩膜板30之间的间隙。具体地,所述第一延伸部412设置在距离所述第一边11最近的子掩膜板30的第二遮挡部33上,以遮挡所述第一边11与距离所述第一边11最近的子掩膜板30之间的间隙。

在本实施方式中,所述第二侧板42包括第三本体421及第二延伸部422。在本实施方式中,所述第三本体421为条状,所述第二延伸部422自所述第三本体421的一端面延伸出来,所述第二延伸部422的厚度小于所述第三本体421的厚度且所述第二延伸部422的一端面与所述第三本体421的一端面共面,所述第三本体421部分设置在所述第二边12上,所述第二延伸部422中与所述第三本体421的端面共面的端面背离所述外框10设置,且所述第二延伸部422与距离所述第二边12最近的子掩膜板30的第一遮挡部32配合以遮挡所述第二边12与距离所述第二边12最近的子掩膜板30之间的间隙。具体地,所述第二延伸部422设置在距离所述第二边12最近的子掩膜板30的第一遮挡部32上,以遮挡所述第二边12与距离所述第二边12最近的子掩膜板30之间的间隙。

在本实施方式中,所述掩膜板1还包括支撑板(supportmask)20。所述支撑板20设置在所述外框10与所述子掩膜板30之间,用于支撑所述子掩膜板30,所述支撑板20的延伸方向垂直于所述子掩膜板30的延伸方向。优选地,所述支撑板20的数量为两个,两个支撑板30平行设置,其中一个支撑板20距离所述外框10最近的一个边的距离等于另外一个支撑板20距离所述外框10最近的一个边之间的距离。为了方便描述,所述两个支撑板20分别命名为第一支撑板21及第二支撑板22。所述第一支撑板21及所述第二支撑板22平行设置,所述第一支撑板21距离所述外框10的第三边13最近,所述第二支撑板22距离所述外框10的第四边14最近。所述第一支撑板21及所述第二支撑板22的的两端分别设置在所述第一边11以及所述第二边12上。所述第一支撑板21距离所述第三边13的距离等于所述第二支撑板22距离所述第四边14的距离。

请一并参阅图5,图5为本发明一较佳实施例的子掩膜板的结构示意图。所述子掩膜板30的第一本体31上开设有多个间隔设置的开口30a。所述开口30a用于通过制备像素时的蒸镀材料。相邻的两个开口30a之间为实体结构,所述实体结构用于遮挡制备像素时的蒸镀材料。当所述子掩膜板30设置在外框10上时,所述外框10对所述开口30a无遮挡。在本实施方式中,所述开口30a为长方形,所述开口30a的长边平行于所述第一方向d1,所述开口30a的短边平行于所述第二方向d2。

在本实施方式中,所述第一方向d1为y轴,所述第二方向d2为x轴。可以理解地,在其他实施方式中,所述第一d1为x轴,所述第二方向d2为y轴。

以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本发明权利要求所作的等同变化,仍属于发明所涵盖的范围。

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