投影装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及投影装置。
【背景技术】
[0002]投影装置之一有将半导体激光用作光源的投影仪。在这种投影仪中，如果原样投影激光，则会由于其相干的特性而产生衍射现象导致的衍射条纹，或者由于投影面上的微小凹凸反射而发生干涉，产生斑点。这种衍射条纹、斑点会显著降低投影图像的画质。
[0003]已知如下减少衍射条纹、斑点的方法:如特开平6-208089号公报所示的那样，通过使扩散板旋转来将激光变换为不相干的光，或者如日本专利第4682528号所示的那样，通过使扩散板振动来将激光变换为不相干的光。
[0004]然而，在如特开平6-208089号公报那样在激光的光路上设置有旋转扩散板的情况下，仅使用了扩散板的一部分，其余的部分未被使用，会占据不必要的安装体积。另外，如特开平6-208089号公报和专利第4682528号那样，驱动扩散板的驱动器使用电磁力的情况下，存在会由于电流驱动而增加功耗的问题。
【发明内容】
[0005]本发明是考虑到这种现状而完成的，其目的在于提供具备减少衍射条纹和斑点的新机构的投影装置。
[0006]本发明的投影装置具备:光源，射出光束；图像显示元件，对上述光束赋予图像信息；以及噪声减少机构，配置在上述光源与上述图像显示元件之间。上述噪声减少机构具备:光学元件，使从上述光源射出的光束透过；介电弹性体，固定于上述光学元件；以及第一和第二电极，分别设于上述介电弹性体的第一和第二面。上述介电弹性体对应于对上述第一和第二电极之间的电压施加而变形，使上述光学元件进行动作。
[0007]根据本发明，提供具备减少衍射条纹和斑点的新机构的投影装置。
【附图说明】
[0008]图1概略地示出了本实施方式的投影装置。
[0009]图2放大示出了图1所示的噪声减少机构。
[0010]图3示出了构成为单体的设备的第一实施方式的噪声减少机构。
[0011]图4a和4b不出了第一实施方式的噪声减少机构的动作。
[0012]图5a和5b示出了第一实施方式的噪声减少机构的投影装置内的动作。
[0013]图6a和6b不出了图5a和5b所不的形成在微透镜阵列上的电子束光点。
[0014]图7a、7b、7c示出了第二实施方式的噪声减少机构的动作。
[0015]图8a、8b、8c示出了第二实施方式的噪声减少机构的投影装置内的动作。
[0016]图9a、9b、9c示出了形成在图8a、8b、8c所示的微透镜阵列上的电子束光点。
[0017]图10示出了第三实施方式的噪声减少机构。
[0018]图lla、llb、llc、lld示出了在第三实施方式中形成在微透镜阵列上的电子束光点。
【具体实施方式】
[0019]以下，参照【附图说明】本发明的实施方式。
[0020]〈第一实施方式〉
[0021]图1概略地示出了本实施方式的投影装置。投影装置具备:光源12，射出光束；微透镜阵列14，将从光源12射出的光束变换为大致均匀的强度分布的光束；聚光透镜16，使通过了微透镜阵列14的光束聚光；以及图像显示元件18，对光束赋予图像信息。
[0022]光源12由激光光源、例如半导体激光构成。图像显示元件18例如包括数字微镜器件(Degital Micro Mirror Device)(注册商标)。图像显示元件18具有矩形的反射区域，微透镜阵列14具有根据该反射区域成形光束的功能。
[0023]图像显示元件18具有按矩阵状排列的多个可偏转的反射元件，各反射元件能在沿着投影方向反射入射光束的接通(0N)状态和偏离投影方向地反射入射光束的关断(OFF)状态之间切换。图像显示元件18的反射元件根据所提供的图像信号在接通状态和关断状态之间切换，由此将显示图像的二值信息赋予反射光束。然后，在1帧内进行多次切换来将显示图像的灰度信息赋予反射光束。
[0024]在这种投影装置中，从光源12射出的光束通过微透镜阵列14变为具有大致均匀的强度分布的光束，通过聚光透镜16而聚光，入射到图像显示元件18。入射到图像显示元件18的光束被赋予图像信息并反射，投影。
[0025]投影装置还在光源12与微透镜阵列14之间具备减少衍射条纹、斑点等噪声的噪声减少机构20。图2中放大示出了图1所示的噪声减少机构20。
[0026]噪声减少机构20具备:光学元件22，使从光源12射出的光束透过；两个介电弹性体24A、24B，固定于光学元件22，由于电场而发生大的应变；第一电极26A、26B，设于介电弹性体24A、24B的第一面；以及第二电极28A、28B，设于介电弹性体24A、24B的第二面。
[0027]在介电弹性体24A、24B中，被第一电极26A、26B和第二电极28A、28B夹着的区域与不被这些电极夹着而向光学元件22侧凸出的区域的构成是不同的。
[0028]介电弹性体24A、24B中的被第一电极26A、26B和第二电极28A、28B夹着的区域为在绝缘橡胶层的两面层叠有在硅酮橡胶等中混合有碳等的导电性粉体的导电橡胶层的结构。并且，介电弹性体24A、24B中的不被第一电极26A、26B和第二电极28A、28B夹着而是向光学元件22侧突出的区域仅由绝缘橡胶层构成。在光学元件22上粘接有绝缘橡胶层。
[0029]光学元件22可以是透镜、扩散板、玻璃平板等。介电弹性体24A、24B例如可以由交联点变动的高分子化合物构成。这种高分子化合物例如可以是聚轮烧(polyrotaxane)。介电弹性体24A、24B例如可以为具有相互相对的一对平行的平面的板状。介电弹性体24A、24B的一个平行平面与光学元件22的面相接而固定于光学元件22的缘部，突出延伸到光学元件22的外部。设有第一电极26A、26B和第二电极28A、28B的介电弹性体24A、24B的第一面和第二面可以分别是介电弹性体24A、24B的一对平行的平面。
[0030]两个介电弹性体24A、24B相对于光学元件22对称性良好，例如相对于光学元件22的光学中心对称配置。在光学元件22的另一个面的一端侧与另一端侧也可以用双面胶带等分别粘接有介电弹性体24A、24B。
[0031]例如，可以是第一电极26A、26B被用作GND电极，第二电极28A、28B被用作正电极。各介电弹性体24A、24B具有对应于对第一电极26A、26B与第二电极28A、28B之间的电压施加的而变形的特性，更详细地说，具有在厚度方向上缩减并在与厚度方向正交的面方向上伸张的特性。
[0032]噪声减少机构20也可以直接装配到投影装置的箱体等，但是也可以构成为独立的单体器件。图3示出了构成为单体器件的本实施方式的噪声减少机构20。在该构成例中，噪声减少机构20具有分别保持第一电极26A、26B和第二电极28A、28B的第一框架30和第二框架32。第一和第二框架30、32与第一电极26A、26B和第二电极28A、28B直接接触，因此可以由树脂等绝缘体构成。或者，第一和第二框架30、32也可以由在与第一电极26A、26B和第二电极28A、28B接触的表面形成有绝缘覆膜的金属构成。
[0033]图4a和4b示出了本实施方式的噪声减少机构20的动作。在第一电极26A、26B与第二电极28A、28B之间分别以串联的方式电连接有电源34A、34B和开关36A、36B。换言之，噪声减少机构20还具有对介电弹性体24A、24B适当地施加电压的通电电路38A、38B。
[0034]在图4a所示的状态下，开关36A、36B打开，换言之，通电电路38A