带弧面过渡角产品的多轴联动曝光装置及曝光方法与流程

文档序号:19736141发布日期:2020-01-18 04:29阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光装置,包括机座,其特征在于:所述机座上设置有曝光机架,所述曝光机架上沿x方向滑动安装有x滑座,x滑座由x动力装置驱动,所述x滑座上竖直滑动安装有z滑座,该z滑座由z动力装置驱动,所述z滑座上安装有曝光头组件,所述机座上沿y方向滑动安装有y滑座,该y滑座由y动力装置驱动在上料工位和曝光工位之间滑动,该y滑座上安装有绕平行于x方向的中心轴偏转的偏转装置,该偏转装置上转动设置有由产品旋转动力装置驱动的产品固定板,该产品固定板的旋转中心线位于yz平面内。

2.如权利要求1所述的一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光装置,其特征在于:所述偏转装置包括固定于y滑座上的偏转底座,该偏转底座上设置有偏转凹槽,该偏转凹槽为柱面状的凹槽,该偏转凹槽内偏摆安装有偏转座,该偏转座和偏转底座之间设置有偏转动力装置,所述产品旋转动力装置和产品固定板安装于偏转座上。

3.如权利要求1所述的一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光装置,其特征在于:所述偏转装置包括固定于y滑座上的偏转底座,该偏转底座上转动安装有偏转座,该偏转座由偏转动力装置驱动旋转,所述产品旋转动力装置和产品固定板安装于偏转座上。

4.如权利要求2或3所述的一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光装置,其特征在于:所述产品固定板为负压吸附座,该负压吸附座上设置有负压吸附孔,该负压吸附孔与负压系统连通。

5.如权利要求4所述的一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光装置,其特征在于:所述产品固定板上设置有背光源,对应的,所述曝光头组件还包括用于对产品进行视觉定位的定位检测相机。

6.如权利要求5所述的一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光装置,其特征在于:所述产品固定板上设置有定位产品位置的定位结构。

7.如权利要求6所述的一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光装置,其特征在于:所述定位结构包括至少一个第一定位块和至少一个第二定位块,第一定位块和第二定位块固定在产品固定板上,第一定位块和第二定位块上分别设置有第一定位端部和第二定位端部,该第一定位端部和第二定位端部分别与产品的外轮廓接触定位。

8.一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光方法,其特征在于:该曝光方法使用了如权利要求1中所述的曝光装置,其中包括以下步骤:

s1、将待曝光的产品放置并固定在处于上料工位的产品固定板上;

s2、所述y动力装置驱动y滑座沿y方向滑动使产品处于曝光工位;

s3、在y滑座的滑动过程中或者在y滑座滑动到曝光工位后,偏转装置偏转使产品倾斜,倾斜的产品的待曝光侧面与曝光头组件对应;

s4、所述x动力装置驱动x滑座沿x方向滑动,曝光头组件按照设定的曝光路线和曝光扫描速度对该待曝光侧面曝光;

s5、当该待曝光侧面曝光完成后,曝光位置到达了弧面过渡角的起始位置;产品固定板带动产品旋转对弧面过渡角位置进行曝光,曝光过程中x滑座、y滑座和z滑座随着产品的旋转进行运动补偿使弧面过渡角上的曝光点与曝光头组件的z分方向的距离保持不变;

s6、弧面过渡角曝光完成后,产品旋转到另一个待曝光侧面与x轴平行时停止;

s7、重复步骤s4至s6,直到产品所有的待曝光侧面都曝光完成。

9.如权利要求8所述的一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光方法,其特征在于:步骤s5中,运动补偿的具体方式为:定义弧面过渡角上的曝光点相对于旋转中心线的旋转半径为r,匀速旋转的角速度为ω,设定的曝光扫描速度为

计算得到弧面过渡角上曝光点的线速度v=ω×r;分解该线速度v可以得到在x、y和z方向上的分速度矢量对应的x滑座的补偿移动速度y滑座的补偿移动速度和z滑座的补偿移动速度满足以下关系:

(1)

(2)

(3)

10.如权利要求9所述的一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光方法,其特征在于:步骤s3中,在偏转装置驱动产品倾斜之前,先利用定位检测相机对曝光工位的产品拍摄形成定位图像,该定位图像作为计算旋转半径r的依据。

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