1.一种纳米图案的拼接方法,其特征在于,包括:
窗口制作步骤:在拼接基板上形成窗口膜层以获得构图基板,对所述窗口膜层进行构图,形成间隔设置的多个压印窗口,所述拼接基板包括衬底基板和形成在所述衬底基板上的模板层,所述窗口膜层形成在所述模板层上,所述模板层的由所述压印窗口裸露出的区域为待压印区域;
图形转印步骤:在所述构图基板上形成压印胶层,所述压印胶层的与所述压印窗口相对的区域为窗口区域,采用压印母模板对所述压印胶层上的多个所述窗口区域及与每个所述窗口区域邻接的周边区域进行纳米压印,以形成多个压印图案;
刻蚀步骤:以所述压印图案为掩膜,对所述模板层上的多个所述待压印区域进行刻蚀,形成多个纳米图案;
去除步骤:去除所述窗口膜层;
拼接步骤:重复执行所述窗口制作步骤、所述图形转印步骤、所述刻蚀步骤和所述去除步骤,形成拼接纳米图案。
2.如权利要求1所述的纳米图案的拼接方法,其特征在于,将被压印的每个所述窗口区域及与其邻接的周边区域定义为胶层压印区域,至少一次所述图形转印步骤中,采用所述压印母模板对多个所述胶层压印区域依次进行纳米压印。
3.如权利要求1所述的纳米图案的拼接方法,其特征在于,将被压印的每个所述窗口区域及与其邻接的周边区域定义为胶层压印区域,至少一次所述图形转印步骤中,采用所述压印母模板对多个所述胶层压印区域同时进行纳米压印。
4.如权利要求1所述的纳米图案的拼接方法,其特征在于,每次所述窗口制作步骤制作的所述压印窗口的数量相同。
5.如权利要求4所述的纳米图案的拼接方法,其特征在于,至少一次所述窗口制作步骤中,制作的多个所述压印窗口的规格均相同。
6.如权利要求5所述的纳米图案的拼接方法,其特征在于,全部所述窗口制作步骤中,制作的所有所述压印窗口的规格均相同。
7.如权利要求6所述的纳米图案的拼接方法,其特征在于,执行四次所述窗口制作步骤,在矩形区域中形成沿第一方向排布的四行窗口,每行窗口包括沿第二方向依次排列的四个所述压印窗口,每个所述压印窗口在第二方向上的行向尺寸均为第一尺寸。
8.如权利要求4所述的纳米图案的拼接方法,其特征在于,至少一次所述窗口制作步骤中,制作的多个所述压印窗口的规格不全相同。
9.如权利要求8所述的纳米图案的拼接方法,其特征在于,执行三次所述窗口制作步骤,在矩形区域中形成沿第一方向排布的四行窗口,第一行窗口和第三行窗口相同且均为奇数行窗口或偶数行窗口中的一个,第二行窗口和第四行窗口相同且均为所述奇数行窗口或所述偶数行窗口中的另一个,其中,所述偶数行窗口包括沿第二方向依次排列的四个所述压印窗口,所述奇数行窗口包括沿第二方向依次排列的五个所述压印窗口,所述偶数行窗口中的每个所述压印窗口在第二方向上的行向尺寸均为第二尺寸,所述奇数行窗口中的中间三个所述压印窗口在第二方向上的行向尺寸也均为所述第二尺寸,所述奇数行窗口中的边上两个所述压印窗口在第二方向上的行向尺寸之和也为所述第二尺寸。
10.一种纳米图案的拼接设备,其特征在于,所述拼接设备至少用于执行根据权利要求1-9中任一项所述的采用压印母模板对多个所述胶层压印区域进行纳米压印的步骤。