机层360b顺序 地层叠在牺牲层300上。第一无机层360a和第二无机层360b可以是由诸如氮化娃（SiN x) 或氧化娃（SiOx)的无机材料制成的无机绝缘层。在本示例性实施方式中，第一无机层360a 和第二无机层360b可具有不同的应力。例如，第一无机层360a可具有压缩应力并且第二 无机层360b可具有拉伸应力。可替换地，第一无机层360a可具有拉伸应力并且第二无机 层360b可具有压缩应力。优选地，第一无机层360a和第二无机层360b可由诸如SiNj9 氮化硅形成，并且当形成SiNJt，可通过控制氢气的注入量来修改应力特性。
[0090] 在这种情况下，如图12所示，公共电极270、第一无机层360a和第二无机层360b 可在水平方向上彼此邻近的牺牲层300的开口部分OPN处形成间隔壁形成部分PWP。
[0091] 参考图13,可使用相同的掩膜来图案化第一无机层360a、第二无机层360b和公共 电极270。可干蚀刻第一无机层360a、第二无机层360b和公共电极270。部分地移除第一 无机层360a、第二无机层360b和公共电极270,以便形成液晶注入孔形成区域307FP，并且 因此可暴露牺牲层300。
[0092] 参考图1、图14和图15,通过氧气（O2)灰化工艺或湿蚀刻工艺经由液晶注入孔形 成区域307FP移除牺牲层300。在这种情况下，形成具有液晶注入孔307的微腔305。因为 牺牲层300被移除，所以微腔305是空的空间。
[0093] 参考图1、图16和图17,通过液晶注入孔形成区域307FP和液晶注入孔307注入 取向材料以在像素电极191和公共电极270上形成取向层11和21。详细地，在通过液晶注 入孔307注入包括固体和溶剂的取向材料之后执行烘焙（bake)工艺。
[0094] 接着，通过使用喷墨方法等经由液晶注入孔307将包括液晶分子310的液晶材料 注入微腔305中。
[0095] 此后，在顶层360上形成封盖层390以覆盖液晶注入孔307和液晶注入孔形成区 域307FP以形成如图2和图3所示的液晶显示器。
[0096] 尽管已经结合目前被视为实际示例性实施方式描述了本发明构思，但应当理解， 本发明构思并不限于所公开的实施方式，而是相反，本发明构思旨在覆盖包括在所附权利 要求的精神和范围内的各种修改和等效布置。
[0097] 〈标号说明〉
[0098] 300牺牲层 305微腔
[0099] 307液晶注入孔360顶层
[0100] 390封盖层
【主权项】
1. 一种液晶显示器，包括： 基板； 薄膜晶体管，布置在所述基板上； 像素电极，与所述薄膜晶体管连接； 顶层，被设置成面向所述像素电极；以及 封盖层，布置在所述顶层上， 其中，多个微腔在所述像素电极与所述顶层之间，每个微腔包括液晶材料，并且 所述顶层仅由至少一个无机层形成。2. 根据权利要求1所述的液晶显示器，其中，所述顶层包括其中层叠了分别具有不同 应力的第一无机层和第二无机层的结构。3. 根据权利要求2所述的液晶显示器，其中，所述第一无机层具有压缩应力并且所述 第二无机层具有拉伸应力，或者所述第一无机层具有所述拉伸应力并且所述第二无机层具 有所述压缩应力。4. 根据权利要求3所述的液晶显示器，其中，所述第一无机层和所述第二无机层交替 地层叠，并且所述顶层包括至少一个所述第一无机层和至少一个所述第二无机层。5. 根据权利要求4所述的液晶显示器，其中，所述第一无机层的厚度和所述第二无机 层的厚度随着进一步远离所述多个微腔而逐渐地增加。6. 根据权利要求5所述的液晶显示器，进一步包括布置在所述多个微腔与所述顶层之 间的公共电极。7. 