掩模板及光配向方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光配向技术，尤其涉及掩模板及光配向方法。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的发展和社会的进步，液晶显示技术已经越来越广泛的被人们所应用，并且在工业生产、人民生活中起着至关重要的作用。
[0003]使液晶显示面板上的液晶具有预倾斜角的常规方法包括接触型的摩擦(Rubbing)定向法和非接触型的光配向(Photo Alignment)定向法。摩擦定向法是利用绒布滚轮摩擦待配向膜的表面，通过施加物理压力使得待配向膜表层的分子按照特定方向排列。当滚轮摩擦待配向膜时，易造成粉尘颗粒与静电残留及其他摩擦不良，影响产品良率。所以目前更多的生产线采用光配向定向法对配向膜进行配向。
[0004]光配向定向法是利用使紫外光通过偏振片后得到的偏振光照射基板上的配向膜，对配向膜进行配向，使得配向膜表层具有光学异向性。与摩擦定向法相比，光配向定向法能够有效地提升产品良率与生产设备的稳定度。在光配向定向法中，掩模板是曝光过程中原始图形的载体，是转移微细图形的工具，用于产品的批量复制生产，在生产中具有关键作用。
[0005]传统生产工艺过程中，一个基板对应一个产品，不同产品对应的图形不同，需要使用不同的掩模板。随后，为了提升基板、掩模板以及光配向设备的利用率，出现了在同一张基板上同时制作多种产品的多模型组(Multi Model Group，MMG)技术。现有的多模型组(Multi Model Group，MMG)技术中，同一基板包含多个不同图形的产品，这能够减少基板数量，但是也使得掩模板更为复杂。掩模板价格昂贵且对于精度要求很高，设计、制作、运输、保存以及更换安装等过程的成本均较高，给设计者和生产者均带来较大的负担。如何减少掩模板的数量以及减小损坏概率，便成为降低成本的关键。
【发明内容】
[0006]本发明的实施例提供了一种掩模板，能够对应于不同的产品。
[0007]根据本发明的第一个方面，提供了一种掩模板，包括多个挡板、框体和透光区域。在框体上设置有支撑部件和移动部件。挡板被配置为遮挡透光区域。支撑部件被配置为支撑遮挡透光区域的挡板。移动部件被配置为用于将挡板移动到遮挡透光区域的位置。
[0008]在本发明的实施例中，掩模板还包括挡板存放箱，挡板存放箱被配置为存放挡板。
[0009]在本发明的实施例中，支撑部件是位置固定的柱状结构。
[0010]在本发明的实施例中，移动部件是位置能够变化的柱状结构。移动部件在第一位置和第二位置之间平行移动，并且进行上升、下降动作。移动部件在上升时支撑挡板并且使挡板离开支撑部件的支撑，移动部件在下降时离开挡板并且使挡板由支撑部件支撑。
[0011]在本发明的实施例中，挡板包括第一挡板和第二挡板，第一挡板的长度方向沿第一方向，第二挡板的长度方向沿第二方向。
[0012]在本发明的实施例中，第一方向与第二方向垂直。
[0013]在本发明的实施例中，在挡板遮挡透光区域时，相邻的挡板之间部分重叠。
[0014]根据本发明的第二个方面，提供了一种使用上述掩模板的光配向方法，包括:根据在基板上排列的产品的位置，确定所需的配向次数以及在每次配向时掩模板的透光区域上需要被遮挡的区域。根据每次配向时掩模板的透光区域上需要被遮挡的区域，确定所需要的挡板的数量以及位置。以及在进行每次配向时，根据当前配向所需要的挡板的数量以及位置，移动挡板到达对应的位置，以遮挡掩模板的至少一部分透光区域，然后隔着掩模板向基板照射配向光。
[0015]采用本发明的实施例的掩模板，使得一块掩模板可以应用于生产不同MMG产品，生产过程中，换掩模板不需要更换即可进行照射取向，并且掩模板在其正常使用寿命范围之内时也不需卸载，优化了生产工艺，有效的降低了成本。
【附图说明】
[0016]为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图进行简要说明，应当知道，以下描述的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制，其中:
[0017]图1是MMG广品的基板的不意性的俯视图；
[0018]图2是根据本发明的第一实施例的掩模板的示意性的俯视图；
