一种用于反射镜光学元件的角度调整装置的制作方法

本发明涉及光学元件测量领域，具体涉及一种用于反射镜光学元件的角度调整装置。

背景技术：

当前，集成电路加工技术迅速发展，光刻分辨率由45nm向22nm不断进步，作为集成电路光刻的核心部件，光刻投影物镜对光学元件的加工和光学系统整机装调精度有着极高的要求。在光刻投影物镜研制过程存在部分离轴非球面光学元件，其检测需要采用立式向上测量斐索干涉仪，即测量光束竖直向上，在立式向上测量斐索干涉仪的研制过程中，斐索干涉仪主机一般是采用水平方向布置，这就需要一片反射镜将水平测量光束反射为竖直方向，进而需要一种用于反射镜光学元件的角度调整装置，能够实现精细调整反射镜的角度，并能够为反射镜光学元件提供最小应力支撑，以减小调整与支撑应力对反射镜光学元件面形精度影响。

技术实现要素：

本发明旨在克服现有技术存在的缺陷，本发明采用以下技术方案：

本发明提供了一种用于反射镜光学元件的角度调整装置。所述用于反射镜光学元件的角度调整装置包括：柔性支撑结构，柔性支撑镜框，角度调整螺钉，柔性支撑板；所述反射镜光学元件通过所述柔性支撑结构设置在所述柔性支撑镜框上；所述柔性支撑镜框通过所述角度调整螺钉连接到所述柔性支撑板上。

在一些实施例中，所述用于反射镜光学元件的角度调整装置还包括固定角度支撑框架，所述柔性支撑板固定设置在所述固定角度支撑框架上。

在一些实施例中，所述角度调整螺钉包括角度调整细牙螺钉与角度调整紧固螺钉。

在一些实施例中，所述柔性支撑结构为三点或多点柔性支撑结构。

在一些实施例中，所述反射镜光学元件通过所述柔性支撑结构胶粘设置在所述柔性支撑镜框上。

在一些实施例中，所述柔性支撑镜框上设置有狭缝结构。

在一些实施例中，所述狭缝结构为弧形狭缝，且所述狭缝结构与所述角度调整螺钉的位置对应。

在一些实施例中，所述狭缝结构有三个，且均匀布置在所述柔性支撑镜框上。

在一些实施例中，所述角度调整螺钉有三组，且均匀布置在所述柔性支撑镜框上。

在一些实施例中，所述反射镜光学元件的表面是平面或曲面。

本发明的技术效果：本发明提供的用于反射镜光学元件的角度调整装置结构能够精密调整反射镜光学元件的支撑角度，并减小由支撑调节引入的应力对反射镜光学元件面形精度的影响。

附图说明

图1为根据本发明一个实施例的用于反射镜光学元件的角度调整装置结构示意图；

图2为根据本发明一个实施例的用于反射镜光学元件的角度调整装置中的柔性支撑镜框的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，而不构成对本发明的限制。

参考图1-2所示，是本发明提供的一种用于反射镜光学元件1的角度调整装置100。所述角度调整装置100包括：柔性支撑结构9，柔性支撑镜框2，角度调整螺钉，柔性支撑板；所述反射镜光学元件1通过所述柔性支撑结构9设置在所述柔性支撑镜框2上；所述柔性支撑镜框2通过所述角度调整螺钉连接到所述柔性支撑板6上。

在一些实施例中，所述用于反射镜光学元件的角度调整装置100还包括固定角度支撑框架8，所述柔性支撑板6固定设置在所述固定角度支撑框架8上。

在一些实施例中，所述角度调整螺钉包括角度调整细牙螺钉3与角度调整紧固螺钉4。

在一些实施例中，所述柔性支撑结构9为三点或多点柔性支撑结构。

在一些实施例中，所述反射镜光学元件1通过所述柔性支撑结构9胶粘设置在所述柔性支撑镜框2上。

在一些实施例中，所述柔性支撑镜框2上设置有狭缝结构5。

在一些实施例中，所述狭缝结构5为弧形狭缝，且所述狭缝结构5与所述角度调整螺钉的位置对应。

在一些实施例中，所述狭缝结构5有三个，且均匀布置在所述柔性支撑镜框2上。

在一些实施例中，所述角度调整螺钉有三组，且均匀布置在所述柔性支撑镜框2上。

在一些实施例中，所述反射镜光学元件1的表面是平面或曲面。

本发明一种用于反射镜光学元件的角度调整装置的结构如图1﹑图2所示，反射镜光学元件1通过三点或多点柔性支撑结构9胶粘连接到柔性支撑镜框2上，柔性支撑镜框2通过3组角度调整细牙螺钉3与角度调整紧固螺钉4连接到柔性支撑板6上，柔性支撑板6通过镜框支撑连接螺钉7连接到固定角度支撑框架8上。通过上述连接，反射镜光学元件1通过固定角度支撑框架8进行角度初步定位，当分别调整3个角度调整细牙螺钉3的支撑高度时，因支撑高度不同，可使柔性支撑镜框2绕柔性支撑镜框平面两个倾斜方向进行角度调整，进而带动反射镜光学元件1进行精密角度调整。角度调整结束后紧固角度调整紧固螺钉4，以防止反射镜光学元件1的角度位置发生变化。通过上述步骤实施，可以实现反射镜光学元件1的高效率﹑高精度角度调整功能。

所述调整螺钉采用精密细牙螺钉，以提高角度调整的分辨率。在柔性支撑镜框2的调整螺钉方向上，加工有消应力的狭缝结构5，以减小镜框上调整螺钉接触处局部受力过大，对柔性支撑镜框的变形的影响。

通过三点或多点柔性支撑结构9支撑反射镜光学元件1，并在柔性支撑镜框2上加工有消应力狭缝结构5，可以最大程度减小角度调整与支撑对反射镜光学元件1面形精度的影响。

所述反射镜光学元件1通过三点或多点柔性支撑结构胶粘连接至柔性支撑镜框2上，柔性支撑结构9采用电火花加工方式加工。

从上述技术方案可以看出，与现有技术相比，本发明技术方案具有以下有益效果：

(1)本发明中反射镜光学元件采用三点或多点柔性结构支撑方式支撑，减小了刚性支撑对反射镜光学元件面形精度的影响。

(2)本发明中通过调整螺钉支撑的结构调整柔性支撑镜框的角度，进而间接调整反射镜光学元件的角度，并在柔性支撑镜框调整螺钉位置加工有消应力狭缝结构，进一步减小调整螺钉支撑应力对反射镜光学元件面形精度的影响。

(3)本发明中采用固定角度支撑框架初定位反射镜光学元件的角度，采用3组精密细牙调整螺钉精密调整反射镜光学元件的最终角度，提高了反射镜支撑结构的刚度和角度调整的效率。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

以上所述本发明的具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所作出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。