光配向装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及向工件照射偏振光进行光配向的光配向装置。
【背景技术】
[0002]以往，已知一种光配向装置，其具备光源和偏振器，通过该偏振器使来自光源的光偏振并向光配向膜(工件)照射，从而对光配向膜进行光配向(例如，参照专利文献1)。在该光配向装置中，通过将光配向膜载置在工作台上并搬运，由此对较大的光配向膜进行光配向(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2002 - 350858号公报
【发明内容】
[0006]发明所要解决的问题
[0007]然而，在光配向装置中，期望缩短工件的处理的工序作业时间。
[0008]本发明就是鉴于上述情况而作出的，其目的在于提供能够缩短工件的处理的工序作业时间的光照射装置。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]为了实现上述目的，本发明的光配向装置的特征在于，在两端部设有一对工件回收工位，在中央部设有光照射器，在工件回收工位和光照射器之间的、光照射器的两端附近位置上设有一对工件搭载工位。
[0011]在上述的结构中，也可以为，所述光配向装置具备搬运机构，所述搬运机构使工件按照一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、一端部侧的工件回收工位的顺序往复，并且使工件按照另一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、另一端部侧的工件回收工位的顺序往复，所述搬运机构在一个工件通过照射区域时，使另一个工件从工件搭载工位退避。也可以与其相反同样地，所述搬运机构在另一个工件通过照射区域时，使一个工件从工件搭载工位退避。
[0012]在上述的结构中，也可以为，所述光配向装置具备将工件搭载在工件搭载工位上的机器人装置，所述机器人装置构成为能够保持两个工件。
[0013]在上述的结构中，也可以为，所述搬运机构构成为能够在工件通过照射区域之前和之后改变工件的移动速度。
[0014]在上述的结构中，也可以为，在对所述另一个工件照射后，使所述另一个工件从工件搭载工位退避。也可以与其相反同样地，在对所述一个工件照射后，使所述一个工件从工件搭载工位退避。
[0015]在上述的结构中，也可以为，所述机器人装置构成为能够上下保持两个工件，且将照射之前的工件保持在下层而将照射后的工件保持在上层。
[0016]在上述的结构中，也可以为，所述机器人装置构成为能够将两个工件水平地保持在工件搭载工位侧和工件回收工位侧，且将照射之前的工件保持在工件搭载工位侧而将照射后的工件保持在工件回收工位侧。
[0017]另外，本发明的光配向装置的特征在于，在中央部设有光照射器，在光照射器的两端附近位置上设有一对工件搭载工位，所述光配向装置具备搬运机构，所述搬运机构使工件按照一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、一端部侧的工件搭载工位的顺序往复，并且使工件按照另一端部侧的工件搭载工位、中央部的光照射器的照射区域、另一端部侧的工件搭载工位的顺序往复，所述搬运机构在一个工件通过照射区域时，使另一个工件从工件搭载工位退避。另外，所述搬运机构在另一个工件通过照射区域时，使一个工件从工件搭载工位退避。
[0018]在上述的结构中，也可以为，所述光配向装置具备将工件搭载在工件搭载工位上的机器人装置，所述机器人装置构成为能够保持两个工件。
[0019]在上述的结构中，也可以为，所述搬运机构构成为能够在工件通过照射区域之前和之后改变工件的移动速度。
[0020]在上述的结构中，也可以为，在对所述另一个工件照射后，使所述另一个工件从工件搭载工位退避。
[0021]在上述的结构中，也可以为，工件搭载工位兼作工件回收工位。
[0022]在上述的结构中，也可以为，所述机器人装置构成为能够上下保持两个工件，且将照射之前的工件保持在下层而将照射后的工件保持在上层。
[0023]发明效果
[0024]根据本发明，在两端部设有一对工件回收工位，在中央部设有光照射器，在工件回收工位和光照射器之间的、光照射器的两端附近位置上设有一对工件搭载工位，因此能够缩短工件的处理的工序作业时间。
【附图说明】
[0025]图1是示意性表示具备本发明的第一实施方式所涉及的光配向装置的光配向系统的俯视图。
[0026]图2是示意性表示光配向装置的主视图。
[0027]图3是表示偏振器单元的结构的图，图3 (A)是俯视图，图3 (B)是侧视剖视图。
[0028]图4是表示下游侧机器人装置60的图，图4(A)是俯视图，图4(B)是侧视图，图4(C)是主视图。
[0029]图5是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图5 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图5(B)表示将光配向对象物搭载在第一和第二工件工作台上的状态的结构图。
[0030]图6是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图6 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图6(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。
[0031]图7是示意性表示光配向照射系统的结构的俯视图，图7 (A)表示第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图7(B)表示在第二工件工作台的移动过程中从第一工件工作台回收光配向对象物的状态的结构图。
[0032]图8是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图8 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图8(B)表示在第二工件工作台的移动过程中将光配向对象物搭载在第一工件工作台上的状态的结构图。
[0033]图9是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图9 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图9(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。
