号。这里，检测部31例如通过电路基板311与控制装置4连接，将生成的电信号作为光接收信号向控制装置4输出。
[0181]此外，在该电路基板311上连接有形成于框体610的外侧表面的外侧端子，其通过形成于电路基板311的电路与电压控制部32连接。
[0182]在这样的构成中，通过电路基板311，光学滤波器器件600以及检测部31可以一体构成，能够使测色传感器3的构成简化。
[0183]电压控制部32通过电路基板311与光学滤波器器件600的外侧端子连接。于是，电压控制部32基于从控制装置4输入的控制信号，对电极垫564P、565P施加规定的跨步电压(只尹、y 7°電圧)，从而来驱动静电致动器56。由此，在电极间间隙产生静电引力，保持部522挠曲，从而可动部521向固定基板51侧位移，可将反射膜间间隙G1设定为期望的尺寸。
[0184][控制装置的构成]
[0185]控制装置4相当于本发明的处理部，控制测色装置1的整体动作。
[0186]作为该控制装置4，例如可以使用通用的个人电脑、便携式信息终端、其它的测色专用电脑等。
[0187]并且，如图11所示，控制装置4构成为具备光源控制部41、测色传感器控制部42、以及测色处理部43等。
[0188]光源控制部41与光源装置2连接。于是，光源控制部41例如基于用户的设定输入，向光源装置2输出规定的控制信号，从光源装置2射出规定亮度的白色光。
[0189]测色传感器控制部42与测色传感器3连接。于是，测色传感器控制部42例如基于用户的设定输入，设定由测色传感器3所接收的光的波长，并向测色传感器3输出旨为检测该波长的光的受光量的控制信号。由此，测色传感器3的电压控制部32基于控制信号设定对静电致动器56施加的电压，仅使用户所期望的光的波长透过。
[0190]测色处理部43从检测部31检测出的受光量来分析检查对象X的色度。
[0191][第二实施方式的作用效果]
[0192]本实施方式的测色装置1具备如上述第一实施方式那样的光学滤波器器件600。如上所述，光学滤波器器件600能够减小接合时可动基板52的挠曲(撓办)、翘曲(反*9 )，能够从波长可变干涉滤波器5高精度地射出期望波长的光。
[0193]因此，作为光学模块的测色传感器3能够通过检测部31高精度地检测期望波长的光量。由此，作为电子设备的测色装置1通过控制光学滤波器器件600的波长可变干涉滤波器5，能够对检查对象X实施高精度的测色处理。
[0194][实施方式的变形]
[0195]需要注意的是，本发明并不限于上述实施方式，在能够达到本发明目的范围内的变形、改良等均包含于本发明之内。
[0196]在上述各实施方式中，虽然例示了固定波长可变干涉滤波器5的固定基板51的整个侧面51A的构成，但本发明并不限定于此。例如，也可以采用在一处固定固定基板51的侧面51A的局部的构成。在这种情况下，能够缩小固定面积，能够更可靠地抑制由来自固定部件624的应力所引起的固定基板51的形变。
[0197]另外，不限于侧面51A，也可以固定固定基板51的包括边CP _Cf的侧面、包括边C2' -C3'的侧面的一处。另外，不局限于侧面，也可以在一处固定可动基板的与底部622A相对的下表面52B的局部。
[0198]另外，既可以在一处固定包括固定基板51的四个顶点C1?C4中的一个顶点的角部，同样地，也可以在一处固定包括可动基板52的四个顶点CP -C4r中的一个顶点的角部。
[0199]不论上述哪一种情况，突出部623均设置于波长可变干涉滤波器5上的固定部件624的固定位置和与该固定位置相对的凹部622的内表面之间。
[0200]例如，在固定包括顶点CP的角部、即在从包括边CP -C2'的侧面51A跨过顶点Clr固定至包括边cr -C4'的侧面的情况下，在凹部622的内表面中的与固定于固定部件624的各侧面的固定位置相对的位置上设置突出部623。
[0201]在上述各实施方式中，虽然例示了固定波长可变干涉滤波器5的固定基板51的构成，但本发明并不限定于此，也可以采用将可动基板52固定于底座620的构成。例如，可以列举出以固定基板51朝向底座620侧来配置波长可变干涉滤波器5而将可动基板52固定于底座620的构成。
[0202]需要注意的是，也可以用固定部件624将固定基板51和可动基板52双方都固定。例如，在用固定部件624固定固定基板51的边CP -C4r侧的波长可变干涉滤波器5的侧面、边C2' -C3'侧的波长可变干涉滤波器5的侧面时，也可以将可动基板52的侧面也一起固定。
[0203]在上述各实施方式中，虽然例示了突出部623设于底座620的构成，但本发明并不限定于此。例如，既可以在固定基板51和可动基板52中至少一方、即在波长可变干涉滤波器5侧形成突出部623，也可以在波长可变干涉滤波器5和底座620两侧都形成突出部623。
[0204]在上述各实施方式中，虽然例示了突出部623为平行于固定面621B的面方向的截面积随着朝向突出方向而变小的半球状的构成，但本发明并不限定于此，例如也可以为梭形、梯形状。
[0205]另外，突出部623不限于随着朝向突出方向而如上所述地截面积变小的形状，也可以是截面积基本不变的柱状的形状。需要说明的是，通过以截面积变小的方式形成为例如半球状，从而能够在确保突出部623的刚性的同时，使波长可变干涉滤波器5与底座620之间的接触面积变小。
[0206]在上述各实施方式中，虽然例示了具备通过对固定电极561和可动电极562施加电压而借助静电引力来变更反射膜间间隙G1的大小的静电致动器56作为间隙变更部的构成，但并不限定于此。
