的衍射图案，运些参数的估计值被用于步骤506和/或606的计算中。当考虑层的数量、 特征702的形状参数W及潜在的下面的特征和层时，很清楚的是，执行最佳拟合参数组的捜 索所在的参数空间是高度地多维的。目标光栅图案本身可W是二维的。建模所需的附加的 参数是全部不同材料的属性，例如它们的折射系数和消光系数。运些可W良好地限定使得 它们可W被看作固定的参数，或者它们可W本身处于不确定。它们可能需要根据入射福射 的波长和偏振进一步再分。在W0 2011-151121(Aben)(其内容通过引用全文并入本文）中， 已经描述了例如也能够在浮动参数之间建立关系。
[0085] 如上所述，重要的是重构提供结构的所感兴趣的参数(例如，CD)的值，当重构值被 用于监测和/或控制光刻过程时所述值是精确的。通常地，所感兴趣的参数的重构值越接近 所感兴趣的参数的物理值，可W越好地监测和/或控制光刻过程。已知有通过对比所感兴趣 的参数的重构值与使用扫描电子显微镜获得的所感兴趣的参数的值评价结构的所感兴趣 的参数的值的重构品质。如所提到的，发明人已经认识到了通过使用结构的参数的重构值 预测结构的所感兴趣的参数的值W及通过对比所感兴趣的参数的预测值和所感兴趣的参 数的重构值评价结构的所感兴趣的参数的值的重构品质的改进的方式，其不需要使用扫描 电子显微镜。
[0086] 现在将参照图8描述根据本发明的实施例。图8图示了评价结构的所感兴趣的参数 的值的重构品质的方法，包括步骤802、803、804和805。图8的方法的步骤是：
[0087] 在步骤802中：对于一组(N)结构(Si，S2,S3，. . .Sn)中的每一个结构（Si),使用一个 或多个束照射该结构并且检测由福射和结构之间的相互作用引起的与结构有关的信号。在 一个实施例中，该组结构中的结构出现在单一的衬底上(也将能够明白，该组结构中的结构 也可W例如分布在多个衬底上）。可W使用例如参照图3描述的散射仪或参照图4描述的散 射仪用一个或多个福射束照射每一个结构。运些散射仪也可W被用于对于每一个结构检测 由福射和结构之间的相互作用引起的与结构有关的信号。例如可W使用单一的散射仪，其 连续地寻址结构Si(例如，通过将散射仪从结构Si移动到结构S2、从结构S2移动到结构S3, W 此类推;通常为了连续地寻址Si，散射仪和结构Si可W相对于彼此移动），并对于每一个结构 Si执行上述照射和检测(也将能够明白，例如也可W使用两个或更多个散射仪）。
[0088] 在步骤803中：对于该组结构中的每一个结构，用与结构有关的信号重构该结构的 数学模型的参数的值，其中所述参数中的至少一个参数被指定为结构的所感兴趣的参数。 在一个实施例中，通过参照图3描述的类型的散射仪的处理单元PU或者通过参照图4描述的 类型的散射仪的处理单元PU执行该重构。该结构的数学模型的参数可W包括描述结构的形 状和材料属性的参数。该结构的数学模型的参数例如可w包括结构的高度、宽度或侧壁角 度中的一个或多个。在一个实施例中，结构的所感兴趣的参数为结构的宽度（也将能够明 白，结构的所感兴趣的参数例如还可W为结构高度或侧壁角度）。如上所述，例如"基于库" 和/或"基于回归"的技术可被用于该重构。重构对本领域技术人员是公知的，并且本领域技 术人员实施该重构步骤没有困难。
[0089] 在步骤804中：使用与该组结构相关的参数的重构值中的至少一子组的重构值对 于该组结构中的每一个结构预测结构的所感兴趣的参数的值。作为一个示例，在步骤803中 获得的所感兴趣的参数的重构值被放在向量中。W数学形式：
[0090]
[0091] 其中m代表包含所感兴趣的参数的重构值的向量，并且向量規的每一个元素 m代 表相关的结构Si的所感兴趣的参数的重构值。W该示例为例，在步骤803中获得的与该组结 构有关的参数的剩余重构值(例如，在该示例中，排除了所感兴趣的参数的重构值之外的与 该组结构相关的参数的重构值)被放在矩阵中。W数学形式：