[0034]图10是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图10(A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图10(B)表示在第一工件工作台的移动过程中从第二工件工作台回收光配向对象物的状态的结构图。
[0035]图11是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图11 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图11(B)表示在第一工件工作台的移动过程中将光配向对象物搭载在第二工件工作台上的状态的结构图。
[0036]图12是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图12 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图12(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。
[0037]图13是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图13(A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图13(B)表示在第二工件工作台的移动过程中从第一工件工作台回收光配向对象物的状态的结构图。
[0038]图14是示意性表示具备本发明的第二实施方式所涉及的光配向装置的光配向系统的俯视图。
[0039]图15是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图15 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图15(B)表示将光配向对象物搭载在第一和第二工件工作台上的状态的结构图。
[0040]图16是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图16(A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图16(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。
[0041]图17是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图17 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图17(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。
[0042]图18是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图18(A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图18(B)表示在第二工件工作台的移动过程中从第一工件工作台回收光配向对象物以及搭载光配向对象物的状态的结构图。
[0043]图19是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图19(A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图19(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。
[0044]图20是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图20 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图20(B)表示在第一工件工作台的移动过程中从第二工件工作台回收光配向对象物以及搭载光配向对象物的状态的结构图。
[0045]图21是不意性表不光配向照射系统的结构的俯视图，图21 (A)表不第一和第二工件工作台的移动状态的说明图，图21(B)表示使第一和第二工件工作台移动的状态的结构图。
[0046]附图标记的说明
[0047]1光配向装置
[0048]5光照射器
[0049]6直动机构(往复机构)
[0050]60、260机器人装置
[0051]100、200光配向系统
[0052]E1 一端
[0053]E2 另一端
[0054]PU1、PU2回收位置(工件回收工位)
[0055]PL1、PL2搭载位置(工件搭载工位)
[0056]W光配向对象物(工件)
【具体实施方式】
[0057]〈第一实施方式〉
[0058]以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0059]图1是示意性表示具备第一实施方式所涉及的光配向装置的光配向系统的俯视图，图2是示意性表示光配向装置的主视图。
[0060]光配向系统100如图1和图2所示，被构成为具备光配向装置1、搬入搬出装置20、上游侧机器人装置30、清洁器40、回转单元(角度调整装置)50、下游侧机器人装置60、以及控制装置(控制部)70。该光配向系统100例如配置在洁净室等杂质较少的环境中。
[0061]光配向装置1是向俯视时呈矩形形成的板状、或带状的光配向对象物(工件)W的光配向膜照射偏振光而进行光配向的光照射装置。该光配向装置1具备工件工作台(搬运工作台、支承部件)2、工作台搬运架台3、照射器设置架台4、以及光照射器5。
[0062]工件工作台2例如是大致四边形板状的工作台，并在工作台搬运架台3上设置一对。工件工作台2在上表面通过下游侧机器人装置60载置有光配向对象物W并保持光配向对象物W。一对工件工作台2形成为相同形状，各工件工作台2形成为能够配置光配向对象物W的大小。
[0063]照射器设置架台4是在与工作台搬运架台3分离规定距离的上方位置上沿工作台搬运架台3的宽度方向(与下述的直动机构的直动方向X垂直的方向)横向架设的门体，照射器设置架台4的两个柱固定于工作台搬运架台3。照射器设置架台4除工件工作台2出入的部分以外均形成为遮光壁。照射器设置架台4内置有光照射器5，光照射器5向正下方照射偏振光。此外，为了分离伴随着工件工作台2的移动的振动和由光照射器5的冷却引起的振动，也可以将照射器设置架台4与工作台搬运架台3分体设置而不固定于该工作台搬运架台3上。工作台搬运架台3和照射器设置架台4可以具有防振结构。
[0064]在工作台搬运架台3的内部设置有直动机构(搬运机构)6，该直动机构(搬运机构)6在控制装置70的控制下以沿直动方向X在工作台搬运架台3的面上通过光照射器5的正下方的方式输送工件工作台2。在