根据权利要求6所述的液晶显示器，其中，间隔壁形成部分布置在所述多个微腔之 间，并且所述间隔壁形成部分利用所述封盖层覆盖。8. 根据权利要求7所述的液晶显示器，其中，所述间隔壁形成部分沿着连接到所述薄 膜晶体管的数据线延伸的方向形成。9. 根据权利要求1所述的液晶显示器，其中，液晶注入孔形成区域布置在所述多个微 腔之间，并且所述封盖层覆盖所述液晶注入孔形成区域。10. 根据权利要求9所述的液晶显示器，其中，所述液晶注入孔形成区域沿着连接到所 述薄膜晶体管的栅极线延伸的方向形成。11. 根据权利要求1所述的液晶显示器，进一步包括布置在所述多个微腔与所述顶层 之间的公共电极， 其中，顺序地布置所述公共电极、所述顶层和所述封盖层。12. -种用于制造液晶显示器的方法，包括： 在基板上形成薄膜晶体管； 形成与所述薄膜晶体管连接的像素电极； 在所述像素电极上形成牺牲层； 在所述牺牲层上形成顶层； 通过图案化所述顶层部分地暴露所述牺牲层； 通过移除所述牺牲层形成多个微腔； 将液晶材料注入所述多个微腔；以及 形成封盖层以覆盖所述多个微腔的液晶注入孔， 其中，所述顶层仅由至少一个无机层形成。13. 根据权利要求12所述的用于制造液晶显示器的方法，其中，形成所述顶层包括顺 序地层叠分别具有不同应力的第一无机层和第二无机层。14. 根据权利要求13所述的用于制造液晶显示器的方法，其中，所述第一无机层由具 有压缩应力的材料制成并且所述第二无机层由具有拉伸应力的材料制成，或者所述第一无 机层由具有所述拉伸应力的材料制成并且所述第二无机层由具有所述压缩应力的材料制 成。15. 根据权利要求14所述的用于制造液晶显示器的方法，其中，形成所述顶层包括交 替地层叠所述第一无机层和所述第二无机层，并且所述顶层包括至少一个所述第一无机层 和至少一个所述第二无机层。16. 根据权利要求15所述的用于制造液晶显示器的方法，其中，当形成所述顶层时，所 述第一无机层的厚度和所述第二无机层的厚度随着进一步远离所述多个微腔而逐渐地增 加。17. 根据权利要求16所述的用于制造液晶显示器的方法，进一步包括形成设置在所述 牺牲层与所述顶层之间的公共电极。18. 根据权利要求17所述的用于制造液晶显示器的方法，其中，沿着连接到所述薄膜 晶体管的数据线延伸的方向形成间隔壁形成部分，所述间隔壁形成部分形成在所述多个微 腔之间，并且 所述封盖层覆盖所述间隔壁形成部分。19. 根据权利要求12所述的用于制造液晶显示器的方法，其中，当通过图案化所述顶 层部分地暴露所述牺牲层时，沿着连接到所述薄膜晶体管的栅极线延伸的方向形成液晶注 入孔形成区域，并且 所述封盖层覆盖所述液晶注入孔形成区域。20. 根据权利要求12所述的用于制造液晶显示器的方法，进一步包括在所述牺牲层上 形成公共电极，其中，所述公共电极和所述顶层使用一个掩膜来图案化。
【专利摘要】本发明涉及液晶显示器和制造液晶显示器的方法。根据示例性实施方式的液晶显示器包括：基板；布置在基板上的薄膜晶体管；与薄膜晶体管连接的像素电极；被设置成面向像素电极的顶层；以及布置在顶层上的封盖层，其中，多个微腔在像素电极与顶层之间，每个微腔包括液晶材料，并且顶层仅由至少一个无机层形成。
【IPC分类】G02F1/1333, G02F1/1362, G02F1/1368
【公开号】CN105093732
【申请号】CN201510061123
【发明人】梁智星, 林泰佑, 蔡景泰
【申请人】三星显示有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年2月5日
【公告号】US20150331263