辐射敏感树脂组合物及电子部件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及福射敏感树脂组合物、W及具备由该福射敏感树脂组合物形成的树脂 膜的电子部件，更具体而言，设及能够获得曝光灵敏度高、烧制后的形状保持性优异、在氧 化性气体氛围中烧制后也具有高透明性的树脂膜的福射敏感树脂组合物、W及具备由该福 射敏感树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。
【背景技术】
[0002] 在有机化元件、液晶显示元件等各种显示元件、集成电路元件、固体摄像元件、滤 色器、黑矩阵等电子部件中，作为用于防止其劣化及损伤的保护膜、用于使元件表面、布线 实现平坦化的平坦化膜、用于保持电绝缘性的电绝缘膜等，设置有各种树脂膜。另外，在有 机化元件中，为了将发光体部分离而设置有作为像素分离膜的树脂膜，此外，在薄膜晶体 管型液晶用显示元件、集成电路元件等元件中，为了使配置成层状的布线之间绝缘，设置有 作为层间绝缘膜的树脂膜。
[0003]W往，作为用于形成该些树脂膜的树脂材料，常用的是环氧树脂等热固性树脂材 料。但随着近年来布线、器件的高密度化，对于该些树脂材料，也要求开发出低介电性等电 气特性优异的新型的树脂材料。
[0004] 为了满足该些要求，例如，专利文献1中公开了含有环状締姪类聚合物、交联剂、 福射敏感化合物、酪类防老剂及非酪类防老剂的福射敏感树脂组合物。然而，根据该专利 文献1中记载的福射敏感树脂组合物，尽管能够得到在氧化性气体氛围中烧制后也具有高 透明性的树脂膜，但所得树脂膜对于放射线的曝光灵敏度低，因此，从改善生产性的观点来 看，还有待改善。
[0005] 现有技术文献
[0006] 专利文献
[0007] 专利文献1 ;日本特开2005-292278号公报
【发明内容】
[000引发明要解决的问题
[0009] 本发明的目的在于提供能够获得曝光灵敏度高、烧制后的形状保持性优异、在氧 化性气体氛围中烧制后也具有高透明性的树脂膜的福射敏感树脂组合物，W及具有由该样 的福射敏感树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。
[0010] 解决问题的方法
[0011] 本发明人等为了达成上述目的而进行了深入研究，结果发现，通过在配合粘合剂 树脂、福射敏感化合物及交联剂的同时，配合特定的2种抗氧化剂，具体是将不含硫的半受 阻酪类抗氧化剂和/或不含硫的少受阻酪类抗氧化剂、与含硫的酪类抗氧化剂组合使用， 可W达成上述目的，进而完成了本发明。
[0012] 即，根据本发明，可提供：
[0013] [1] -种福射敏感树脂组合物，其含有；粘合剂树脂（A)、福射敏感化合物炬)、交 联剂（C)、不含硫的半受阻酪类抗氧化剂和/或不含硫的少受阻酪类抗氧化剂值)、含硫的 酪类抗氧化剂巧）；
[0014] [2]上述[1]所述的福射敏感树脂组合物，其还含有具有酸性基团或热潜在性酸 性基团的化合物（巧；
[0015] [3]上述[1]或[2]所述的福射敏感树脂组合物，其中，上述含硫的酪类抗氧化剂 巧）为选自含有硫原子的受阻酪类抗氧化剂、含有硫原子的半受阻酪类抗氧化剂、及含有硫 原子的少受阻酪类抗氧化剂中的至少一种；
[0016] [4]上述[1]~巧]中任一项所述的福射敏感树脂组合物，其中，相对于上述粘合 剂树脂（A) 100重量份，上述不含硫的半受阻酪类抗氧化剂和/或不含硫的少受阻酪类抗氧 化剂值）的含量为0. 1~20重量份，相对于上述粘合剂树脂（A) 100重量份，上述含硫的酪 类抗氧化剂巧）的含量为0. 1~15重量份；
[0017][引上述[1]~[4]中任一项所述的福射敏感树脂组合物，其中，上述福射敏感化 合物炬）为叠氮化合物；
[0018] [6]-种电子部件，其具备由上述[1]~[引中任一项所述的福射敏感树脂组合物 形成的树脂膜；W及，
[0019] [7]上述[6]所述的电子部件，其是经由下述工序制造的：形成由上述福射敏感树 脂组合物形成的树脂膜，对上述树脂膜进行图案化，然后在氧化气体氛围中进行烧制。
[0020] 发明的效果
[0021] 根据本发明，可提供能够获得曝光灵敏度高、烧制后的形状保持性优异、在氧化性 气体氛围中烧制后也具有高透明性的树脂膜的福射敏感树脂组合物、W及具备由该福射敏 感树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。
【具体实施方式】
[0022] 本发明的福射敏感树脂组合物含有：粘合剂树脂（A)、福射敏感化合物炬)、交联 剂（C)、不含硫的半受阻酪类抗氧化剂和/或不含硫的少受阻酪类抗氧化剂值)、含硫的酪 类抗氧化剂巧）。
[002引（粘合剂树脂（A))
[0024]作为本发明中使用的粘合剂树脂（A)，没有特殊限定，优选为具有质子性极性基团 的环状締姪聚合物（A1)、丙締酸树脂（A2)、卡多（Cardo)树脂（A3)、聚硅氧烷（A4)或聚酷 亚胺（A5)，其中，特别优选为具有质子性极性基团的环状締姪聚合物（A1)。该些粘合剂树 脂（A)可W分别单独使用，也可W将2种W上组合使用。
[0025] 作为具有质子性极性基团的环状締姪聚合物（A1) (W下简称为"环状締姪聚合物 (A1)")，可列举1种或2种W上环状締姪单体的聚合物、或1种或2种W上环状締姪单体与 能够与其共聚的单体的共聚物，在本发明中，作为用W形成环状締姪聚合物（A1)的单体， 优选使用至少具有质子性极性基团的环状締姪单体（a)。
[0026] 该里，所述质子性极性基团，指的是含有在属于周期律表第15族或第16族的原子 上直接键合氨原子而成的原子团的基团。在属于元素周期律表第15族或第16族的原子中， 优选属于元素周期律表第15族或第16族的第1或第2周期的原子，更优选为氧原子、氮原 子或硫原子，特别优选为氧原子。
[0027] 作为该样的质子性极性基团的具体例，可列举；哲基、駿基（哲基幾基）、横酸基、 磯酸基等具有氧原子的极性基团；伯氨基、仲氨基、伯酷胺基、仲酷胺基（酷亚胺基）等具有 氮原子的极性基团；硫哲基等具有硫原子的极性基团；等等。该些中，优选具有氧原子的极 性基团，更优选为駿基。在本发明中，对于具有质子性极性基团的环状締姪树脂上键合的质 子性极性基团的个数没有特殊限定，另外，也可W包含不同种类的质子性极性基团。
