光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于半导体生产领域，具体地说是一种光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置。
【背景技术】
[0002]在半导体自动化生产过程中，晶圆涂胶过后需要到光刻机曝光；曝光过后再回到涂胶显影机上进行显影，以得到所需要的图形。其中，涂胶显影机与光刻机之间有一光刻机对接接口模块，该光刻机对接接口模块起到在涂胶显影机与光刻机之间传递晶圆的作用。光刻机对接接口模块的特点是可抽拉式的，在涂胶显影机和光刻机需要进行整修及定期维护时，便于操作。以往光刻机对接接口模块在抽拉前要调整底角滑块，使滚轮落地，再拉出光刻机对接接口模块进行维护；完成维护后，使光刻机对接接口模块复位，必须升起地胶重新调整水平后才能使用，其过程比较繁琐耗时。
【发明内容】
[0003]为了解决光刻机对接接口模块在抽拉前及复位前需进行水平调整而导致操作过程繁琐耗时的问题，本发明的目的在于提供一种光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置。该水平调节装置只需一次调节即可对光刻机对接接口模块进行抽拉或复位，在以后的维护过程中无需再做调整。
[0004]本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
[0005]一种光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置，所述光刻机对接接口模块安装在地基平台上，并位于涂胶显影机与光刻机之间；所述可抽拉式水平调节装置包括滚动脚轮、连接板、调平顶丝及模块焊接板，其中模块焊接板安装在所述光刻机对接接口模块的底面，所述连接板通过调平顶丝与模块焊接板连接，在连接板上设有可滚动的滚动脚轮，所述滚动脚轮落在所述地基平台上；所述光刻机对接接口模块通过调平顶丝调整至与所述地基平台平行，所述连接板在光刻机对接接口模块调整后与模块焊接板之间的位置固定。
[0006]其中:所述光刻机对接接口模块的底面框架四角分别安装有所述可抽拉式水平调节装置；所述模块焊接板的每边分别设有防止模块焊接板与连接板发生相对转动的挡板；所述挡板的内表面开有容置连接板边缘的凹槽；所述连接板与模块焊接板之间的调平顶丝为三根，呈三角形分布，连接板在光刻机对接接口模块调整后与模块焊接板之间通过固定螺栓固定；所述固定螺栓为三根，呈三角形分布，该三角形的三个顶点与由调平顶丝形成三角形的三个顶点交叉布置；所述滚动脚轮的滚动方向与光刻机对接接口模块的抽拉或复位方向平行。
[0007]本发明的优点与积极效果为:
[0008]1.本发明通过调整调平顶丝使光刻机对接接口模块与地基平台平行，只需一次调整安装完成即可对光刻机对接接口模块进行抽拉复位，在涂胶显影机及光刻机的过程中，不需要重新调整光刻机对接接口模块的水平，便于维护，减少了不必要的工作步骤(如:抽出光刻机对接接口模块前的下落脚轮工作、光刻机对接接口模块归位后的水平调整工作等)，可以有效的节省人力，提高生产效率，降低维护时间，从而提高企业利润。
[0009]2.本发明在模块焊接板的每边分别设置了防止模块焊接板5与连接板发生相对转动的挡板，更加有效地稳固了滚动脚轮。
[0010]3.本发明调平顶丝及固定螺栓布局合理，更便于调整光刻机对接接口模块与地基平台平行。
【附图说明】
[0011]图1为本发明的结构主视图；
[0012]图2为本发明的立体结构示意图；
[0013]图3为本发明处于工作状态的结构示意图；
[0014]其中:1为光刻机对接接口模块，2为滚动脚轮，3为连接板，4为调平顶丝，5为模块焊接板，6为固定螺栓，7为地基平台，8为涂胶显影机，9为光刻机，10为挡板。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本发明作进一步详述。
[0016]如图3所示，光刻机对接接口模块I安装在地基平台7上，并位于涂胶显影机8与光刻机9之间。在光刻机对接接口模块I的底面框架四角分别安装有本发明的可抽拉式水平调节装置。
[0017]如图1、图2所示，本发明可抽拉式水平调节装置包括滚动脚轮2、连接板3、调平顶丝4、模块焊接板5及固定螺栓6，在光刻机对接接口模块I底面框架的四角分别焊接有模块焊接板5，连接板3通过调平顶丝4与模块焊接板5连接，在连接板3上设有可滚动的滚动脚轮2，该滚动脚轮2的滚动方向与光刻机对接接口模块I的抽拉或复位方向平行；滚动脚轮2落在地基平台7上，用于支撑光刻机对接接口模块I。本发明的连接板3与模块焊接板5均为方形，在模块焊接板5的四边中间分别向下延伸形成防止模块焊接板5与连接板3发生相对转动的挡板10，更加有效地稳固滚动脚轮2 ;每块挡板10的内表面分别开有容置连接板3四边边缘的凹槽。
