一种多次反射光学样品分析系统的制作方法_3

文档序号:9843198阅读:来源:国知局
中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧不是平面结构,设置为楔形结构,楔形结构能够避免平面结构引起的干涉效应。
[0076]实施例4:
[0077]参图6所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧不是平面结构,设置为凸透镜结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
[0078]实施例5:
[0079]参图7所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在朝向第二光学器件一侧不是平面结构,设置为凸透镜结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
[0080]实施例6:
[0081]参图8所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在朝向第二光学器件一侧不是平面结构,设置为凹透镜结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
[0082]实施例7:
[0083]参图9所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为凸透镜结构,在朝向第二光学器件一侧设置为凹透镜结构其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
[0084]实施例8:
[0085]参图10所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为凹透镜结构,在朝向第二光学器件一侧也设置为凹透镜结构其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
[0086]实施例9:
[0087]参图11所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为凹透镜结构其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
[0088]实施例10:
[0089]参图12所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为凸透镜结构,在朝向第二光学器件一侧也设置为凸透镜结构其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改善入射光的发散角。
[0090]实施例11:
[0091]参图13所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向外凸出的柱透镜阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
[0092]实施例12:
[0093]参图14所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向外凸出的柱透镜阵列结构,在朝向第二光学器件一侧设置为向内凹陷的柱透镜阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
[0094]实施例13:
[0095]参图15所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向外凸出的三角形阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
[0096]实施例14:
[0097]参图16所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向内凹陷的矩形阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
[0098]实施例15:
[0099]参图17所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11在背向第二光学器件一侧设置为向外凸出的柱透镜阵列结构,在朝向第二光学器件一侧也设置为向外凸出的柱透镜阵列结构,其能够避免平面结构引起的干涉效应,同时改变入射光的能量分布。
[0100]实施例16:
[0101]参图18所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,第二光学器件20与实施例1中的第二光学器件完全相同,第一光学器件10与实施例1不同的是透射区域11设置在第一光学器件10的边缘位置,而反射区域12设置在第一光学器件10的内部。反射区域由应用及设计而定,使用及加工方便。
[0102]实施例17:
[0103]参图19所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,该系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中,与实施例16相比,本实施例不同的是在第一光学器件10上设置有挖空区域13,在第二光学器件20上对应设置有挖空区域21,该挖空区域为对应光学器件的非光学利用空间。
[0104]实施例18:
[0105]参图20所示为本实施例中多次反射光学样品分析系统的结构示意图,本实施例中的系统包括第一光学器件10和第二光学器件20,其中第一光学器件10上包括透射区域(第一功能区域)11、反射区域(第二功能区域)12和观察区域(第三功能区域)13,透射区域和反射区域的功能与实施例1相同,而观察区域可观察到光斑在两个光学器件上的分布状况,即可观察该系统的工作状态,方便检测系统的工作状态,能够有效地对系统进行维护。
[0106]实施例19:
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