[0207]例如，也可以采用感应致动器作为间隙变更部。在这种情况下，可例示出配置第一感应线圈来取代固定电极561，并配置第二感应线圈或永磁铁来取代可动电极562的构成。
[0208]进而，也可以使用压电致动器作为间隙变更部。在这种情况下，可例示出下述构成:即，在保持部522上层压配置下部电极层、压电膜以及上部电极层，通过使施加于下部电极层与上部电极层之间的电压作为输入值而可变，从而能够使压电膜伸缩并使保持部522挠曲。
[0209]另外，在上述各实施方式中，虽然例示了将作为间隙变更部的静电致动器56仅设置于一对基板中的一方的构成，但本发明并不限定于此，也可以将间隙变更部设置于基板双方。
[0210]在上述各实施方式中，虽然例示了构成为能够变更反射膜间间隙G1的波长可变干涉滤波器5，但不限定于此，也可以是反射膜间间隙G1的大小固定的干涉滤波器。
[0211]另外，在上述各实施方式中，虽然例不了具备一对基板51、52和设于各基板51、52各自上的一对反射膜54、55作为波长可变干涉滤波器5的构成，但并不限定于此。例如，也可以采用不设置可动基板52的构成，采用将固定基板51固定于框体610的构成。在这种情况下，例如构成为将第一反射膜、间隙隔离物(年^7°只< 一寸)及第二反射膜层叠形成于基板(固定基板)的一面，使第一反射膜和第二反射膜隔着间隙而相对。在该构成中，采用具有一张基板的构成，能够使分光元件进一步薄型化。
[0212]另外，虽然在第二实施方式中例示了测色装置1作为本发明的电子设备，但除此之外，还可以根据各种各样的领域应用本发明的光学滤波器器件、光学模块、电子设备。
[0213]以下，对利用了本发明的光学滤波器器件的电子设备的变形例进行说明。需要注意的是，以下例示的电子设备具备上述光学滤波器器件600，波长可变干涉滤波器5容纳于框体610中。
[0214]本发明的电子设备例如可以作为用于检测特定物质的存在的基于光的系统来使用。作为这样的系统，例如可以例示出:采用使用了本发明的光学滤波器器件所具备的波长可变干涉滤波器的分光计量方式来高敏度检测特定气体的车载用气体泄漏检测器、呼吸检查用的光声惰性气体检测器等气体检测装置。
[0215]下面，根据附图对这样的气体检测装置的一个例子进行说明。
[0216]图12是示出具备波长可变干涉滤波器的气体检测装置的一个例子的概略图。
[0217]图13是示出图12的气体检测装置的控制系统的构成的框图。
[0218]如图12所示，该气体检测装置100构成为具备:传感器芯片110、流路120和主体部130，流路120具备吸引口 120A、吸引流路120B、排出流路120C以及排出口 120D。
[0219]主体部130由检测装置、控制部138、以及电力供给部139等构成，检测装置包括具有可以装卸流路120的开口的传感器部盖131、排出单元133、壳体134、光学部135、滤光器136、光学滤波器器件600、以及受光元件137(检测部)等，控制部138处理所检测到的信号并控制检测部，电力供给部139用于供给电力。此外，光学部135由射出光的光源135A、光束分离器135B、以及透镜135C、透镜13?、透镜135E构成，光束分离器135B向传感器芯片110侧反射从光源135A射入的光，并使从传感器芯片侧射入的光透过至受光元件137 —侧。
[0220]此外，如图13所示，在气体检测装置100的表面设置有操作面板140、显示部141、用于与外部的接口连接的连接部142、电力供给部139。在电力供给部139是二次电池的情况下，还可以具备用于充电的连接部143。
[0221]进而，如图13所示，气体检测装置100的控制部138具备:由CPU等构成的信号处理部144、用于控制光源135A的光源驱动器电路145、用于控制光学滤波器器件600的波长可变干涉滤波器5的电压控制部146、用于接收来自于受光元件137的信号的受光电路147、接收来自于传感器芯片检测器148的信号的传感器芯片检测电路149、以及控制排出单元133的排出驱动器电路150等，其中，传感器芯片检测器148读取传感器芯片110的代码，检测传感器芯片110的有无。
[0222]下面，将对上述的气体检测装置100的动作进行说明。
[0223]在主体部130上部的传感器部盖131的内部设置有传感器芯片检测器148，通过该传感器芯片检测器148检测传感器芯片110的有无。信号处理部144在检测到来自于传感器芯片检测器148的检测信号时，判断为是安装有传感器芯片110的状态，并向显示部141输出使其显示可实施检测动作的旨意的显示信号。
[0224]并且，例如在用户操作操作面板140，从操作面板140向信号处理部144输出了旨在开始检测处理的指示信号时，首先，信号处理部144向光源驱动器电路145输出光源动作的信号，使光源135A进行动作。在光源135A被驱动的情况下，从光源135A以单一波长射出直线偏振光的稳定的激光。此外，在光源135A中内置有温度传感器、光量传感器，其信息向信号处理部144输出。并且，信号处理部144在基于从光源135A输入的温度、光量判断为光源135A在稳定动作中时，控制排出驱动器电路150，使排出单元133动作。由此，含有要检测的目标物质(气体分子)的气体样本从吸引口 120A被引向吸引流路120B、传感器芯片110内、排出流路120C、排出口 120D。需要说明的是，在吸引口 120A设置有除尘过滤器120A1，用于去除比较大的粉尘、一部分的水蒸气等。
[0225]此外，传感器芯片110是组装有多个金属纳米结构体的、利用了局域表面等离子体共振的传感器。在这样的传感器芯片110中，通过激光在金属纳米结构体之间形成增强电场，如果气体分子