[0019]图3是图2所示实施例的掩模板的框体的示意性的剖视图；
[0020]图4是图2所示实施例的掩模板中移动部件的工作流程的示意图；
[0021]图5是根据本发明的第二实施例的光配向方法的示意性的流程图；
[0022]图6是对于图1中基板3上的广品2进彳丁光配向的不意图；
[0023]图7是对于图1中基板3上的产品I进行光配向前进行基板旋转的示意图；
[0024]图8是对于图1中基板3上的第一列产品I进行光配向的示意图；
[0025]图9是对于图1中基板3上的第一列产品2进行遮挡的示意图；
[0026]图10是对于图1中基板3上的第二列产品I进行光配向的示意图；
[0027]图11是对于图1中基板3上的第二列产品2进行遮挡的示意图。
【具体实施方式】
[0028]为了使本发明的实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图，对本发明的实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，也都属于本发明保护的范围。
[0029]图1是MMG广品的基板的不意性的俯视图。如图1所不，在同一基板上排列了多个广品。在本例中，在基板3上排列了 2列产品I和2列产品2，并且在行方向上，产品I和产品2间隔排列。产品I和产品2的液晶分子取向分别如图1中产品I和产品2上标注的箭头所示，需要不同的配向光进行照射。因此，在现有技术中，需要在加工过程中不断更换掩模板来进行所有产品的光配向。这两种方式都会使得掩模板不易制造，成本较高。
[0030]图2是本发明的第一实施例提供的掩模板的示意性的俯视图。如图2所示，掩模板4包括多个挡板5、框体6和透光区域7。在框体上设置有支撑部件8和移动部件9。挡板5被配置为遮挡透光区域7。支撑部件8被配置为支撑遮挡透光区域7的挡板5。移动部件9被配置为用于将挡板5移动到遮挡透光区域7的位置。
[0031]图中各个部件的形状以及位置仅用于示意性的说明。例如，支撑部件8和移动部件9在图中使用了不同的形状表示，这是为了对于两者进行区分，并不意味对其形状进行限定。
[0032]此外，掩模板4还可以包括挡板存放箱10，挡板存放箱10被配置为存放挡板5。挡板存放箱10可以附加在框体6上，也可以使得框体6上具有凹陷结构而直接形成。
[0033]根据本实施例，掩模板4可以通过使用多个挡板5对于透光区域7进行遮挡，形成不同的透光图案，使得掩模板4可以应用于不同产品的生产。并且，在不同产品的生产过程中，无需对于掩模板4进行卸载和加载工作，降低了使用成本，能够很好的应用于MMG产品的生产。具体透光图案可以通过控制系统人为指定，也可以通过控制系统的控制程序自动生成。
[0034]在本发明的实施例中，挡板5还可以包括第一挡板和第二挡板，第一挡板的长度方向沿第一方向，第二挡板的长度方向沿第二方向。设置两种挡板，并且，使得两种挡板的长度方向不相同，这样在减少挡板类型、降低使用成本的同时，能够保证透光图案的适应性。进一步的，如图2所示，第一方向与第二方向可以垂直。这样可以在保证透光图案的适应性的同时使得挡板5的移动、支撑以及存放机构得到进一步的简化。
[0035]在本发明的实施例中，在挡板5遮挡透光区域7时，相邻的挡板5之间部分重叠。这样，能够保证挡板5之间不漏光。
[0036]图3是图2所示实施例的掩模板的框体的示意性的剖视图。如图3所示，支撑部件8是位置固定的柱状结构，被配置为支撑遮挡透光区域7的所述挡板5。移动部件9是位置能够变化的柱状结构，被配置为移动挡板5。移动部件9在第一位置和第二位置之间平行移动，并且能够上升和下降，移动部件9在上升时支撑挡板5并且使挡板5离开支撑部件8的支撑，移动部件9在下降时离开挡板5并且使挡板5由支撑部件8支撑。第一位置和第二位置指挡板5移动方向上的两个不同位置。
[0037]可以使用任何机械的或者机电的控制方式来使移动部件9完成上述运动。在图3中，使用了电脑、可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller，PLC)以及执行机构组成的系统来进行控制，通过程序编辑，进行挡板5位置的设置及搬运。使用电脑和PLC能够对于挡板5的位置进行更加精确和复杂的控制，扩展了掩模板的应用范围，并且提高了效率。但是，应当知道的是，在例如实验性的应用中，由技术人员通过机