[0028] 作为具有质子性极性基团的环状締姪单体（a)(W下，适当称为"单体（a)")的 具体例，可列举；2-哲基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-甲基-2-哲基幾基双环巧.2. 1] 庚-5-締、2-駿基甲基-2-哲基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-2-甲氧基幾 基甲基双环化2.1]庚-5-締、2-哲基幾基-2-己氧基幾基甲基双环化2.1]庚-5-締、 2- 哲基幾基-2-丙氧基幾基甲基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-2-了氧基幾基甲 基双环化2.1]庚-5-締、2-哲基幾基-2-戊氧基幾基甲基双环化2.1]庚-5-締、2-哲 基幾基-2-己氧基幾基甲基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-2-环己氧基幾基甲基 双环化2.1]庚-5-締、2-哲基幾基-2-苯氧基幾基甲基双环化2.1]庚-5-締、2-哲 基幾基-2-蒙氧基幾基甲基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-2-联苯氧基幾基甲基 双环化2.1]庚-5-締、2-哲基幾基-2-节氧基幾基甲基双环化2.1]庚-5-締、2-哲 基幾基-2-哲基己氧基幾基甲基双环化2. 1]庚-5-締、2, 3-二哲基幾基双环巧.2. 1] 庚-5-締、2-哲基幾基-3-甲氧基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-3-己氧基幾 基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-3-丙氧基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基 幾基-3- 了氧基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-3-戊氧基幾基双环巧.2. 1] 庚-5-締、2-哲基幾基-3-己氧基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-3-环己氧基 幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-3-苯氧基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基 幾基-3-蒙氧基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-3-联苯氧基幾基双环巧.2. 1] 庚-5-締、2-哲基幾基-3-节氧基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-3-哲基己 氧基幾基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基幾基-3-哲基幾基甲基双环化2. 1]庚-5-締、 3- 甲基-2-哲基幾基双环化2. 1]庚-5-締、3-哲基甲基-2-哲基幾基双环巧.2. 1] 庚-5-締、2-哲基幾基S环[5.2. 1.02'6]癸-3, 8-二締、4-哲基幾基四环[6.2. 1. 13'6.02'7] 十二碳-9-締、4-甲基-4-哲基幾基四环化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4, 5-二哲基幾 基四环化2. 1. 13'6.02'7]十二碳-9-締、4-駿基甲基-4-哲基幾基四环化2. 1. 13'6.02'7] 十二碳-9-締、N-(哲基幾基甲基）双环化2.1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-(哲基 幾基己基）双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-(哲基幾基戊基）双环巧.2. 1] 庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-(二哲基幾基己基）双环[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚 胺、N-(二哲基幾基丙基）双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-(哲基幾基苯己基） 双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N- (2- (4-哲基苯基）-1-(哲基幾基）己基）双环 [2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-(哲基幾基苯基）双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿 酷亚胺等含駿基的环状締姪；2-(4-哲基苯基）双环化2. 1]庚-5-締、2-甲基-2-(4-哲基 苯基）双环[2. 2. 1]庚-5-締、4-(4-哲基苯基）四环化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4-甲 基-4-(4-哲基苯基）四环化2. 1. 13'6.02'7]十二碳-9-締、2-哲基双环化2. 1]庚-5-締、 2-哲基甲基双环化2. 1]庚-5-締、2-哲基己基双环化2. 1]庚-5-締、2-甲基-2-哲 基甲基双环化2. 1]庚-5-締、2, 3-二哲基甲基双环化2. 1]庚-5-締、2-(哲基己氧基 幾基）双环化2.1]庚-5-締、2-甲基-2-(哲基己氧基幾基）双环化2.1]庚-5-締、 2- Q-哲基-1-二氣甲基-2, 2, 2-二氣己基）双环[2. 2. 