一种集成电路掩模版用新型多片盒的制作方法

本实用新型涉及一种多片盒，特别涉及一种集成电路掩模版用新型多片盒，属于集成电路存储设备技术领域。

背景技术：

在半导体、集成电路、光伏产品等电子产品制造过程中，需要对以半导体晶片和光掩模版为代表的各种基板进行光刻处理，而掩模的光刻技术就是将客户的图形文件写入到掩模版的光刻胶上，然后进行显影、蚀刻，由于光刻工艺对污染很敏感，需要严格控制光刻工艺的洁净度，通常掩模版都需存放在多片盒中，以免传输过程中受到损坏以及污染，而现有多片盒采用硬塑料材质的卡槽作为减震材料，而硬塑料材质的卡槽无法有效确保光掩模版的安全，极容易导致光掩模版受到剐蹭和损伤。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种集成电路掩模版用新型多片盒。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种集成电路掩模版用新型多片盒，包括盒体、盒盖和减震条，所述盒体的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡头，所述盒盖的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡口，所述盒体的内侧固定连接有四个限位块，四个所述限位块之间固定安装有塑胶垫，所述盒盖的内壁上均匀分布有若干限位条，所述盒盖顶部设有减震条，所述减震条的两端均设有两个矩形槽，所述减震条的中部设有若干圆形槽，所述减震条的两个相对侧边上分别固定连接有若干第一翘起部和若干第二翘起部，所述矩形槽套接在矩形卡柱上，所述圆形槽套接在圆形卡柱上，所述矩形卡柱和圆形卡柱均与盒盖固定连接，所述第一翘起部的上侧设有若干凸起，所述第一翘起部和第二翘起部的下方均设有定位柱，所述定位柱固定安装在盒盖的顶部，所述定位柱的上端固定连接有限位板，所述定位柱的曲面上套接有滑套，所述滑套的两侧均设有弹簧，所述滑套的两侧均固定连接有连接杆，所述连接杆的上端固定连接有承托。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述减震条为橡胶材料制成。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述限位板的高度低于承托的高度。

作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述减震条对称分布在盒盖的顶部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑套与定位柱滑动连接。

本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型一种集成电路掩模版用新型多片盒，将盒体卡槽原有硬塑料材质改成为橡胶材质，使得集成电路掩模版运输途中不易撞伤，且集成电路掩模版的减震条上侧设有减震结构，能与橡胶减震条结构相互契合，能有效将震动力缓冲，从而可以避免电路掩模版在运输过程中被损坏和污染，提高了产品品质，此外本装置结构合理，具有经济实用，安全可靠的优点。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型盒盖的侧面剖视图。

图中：1、盒体；2、盒盖；3、减震条；4、卡口；5、卡头；6、限位块；7、塑胶垫；8、限位条；9、矩形卡柱；10、圆形卡柱；11、矩形槽；12、圆形槽；13、第一翘起部；14、第二翘起部；15、凸起；16、定位柱；17、限位板；18、滑套；19、连接杆；20、承托；21、弹簧。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

如图1-2所示，一种集成电路掩模版用新型多片盒，包括盒体1、盒盖2和减震条3，盒体1的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡头5，盒盖2的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡口4，盒体1的内侧固定连接有四个限位块6，四个限位块6之间固定安装有塑胶垫7，盒盖2的内壁上均匀分布有若干限位条8，盒盖2顶部设有减震条3，减震条3的两端均设有两个矩形槽11，减震条3的中部设有若干圆形槽12，减震条3的两个相对侧边上分别固定连接有若干第一翘起部13和若干第二翘起部14，矩形槽11套接在矩形卡柱9上，圆形槽12套接在圆形卡柱10上，矩形卡柱9和圆形卡柱10均与盒盖2固定连接，第一翘起部13的上侧设有若干凸起15，第一翘起部13和第二翘起部14的下方均设有定位柱16，定位柱16固定安装在盒盖2的顶部，定位柱16的上端固定连接有限位板17，定位柱16的曲面上套接有滑套18，滑套18的两侧均设有弹簧21，滑套18的两侧均固定连接有连接杆19，连接杆19的上端固定连接有承托20。

减震条3为橡胶材料制成，使得集成电路掩模版运输途中不易撞伤，限位板17的高度高于承托20的高度，确保减震结构的减震作用可以实现，两个减震条3对称分布在盒盖2的顶部，方便放置集成电路掩模版，滑套18与定位柱16滑动连接，确保减震结构可以有效减震。

具体的，本实用新型使用时，将多片电路掩模版水平放置在盒盖2内，多个限位条8的设置，可以贴合电路掩模版的侧边，能有效防止电路掩模版移位，多个圆形卡柱10的设置，能有效固定橡胶材质的减震条3，将盒体1与盒盖2卡紧后，塑胶垫7可以压紧电路掩模版，进而有效固定电路掩模版，在电路掩模版运输过程中若发生颠簸，由于承托20与第一翘起部13和第二翘起部14紧贴，因而电路掩模版的震动将会推动承托20向上运动，进而使得滑套18向上移动，滑套18上方的弹簧21将会被压缩，从而达到缓冲震动力的作用，同理，滑套18下方的弹簧21同样能有效减轻震动力。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。