掩模板的改良结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及掩模板，尤其涉及一种掩模板的改良结构。
【背景技术】
[0002]有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED(Organic Light-Emitting D1de，有机电致发光二极管)技术中，真空蒸镀中的掩模板技术是一项非常重要和关键的技术，该技术的等级直接影响OLED产品的质量和制造成本。
[0003]现有技术中的掩模板，一般包括膜片和板框，膜片的边缘部焊接并贴附在板框上，一方面，由于膜片的边缘部与板框之间在贴合时，两者之间多或多少存在一定的间距，该间隙中可能存在气泡，因此导致膜片不能与板框完全贴合。另一方面，在使用后进行掩模板清洗时，膜片的边缘部与板框之间的间隙中可能存在积水等问题，导致膜片与板框也不能完全贴合。也就是说，上述两种情况均造成膜片与板框不能完全贴合，不能完全贴合则直接导致膜片的平整度降低，而膜片的平整度直接影响了蒸镀时的蒸镀质量。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足而提供一种掩模板的改良结构。
[0005]本实用新型解决现有技术问题所采用的技术方案是:一种掩模板的改良结构，包括:
[0006]板框，所述板框形成有镂空区及位于所述镂空区周围的框沿；
[0007]膜片，所述膜片具有相对的接触面和蒸镀面以及自所述蒸镀面贯穿至所述接触面的蒸镀孔，所述蒸镀孔位于所述镂空区上方，所述蒸镀孔的外围形成有边缘部;所述边缘部贴附于所述框沿上且所述蒸镀面朝下，所述边缘部上布设有自所述接触面贯穿至所述蒸镀面的透气孔。
[0008]优选地，所述透气孔为多个，多个所述透气孔阵列分布于所述边缘部上。
[0009]优选地，所述边缘部通过激光焊接于所述框沿，且于所述边缘部形成有连续的焊点，所述透气孔位于所述焊点的内侧。
[0010]优选地，所述边缘部上设有泄力孔，所述泄力孔为条形孔且与所述透气孔平行设置。
[0011 ] 优选地，所述泄力孔位于所述透气孔内侧。
[0012]优选地，所述蒸镀孔以N列M行排布于所述膜片的中央，每行所述蒸镀孔的两侧分别设置至少一个所述泄力孔，每列所述蒸镀孔的两侧分别设有至少一个所述泄力孔。
[0013]优选地，所述蒸镀孔为自所述蒸镀面向所述接触面尺寸逐渐减小的渐缩孔。
[0014]优选地，所述蒸镀孔包括同轴设置的第一孔段及第二孔段，所述第一孔段邻近所述蒸镀面。
[0015]优选地，所述第二孔段的孔壁与竖直方向之间的夹角50±3度，所述膜片的厚度为18?190微米，所述第二孔段的垂直深度为8?20微米。
[0016]优选地，所述板框及膜片为镍钴合金、镍铁合金、铟瓦合金材质中的任意一种。
[0017]根据本实用新型提供的掩模板的改良结构，通过在膜片的边缘部上设置透气孔，一方面，可以使得在使用过程中，膜片的边缘部与板框之间的气泡快速从透气孔排出，确保膜片的边缘部与板框之间无间隙贴合，保持膜片更加平整;另一方面，在使用后对掩模板清洗时，膜片的边缘部与板框之间的液体可以从透气孔排出，如此，也可以保持膜片与板框恢复至无间隙贴合状态，保持其平整度。
【附图说明】
[0018]图1是本实用新型一个实施例掩模板的改良结构的分解图；
[0019]图2是本实用新型一个实施例掩模板的改良结构的整体结构示意图；
[0020]图3是本实用新型另一个实施例掩模板的改良结构的分解图；
[0021]图4是本实用新型另一个实施例掩模板的改良结构的整体结构示意图；
[0022]图5是本实用新型一个实施例掩模板的改良结构中膜片的剖视图；
[0023]图6是图5中A处的局部放大图。
[0024]附图标记:
[0025]膜片10;
[0026]蒸镀孔101;
[0027]边缘部102;
[0028]透气孔1021;
[0029]焊点1022;
[0030]泄力孔123;
[0031]接触面11;
[0032]蒸镀面12;
[0033]板框20;
[0034]镂空区201;
[0035]框沿202。
[0036]本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
【具体实施方式】
[0037]下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
[0038]在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语〃中心〃、〃纵向〃、〃横向〃、〃长度〃、〃宽度〃、〃厚度〃、〃上〃、〃下〃、〃前〃、〃后〃、〃左〃、〃右〃、〃竖直〃、〃水平〃、〃顶〃、〃底〃〃内〃、〃外〃、〃顺时针〃、〃逆时针〃等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0039]此外，术语〃第一〃、〃第二〃仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有〃第一 〃、〃第二 〃的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，〃多个〃的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0040]在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语〃安装〃、〃相连〃、〃连接〃、〃固定〃等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0041]参照图1至图2所示，本实用新型实施例提供了一种掩模板的改良结构，包括板框20及膜片10。
[0042]具体而言，板框20形成有镂空区201及位于所述镂空区201周围的框沿202。例如图1所示，板框20呈方形，方形板框20的中间为镂空区201，外围为框沿202。
[0043]膜片10具有相对的接触面11和蒸镀面12以及自所述蒸镀面12贯穿至所述接触面11的蒸镀孔101，如图1所示，膜片10呈与所述板框20相适配的方形，该膜片10的上表面为接触面11，用于在蒸镀时与玻璃基板的ITO层(氧化铟锡)接触，下表面为蒸镀面12，在蒸镀时与蒸发源相对。蒸镀孔101位于膜片10的中央，可以是通过激光工艺或蚀刻工艺等加工形成。
[0044]蒸镀孔101位于所述镂空区201上方，所述蒸镀孔101的外围形成有边缘部102。边缘部102贴附于所述框沿202上且所述蒸镀面12朝下，所述边缘部102上布设有自所述接触面11贯穿至所述蒸镀面12的透气孔1021。也就是说，膜片10上蒸镀孔101的外围为边缘部102，边缘部102的下表面(也即是蒸镀面12)是贴附在板框20的框沿202上的，而且该边缘部102上设置有透气孔1021。
[0045]根据本实用新型提供的掩模板的改良结构，通过在膜片10的边缘部102上设置透气孔1021，一方面，可以使得在使用过程中，膜片10的边缘部102与板框20之间的气泡快速从透气孔1021排出，确保膜片10的边缘部102与板框20之间无间隙贴合，保持膜片10更加平整；另一方面，在使用后对掩模板清洗时，膜片10的边缘部102与板框20之间的液体可以从透气孔1021排出，如此，也可以保持膜片10与板框20恢复至无间隙贴合状态，保持其平整度。
[0046]参照图1至图2所示，在本实用新型的优选实施例中，透气孔1021为多个，多个所述透气孔1021阵列分布于所述边缘部102上。也就是说，透气孔1021密集布置在边缘部102上，如此，