1]庚-5-締、2-(2-哲基-2-二氣 甲基-3, 3, 3- S氣丙基）双环化2. 1]庚-5-締、3-哲基S环[5. 2. 1. 02'6]癸-4, 8-二締、 3-哲基甲基^环[5.2.1.02'6]癸-4,8-二締、4-哲基四环化2.1.13'6.02'7]十二碳-9-締、 4- 哲基甲基四环化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4, 5-二哲基甲基四环化2. 1.I3'6. 02'7] 十二碳-9-締、4-(哲基己氧基幾基）四环化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4-甲基-4-(哲 基己氧基幾基）四环化2.1. 13'6.02'7]十二碳-9-締、N-(哲基己基）双环化2.1] 庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-(哲基苯基）双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺等 含哲基的环状締姪等。该些中，从所得树脂膜的密合性提高的观点出发，优选含駿基的环状 締姪，特别优选4-哲基幾基四环化2. 1. 13'6.02'7]十二碳-9-締。该些单体（a)可W分别 单独使用，也可W将2种W上组合使用。
[0029] 环状締姪聚合物（A1)中，单体（a)的单元的含有比例相对于全部单体单元优选为 10~90摩尔％。如果单体（a)的单元的含有比例过少，则存在在向本发明的树脂组合物中 添加福射敏感性化合物时福射敏感性不充分、或在显影时产生溶解残渣的隐患，如果过多， 则存在导致环状締姪聚合物（A1)在极性溶剂中的溶解性不足的隐患。
[0030] 另外，本发明中使用的环状締姪聚合物（A1)也可W是具有质子性极性基团的环 状締姪单体（a)与能够与其共聚的单体化）共聚而得到的共聚物。作为该样的能够共聚的 单体，可列举；具有质子性极性基团W外的极性基团的环状締姪单体化1)、不具有极性基 团的环状締姪单体化2)、及环状締姪W外的单体化3) (W下，适当称为"单体化1)"、"单体 化2)"、"单体化3)")。
[0031] 作为具有质子性极性基团W外的极性基团的环状締姪单体化1)，可列举例如；具 有N-取代酷亚胺基、醋基、氯基、酸酢基或面原子的环状締姪。
[0032] 作为具有N-取代酷亚胺基的环状締姪，可列举例如；下述式（1)所示的单体、或下 述式似所示的单体。
[003引[化学式U
[0034]
[0035] (上述式（1)中，Ri表示氨原子或碳原子数1~16的烷基或芳基。n表示整数1 或2。）
[0036][化学式引
[0037]
[003引（上述式（2)中，R2表示碳原子数1~3的2价亚烷基、R3表示碳原子数1~10 的1价烷基、或碳原子数1~10的1价面代烷基。）
[0039] 上述式（1)中，Ri为碳原子数1~16的烷基或芳基，作为烷基的具体例，可列 举；甲基、己基、正丙基、正了基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正^^一烧 基、正十二烷基、正十=烷基、正十四烷基、正十五烷基、正十六烷基等直链烷基；环丙基、 环了基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、环壬基、环癸基、环十一烷基、环十二烷基、降冰片 基、冰片基、异冰片基、十氨蒙基、=环癸基、金刚烷基等环状烷基；2-丙基、2- 了基、2-甲 基-1-丙基、2-甲基-2-丙基、1-甲基了基、2-甲基了基、1-甲基戊基、1-己基了基、2-甲 基己基、2-己基己基、4-甲基庚基、1-甲基壬基、1-甲基十S烷基、1-甲基十四烷基等分支 状烷基；等等。另外，作为芳基的具体例，可列举苄基等。该些中，从耐热性W及在极性溶 剂中的溶解性更为优异的观点出发，优选碳原子数6~14的烷基及芳基，更优选碳原子数 6~10的烷基及芳基。碳原子数为4W下时，在极性溶剂中的溶解性不良，碳原子数为17 W上时，耐热性不良，在进一步对树脂膜进行图案化的情况下，存在因热而发生烙融、图案 消失的问题。
[0040] 作为上述式（1)所示的单体的具体例，可列举；双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二 駿酷亚胺、N-苯基-双环化2.1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-甲基双环巧.2.1] 庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-己基双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-丙基双环 [2. 2. ]_]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-了基双环[2. 2. ]_]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-环 己基双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-金刚烷基双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二 駿酷亚胺、N-a-甲基了基）-双环化2.1]庚-5-締-2,3-二駿酷亚胺、N-(2-甲基 了基）-双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-Q-甲基戊基）-双环化2. 1] 庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-(2-甲基戊基）-双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚 胺、N-(1-己基了基）-双环化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亚胺、N-(2-己基了基）-双环 [2.