[0092]
[0093] 其中X代表包含与该组结构相关的参数的剩余重构值加上具有1的额外列W移除 计算中的均值(下面给出）的矩阵。在该示例中，每一个列(除了具有1的最后列之外)包含特 定参数的重构值。例如，第一列的每个元素 Xi,a代表相关的结构Si的参数'曰'的重构值，并且 第二列的每一个元素 Xi,b代表相关的结构Si的参数'b'的重构值，等等。在该示例中，该组结 构包含N个结构，并且剩余的参数的数量为M。作为一个示例，结构的所感兴趣的参数为结构 的宽度，结构的参数'a'为结构的高度，并且结构的参数'b'为结构的侧壁角度。W该示例为 例，矩阵X和向量m现在被用于对于该组的N个结构中的每一个结构Si预测Si的所感兴趣的 参数的值。在该示例中，该预测使用线性回归分析的方法。W数学形式：
[0094]
[00M]其中為代表包含所感兴趣的参数的预测值的向量，并且向量競的每一个元素满； 代表相关的结构Si.的所感兴趣的参数的预测值。可W例如通过参照图3描述的类型的散射 仪的处理单元PU或者通过参照图4描述的类型的散射仪的处理单元PU执行上述对比，通过 配置处理单元PU来执行上述预测。替代地或附加地，管理控制系统SCS和/或光刻控制单元 LACU可W被配置来执行该预测。
[0096]在步骤805中：对比所感兴趣的参数的预测值和所感兴趣的参数的重构值来评价 结构的所感兴趣的参数的值的重构品质。在一个实施例中，W示例为例，该对比使用标准偏 差。W数学形式：
[0097]
[0098] 其中Q是单一值，是结构的所感兴趣的参数的值的重构品质的度量，并且std表示 标准偏差。根据该示例的对比使用所感兴趣的参数的重构值的标准偏差进行归一化。按照 该示例，Q是0至1之间的数。在能够精确预测所感兴趣的参数的重构值的情况下，分子对应 于较小的数并且Q的值接近0。在不能够精确预测所感兴趣的参数的重构值的情况下，分子 接近si成;疏)并且Q的值接近1。通常地，结构的所感兴趣的参数的值的重构品质被评价为随 着所感兴趣的参数的预测值和所感兴趣的参数的重构值之间的相异度的增大(或者，不同 地，随着相似度的减小）而变高(按照该示例，越高的重构品质意味着Q的值越接近1)。可W 例如通过参照图3描述的类型的散射仪的处理单元PU或者通过参照图4描述的类型的散射 仪的处理单元PU执行上述对比，通过配置处理单元PU来执行上述对比。替代地或附加地，管 理控制系统SCS和/或光刻控制单元LACU可W被配置来执行该对比。
[0099] 上面参照图8描述的评价结构的所感兴趣的参数的值的重构品质的方法为一个示 例，并且能够对该示例进行许多改变。通常地，评价结构的所感兴趣的参数的值的重构品质 的方法可W包括步骤:对于一组结构中的每一个结构，使用一个或多个福射束照射该结构 并且检测由福射和结构之间的相互作用引起的与结构有关的信号;对于该组结构中的每一 个结构，用与结构有关的信号重构该结构的数学模型的参数的值，其中所述参数中的至少 一个参数被指定为结构的所感兴趣的参数;使用与该组结构相关的参数的重构值中的至少 一子组的重构值对于该组结构中的每一个结构预测该结构的所感兴趣的参数的值；W及对 比所感兴趣的参数的预测值和所感兴趣的参数的重构值来评价结构的所感兴趣的参数的 值的重构品质。
[0100] 在一个实施例中，结构的数学模型的参数的重构值依赖于模型选配方案。如上所 述，在模型选配方案中，参数例如可W被限定为给定的（"固定"）或可变的（"浮动"）。对于浮 动参数，例如可W限定绝对值或相对于名义值的偏差的变化的预定范围。如上所述，在W0 2011-151121(Aben)中，已经描述了例如也能够在浮动参数之间建立关系。在一个实施例 中，关于重构步骤，值已被重构的结构的数学模型的参数被限定为可变的Γ浮动"）。
