一种正性光刻胶清洗组合物及其制备方法与流程

文档序号:15978729发布日期:2018-11-17 00:04阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种正性光刻胶清洗组合物及其制备方法,该组合物由以下重量百分比的组分组成:酰胺类40%~50%,醇醚类30%~50%,有机胺1%~10%,添加剂1%~10%,抑制剂0.3%~1%,其中,所述添加剂包括1,3‑二甲基‑2‑咪唑啉酮、有机醇中的至少一种。本发明的正性光刻胶清洗组合物的清洗力强,剥离效果好,无腐蚀,可提高被清洗基材的使用寿命,其制备工艺简单,制造成本低。

技术研发人员:卢燕燕;张丽燕
受保护的技术使用者:深圳达诚清洗剂有限公司
技术研发日:2018.06.21
技术公布日:2018.11.16
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