[0018]连接板3与模块焊接板5之间的调平顶丝4为三根，呈三角形分布在方形连接板3及模块焊接板5的中间；光刻机对接接口模块I通过调平顶丝4调整至与地基平台7平行，连接板3在光刻机对接接口模块I调整后与模块焊接板5之间通过固定螺栓6固定。固定螺栓6也为三根，呈三角形分布，该三角形的三个顶点与由调平顶丝4形成三角形的三个顶点交叉布置，即由三根固定螺栓6形成的三角形的一个顶点与由调平顶丝4形成三角形的两个顶点在一条直线上、且间隔设置，由三根固定螺栓6形成的三角形的另外两个顶点与由调平顶丝4形成三角形的一个顶点在一条直线上、且间隔设置，这两条直线相互平行。
[0019]本发明的工作原理为:
[0020]调整光刻机对接接口模块I底面框架四脚上各水平调节装置中的调平顶丝4，使光刻机对接接口模块I与地基平台7平行；然后用固定螺栓6将连接板3与模块焊接板5之间固定。各水平调节装置中的滚动脚轮2落在地基平台7上，支撑光刻机对接接口模块I。一次调整安装完成即可对光刻机对接接口模块I进行抽拉复位，在以后的维护过程中无需再做调整。
【主权项】
1.一种光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置，所述光刻机对接接口模块安装在地基平台上，并位于涂胶显影机与光刻机之间；其特征在于:所述可抽拉式水平调节装置包括滚动脚轮(2)、连接板(3)、调平顶丝(4)及模块焊接板(5)，其中模块焊接板(5)安装在所述光刻机对接接口模块(I)的底面，所述连接板(3)通过调平顶丝(4)与模块焊接板(5)连接，在连接板(3)上设有可滚动的滚动脚轮(2)，所述滚动脚轮(2)落在所述地基平台(7)上；所述光刻机对接接口模块(I)通过调平顶丝(4)调整至与所述地基平台(7)平行，所述连接板(3)在光刻机对接接口模块(I)调整后与模块焊接板(5)之间的位置固定。
2.按权利要求1所述光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置，其特征在于:所述光刻机对接接口模块(I)的底面框架四角分别安装有所述可抽拉式水平调节装置。
3.按权利要求1或2所述光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置，其特征在于:所述模块焊接板(5)的每边分别设有防止模块焊接板(5)与连接板(3)发生相对转动的挡板(10)。
4.按权利要求3所述光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置，其特征在于:所述挡板(10)的内表面开有容置连接板(3)边缘的凹槽。
5.按权利要求1或2所述光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置，其特征在于:所述连接板(3)与模块焊接板(5)之间的调平顶丝(4)为三根，呈三角形分布，连接板(3)在光刻机对接接口模块(I)调整后与模块焊接板(5)之间通过固定螺栓￠)固定。
6.按权利要求5所述光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置，其特征在于:所述固定螺栓(6)为三根，呈三角形分布，该三角形的三个顶点与由调平顶丝(4)形成三角形的三个顶点交叉布置。
7.按权利要求1或2所述光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置，其特征在于:所述滚动脚轮(2)的滚动方向与光刻机对接接口模块(I)的抽拉或复位方向平行。
【专利摘要】本发明属于半导体生产领域，具体地说是一种光刻机对接接口模块的可抽拉式水平调节装置，光刻机对接接口模块安装在地基平台上，并位于涂胶显影机与光刻机之间；可抽拉式水平调节装置包括滚动脚轮、连接板、调平顶丝及模块焊接板，模块焊接板安装在所述光刻机对接接口模块的底面，连接板通过调平顶丝与模块焊接板连接，在连接板上设有可滚动的滚动脚轮，滚动脚轮落在地基平台上；光刻机对接接口模块通过调平顶丝调整至与地基平台平行，连接板在光刻机对接接口模块调整后与模块焊接板之间的位置固定。本发明可以对光刻机对接接口模块任意抽拉归位，不需要重新调整模块的水平，便于维护，节约了维护时间，省时省力。
【IPC分类】G03F7-20
【公开号】CN104597715
【申请号】CN201310528876
【发明人】张浩渊
【申请人】沈阳芯源微电子设备有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2013年10月30日