一种全自动曝光机的制作方法

本实用新型涉及线路生产制作技术领域，特别涉及一种全自动曝光机，尤其涉及一种能改善对位精度的全自动曝光机。

背景技术：

曝光机是20世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

随着近年自动化需求的提升，手动曝光机逐渐被全自动曝光机取代，传统的曝光机的手动对位方式也无法满足自动化生产的要求。

目前业内的曝光机对位的方法是将线路板传送至曝光台面固定位置上，通过CCD抓取板内外围四个大孔，分析后调整粘有菲林的曝光玻璃的位置，使菲林对准外围孔后进行曝光。此种方法多应用于多层线路板，由于有裁磨流程，板边规则整齐，而且每块板外围孔离板边距离一致，不会存在拒曝、对位偏孔等问题。然而，单双面板的定位孔位置由钻孔操作员自己选取，会存在每块板的外围孔离板边距离不一致的问题，若单双面板同样采用多层线路板的对位方式，会造成大量拒曝，曝光偏孔的问题。

鉴于此，有必要提供一种新的曝光对位方式解决上述技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服上述技术问题，提供一种可提高单双面板定位精度的全自动曝光机，可有效避免曝光偏孔和拒曝等问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种全自动曝光机，包括：

曝光台面，所述曝光台面上方设有曝光玻璃；

移动平台，所述移动平台设于所述曝光台面，且所述移动平台上设有用于线路板定位的定位销；

第一对位装置，所述第一对位装置包括设于所述曝光台面进料端一侧用于扫描线路板内孔位的第一扫描装置，及用于调整所述移动平台位置的第一控制装置，所述第一扫描装置与所述第一控制装置电连接；

第二对位装置，所述第二对位装置包括设于所述曝光台面上方用于扫描线路板外围孔的第二扫描装置及用于调整所述曝光玻璃位置的第二控制装置，所述第二扫描装置与所述第二控制装置电连接。

进一步地，所述第一扫描装置包括对应线路板两个对角设置的两个CCD传感器。

进一步地，所述第一控制装置包括伺服马达。

进一步地，所述伺服马达位于所述曝光台面下方。

进一步地，所述第二扫描装置包括对应扫描线路板四角外围孔的四个CCD传感器。

相较于现有技术，本实用新型提供的全自动曝光机，有益效果在于：

本实用新型提供的全自动曝光机，在曝光台面进料端一侧设置第一对位装置，第一对位装置中的第一扫描装置扫描线路板内孔位，并将扫描结果传输至第一控制装置，第一控制装置控制移动平台移动，使移动平台上的定位销与线路板上的定位孔位置对应，从而使线路板四个角的外围孔正好与第二扫描装置对位，生产过程中只需微调曝光玻璃，即可完成曝光流程。通过本实用新型提供的全自动曝光机，使第二扫描装置能对线路板四个角的外围孔进行精准对位，解决了单双面板因外围孔距离板边位置不同而造成的曝光偏孔和拒曝等问题，提高了曝光机的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的全自动曝光机的结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型实施例中的技术方案，并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。

在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

请参阅图1，为本实用新型提供的全自动曝光机的结构示意图。本实用新型提供的全自动曝光机100包括曝光台面11、设于曝光台面11的移动平台12、设于曝光台面11上方的曝光玻璃13、第一对位装置14及第二对位装置15。

移动平台12上设有定位销121，定位销121与线路板上的定位孔位置相对应，当线路板输送至曝光台面11时，定位销121套设于线路板的定位孔内，使线路板定位。移动平台12相对于曝光台面11可移动，从而可灵活调整移动平台12的位置，使移动平台12上的定位销与线路板的定位孔位置对应。

曝光玻璃13设于曝光台面11上方，与曝光台面11间隔设置，并位于线路板上方。曝光过程中，需要调整曝光玻璃13的位置，使曝光玻璃13上的菲林对位线路板外围孔，然后进行曝光。

第一对位装置14包括设于曝光台面11进料端一侧用于扫描线路板内孔位的第一扫描装置141，及用于调整移动平台12位置的第一控制装置(未图示)，第一扫描装置141与第一控制装置电连接。第一扫描装置141设于预对位台面143上方。

第二对位装置15包括设于曝光台面11上方用于扫描线路板外围孔的第二扫描装置151及用于调整曝光玻璃13位置的第二控制装置(未图示)，第二扫描装置151与第二控制装置电连接。

本实用新型提供的全自动曝光机100，工作原理如下：

第一扫描装置141扫描线路板内孔位，并将扫描结果传输至第一控制装置，第一控制装置控制移动平台12移动，使移动平台12上的定位销121与线路板上的定位孔位置对应，从而使线路板四个角的外围孔正好与第二扫描装置151对位；

第二控制装置控制曝光玻璃13调整位置，使曝光玻璃13上的菲林对位线路板外围孔，即可完成曝光流程。

本实施例中，第一扫描装置141包括对应线路板两个对角设置的两个CCD传感器，设于线路板上方；第一控制装置包括伺服马达(未图示)，该伺服马达设于曝光台面11下方。

第二扫描装置151包括对应扫描线路板四角外围孔的四个CCD传感器，四个CCD传感器设于线路板正上方，与线路板外围孔对位。

相较于现有技术，本实用新型提供的全自动曝光机，有益效果在于：

本实用新型提供的全自动曝光机，在曝光台面进料端一侧设置第一对位装置，第一对位装置中的第一扫描装置扫描线路板内孔位，并将扫描结果传输至第一控制装置，第一控制装置控制移动平台移动，使移动平台上的定位销与线路板上的定位孔位置对应，从而使线路板四个角的外围孔正好与第二扫描装置对位，生产过程中只需微调曝光玻璃，即可完成曝光流程。通过本实用新型提供的全自动曝光机，使第二扫描装置能对线路板四个角的外围孔进行精准对位，解决了单双面板因外围孔距离板边位置不同而造成的曝光偏孔和拒曝等问题，提高了曝光机的效率。

本实用新型提供的全自动曝光机，不仅适用于单双面板，也可适用于多层板，应用不受限制。

以上结合附图对本实用新型的实施方式作出详细说明，但本实用新型不局限于所描述的实施方式。对本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下对这些实施例进行的多种变化、修改、替换和变型均仍落入在本实用新型的保护范围之内。