一种多次反射光学样品分析系统的制作方法_2

文档序号:9843198阅读:来源:国知局
[0039]图4a本发明实施例2中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,图4b、4c分别为第一光学器件和第二光学器件的截面结构示意图,图4d、4e为本发明实施例2中多次反射光学样品分析系统的立体结构及侧视结构光学示意图;
[0040]图5为本发明实施例3中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0041]图6为本发明实施例4中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0042]图7为本发明实施例5中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0043]图8为本发明实施例6中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0044]图9为本发明实施例7中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0045]图10为本发明实施例8中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0046]图11为本发明实施例9中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0047]图12为本发明实施例10中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0048]图13为本发明实施例11中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0049]图14为本发明实施例12中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0050]图15为本发明实施例13中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0051]图16为本发明实施例14中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0052]图17为本发明实施例15中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0053]图18为本发明实施例16中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0054]图19为本发明实施例17中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0055]图20为本发明实施例18中多次反射光学样品分析系统的结构示意图;
[0056]图21为本发明实施例19中多次反射光学样品分析系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0057]为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明保护的范围。
[0058]本发明公开了一种多次反射光学样品分析系统,用来分析样品的物理和化学性质,该系统包括至少一个第一光学器件,或至少一个第一光学器件及至少一个第二光学器件,第二光学器件包括但不限于反射镜、透射镜、衍射镜,第一光学器件包括至少两个可分离设置成不同光学器件的功能区域,至少两个功能区域集成为一体的第一光学器件,多次反射光学样品分析系统中的光路至少两次通过待分析样品。优选地,第一光学器件包括第一功能区域和第二功能区域,第一功能区域为透射区域,第二功能区域为反射区域,透射区域和反射区域通过包括但不限于一体化机械加工、光学镀膜、光学接触或胶合的方式集成为一体的第一光学器件,其他能实现集成第一光学器件的加工方式和工艺均可。
[0059]进一步地,反射区域上为全反射区域或镀有反射膜,透射区域上镀有增透膜。光线从第一光学器件的透射区域入射至多次反射光学样品分析系统,完成多次反射后从该系统出射。
[0060]本发明中透射区域在第一光学器件的一侧或两侧设置为包括但不限于平面结构、非平面结构中的一种或多种的组合。其中,非平面结构包括但不限于台阶结构、楔形结构、曲面结构,曲面结构包括球面结构、二次曲面结构、柱面结构、自由曲面结构中的一种或多种的组合。非平面结构还可以包括但不限于阵列结构,阵列结构包括但不限于微球透镜阵列结构、柱透镜阵列结构、矩形阵列结构、三角形阵列结构。
[0061]优选地,第一光学器件的截面包括但不限于圆形、方形、多边形、或不规则形,透射区域的截面为圆形、方形、多边形、或不规则形。
[0062]以下结合具体实施例对本发明作进一步说明。
[0063]此外,在不同的实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本发明,不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间具有任何关联性。
[0064]实施例1:
[0065]参图3a_3e所不,本实施例中的多次反射光学样品分析系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中第二光学器件20为反射镜,待分析样品(未图示)在第一光学器件10和第二光学器件20之间,在其他实施例中第二光学器件也可与第一光学器件相同。
[0066]参图3b、3c所示,本实施例中的第一光学器件10包括透射区域(第一功能区域)11和反射区域(第二功能区域)12,透射区域11和反射区域12共同构成光学器件。本实施例中在反射区域12镀有反射膜,反射膜一般为介质膜、金属膜、金属-介质膜。
[0067]本实施例中透射区域形成光学窗口,反射区域和反射膜形成了第一光学器件中的反射镜。参图3a、3d、3e所示,当光线经第一光学器件10的透射区域11入射到光学样品分析系统后,光线在第一光学器件10和第二光学器件20之间完成多次反射后,从第一光学器件10的透射区域11出射。
[0068]优选地,在本实施例中第一光学器件整体设置为圆形,即反射区域的外侧设置为圆形,透射区域也设置为圆形,在其他实施方式中,透射区域和反射区域的形状包括但不限于为圆形,可根据应用需要设置为任意形状,如方形、多边形、或不规则形等。同时,透射区域和反射区域的相对位置关系也可随应用需要而变,而并不限定于本实施例中的相对位置。
[0069]实施例2:
[0070]参图4a_4e所不,本实施例中的多次反射光学样品分析系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中第二光学器件20为反射镜,待分析样品(未图示)在第一光学器件10和第二光学器件20之间,在其他实施例中第二光学器件也可与第一光学器件相同。
[0071]参图4b、4c所示,本实施例中的第一光学器件10包括透射区域(第一功能区域)11和反射区域(第二功能区域)12,透射区域11和反射区域12共同构成光学器件。本实施例中在反射区域12镀有反射膜,反射膜包括但不限于介质膜、金属膜、金属-介质膜,在透射区域11上镀有增透膜,增透膜的材料包括但不限于氟化镁、氧化钛、硫化铅、硒化铅、陶瓷、或乙烯基倍半硅氧烷等。
[0072]本实施例中透射区域和增透膜形成了第一光学器件中的光学窗口,反射区域和反射膜形成了第一光学器件中的反射镜。参图4a、4d、4e所示,当光线经第一光学器件10的透射区域11入射到光学样品分析系统后,光线在第一光学器件10和第二光学器件20之间完成多次反射后,从第一光学器件10的透射区域11出射。由于透射区域11上镀有增透膜,能有效地提高光线在透射区域的透过率。
[0073]优选地,在本实施例中第一光学器件整体设置为圆形,即反射区域的外侧设置为圆形,透射区域也设置为圆形,在其他实施方式中,透射区域和反射区域的形状包括但不限于为圆形,可根据应用需要设置为任意形状,如方形、多边形、或不规则形等。同时,透射区域和反射区域的相对位置关系也可随应用需要而变,而并不限定于本实施例中的相对位置。
[0074]实施例3:
[0075]参图5所示为本实施例
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