[0101] 正如参照图8的步骤803所描述的，重构可W使用基于库和/或基于回归的技术。此 外或者替代地，重构可W使用基于机器学习的和/或基于支持向量机技术或任何其它合适 技术。
[0102] 在一个实施例中，该预测使用回归分析方法，例如线性回归分析方法(例如参见上 面参照图8描述的步骤804)，然而也可W使用任何合适的分析方法。在一个实施例中，该预 测使用非线性回归分析的方法。
[0103] 在一个实施例中，关于对比，结构的所感兴趣的参数的值的重构品质被评价为随 着所感兴趣的参数的预测值和所感兴趣的参数的重构值之间的相异度的增大(或者，不同 地，随着相似度的减小）而变高。在一个实施例中，结构的所感兴趣的参数的值的重构品质 被评价为随着所感兴趣的参数的预测值和所感兴趣的参数的重构值之间的相异度的减小 (或者，不同地，随着相似度的减小)而变低。所感兴趣的参数的预测值和所感兴趣的参数的 重构值之间的相异度(或者，不同地，相似度)可W使用例如上面参照图8描述的公式计算。
[0104] 在一个实施例中，上面参照图8描述了其示例，对比所感兴趣的参数的预测值和所 感兴趣的参数的重构值的输出为单一值，该单一值为结构的所感兴趣的参数的值的重构品 质的度量。替代地，对比所感兴趣的参数的预测值和所感兴趣的参数的重构值的输出为一 组值，该组值为结构的所感兴趣的参数的值的重构品质的度量。例如，所感兴趣的参数的预 测值可W在多组上被划分，正如所感兴趣的参数的相关的重构值。然后例如可W对于多组 中的每组执行对比，分别单独地产生该组值中的值。与该多组中的特定组有关的值为对于 该特定组的结构的所感兴趣的参数的值的重构品质的度量。例如，所感兴趣的参数的预测 值和所感兴趣的参数的相关的重构值在多组上的划分可W基于该组结构中的结构的位置。 例如，每组可W与在衬底上的该组结构中的结构的特定位置相关。在衬底被划分为四个象 限的情况下，每个象限可W具有包括该组结构中位于在衬底的该象限上的结构的相关的 组。W运种方式，对比所感兴趣的参数的预测值和所感兴趣的参数的重构值的输出为四个 值的组，每个值为对于该相关象限的结构的所感兴趣的参数的值的重构品质的度量。将能 够明白所感兴趣的参数的预测值可W替代地在多组上被不同地划分，正如所感兴趣的参数 的相关的重构值那样。
[0105] 在上面参照图8的步骤805描述的示例中，该对比使用所感兴趣的参数的重构值的 标准偏差进行归一化。替代地，在一个实施例中，该对比使用ra的标准偏差。在进一步的实 施例中，该对比使用基于所感兴趣的参数的重构值的归一化。在进一步的实施例中，该对比 使用基于i的归一化。对本领域技术人员来说显而易见的是所感兴趣的参数的预测值和所 感兴趣的参数的重构值也可其它方式进行对比。
[0106] 在一个实施例中，该预测使用与该组结构相关的参数的重构值的至少子组的重构 值的平均中屯、值。如上面参照图8描述的，特别是预测步骤804,使用平均中屯、值可W利用矩 阵X中具有1(或任何其它合适的非零值)的列实施。如所述的，运去除在计算中的均值。更一 般地，在一个实施例中，该预测使用与该组结构相关的参数的重构值的至少子组的重构值 的共模抑制。
[0107] 在一个实施例中，结构的数学模型的参数包括用于描述结构的材料属性的参数， 如同结构的材料的折射系数和/或消光系数。
[0108] 在一个实施例中，结构的所感兴趣的参数为结构的CD，优选地为结构的mCD。将能 够理解另一个参数也可W被指定为结构的所感兴趣的参数，并且选择将取决于用户所感兴 趣的参数。
[0109] 在一个实施例中，结构的数学模型的参数的数量大于4或8或16或32。在一个实施 例中，结构的数学模型的参数的数量大于64或128。
[0110] 在一个实施例中，该组结构中的每一个结构通过光刻术形成，例如使用上面参照 图1描述的光刻设备。该结构例如也可W通过压印光刻束或电子束光刻术或通过任何