技术总结
本发明公开了一种带弧面过渡角产品的多轴联动曝光装置，包括机座，所述机座上设置有曝光机架，曝光机架上沿X方向滑动安装有由X动力装置驱动的X滑座，X滑座上竖直滑动安装有由Z动力装置驱动的Z滑座，Z滑座上安装有曝光头组件，机座上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，Y滑座上安装有绕平行于X方向的中心轴偏转的偏转装置，该偏转装置上转动设置有由产品旋转动力装置驱动的产品固定板，该产品固定板的旋转中心线位于YZ平面内。另外本发明公开了使用上述曝光装置的曝光方法，该曝光装置和方法通过X、Y、Z三个方向运动补偿实现对弧面过渡角处准确曝光，提高曝光的精度，减少虚曝现象的发生。
技术研发人员：马迪;吴景舟;陈亮;邹建军;徐维良;韩奥琪;顾舜;林全海
受保护的技术使用者：江苏迪盛智能科技有限公司
技术研发日：2019.09.26
技术公布日：2020.01.17