防雾自清洁光学反射镜的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型属光学薄膜反射镜领域，设及一种防雾自清洁光学反射镜。
【背景技术】
[0002] 光学反射镜是一种利用反射定律工作的光学元件。反射镜按表面面形可分为平面 反射镜、球面反射镜和非球面反射镜=种；按反射程度，可分成全反反射镜和半透半反反射 镜(又名分束镜)。过去制造反射镜时，常常在玻璃上锻侣，其制作标准工艺是：在高度抛光 的衬底上真空蒸侣后，再锻上二氧化娃或氣化儀。此种光学反射镜元件工作频带很宽，可覆 盖达紫外区、可见光区和红外区，所W它的应用范围很广。
[0003] 光学反射镜很多应用于室外环境，如大型反射式天文望远镜、反射聚光光伏系统 等，其多孔结构易粘附油污W及吸收环境水汽，造成反光率下降，产品的环境稳定性受到很 大影响。因此，需解决现有反射镜存在的不足，对反射膜进行液体不润湿改性，W使反射膜 同时具有抗液体润湿的性能，即所谓的"防雾自清洁"性能。
[0004] 一般反射镜结构为；Si02-A1-Si02 (SiO)，在基板和A1膜之间设置二氧化娃构 成的下底膜，在A1膜之上形成Si02或SiO膜，Si02或SiO膜层是作为保护膜。
【发明内容】
[0005] 为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种具有防雾自清洁涂层， 可保证光学反射镜在锻膜后紫外波段、可见光波段W及红外光波段都有高的反射率，适合 应用于室外环境的光学反射镜。
[0006] 本实用新型是通过W下的技术方案实现的：
[0007] 一种防雾自清洁光学反射镜，包括基片和覆盖在基片表面上的膜层，其特征在于， 所述的膜层由四层膜叠加而成，依次为，二氧化娃层、侣膜层、二氧化娃膜层和防雾自清洁 涂层。
[000引所述自清洁涂层为防水药层。
[0009] 该防水药层采用W N-全氣辛横酷氨基丙基S己氧基娃烧为主要原料的聚合物 (参考申请号为200610091094. 3,名称为《眼镜镜片超硬防水药制备方法》的专利)。
[0010] 其中，最下层为二氧化娃层，且与基片的表面相接触。侣膜与基片之间的打底膜层 为二氧化娃层，用于增强侣膜与基片的连接强度，侣膜与防雾自清洁涂层之间膜层为二氧 化娃膜层，最外层为防雾自清洁涂层。上述所述的基片可为光学玻璃镜片或树脂镜片。
[0011] 上述的四层膜中，各膜层厚度分别为：
[0012] 第一层（二氧化娃层）厚度为lOnm ;
[0013] 第二层(侣膜层）厚度为lOOnm ;
[0014] 第S层(二氧化娃膜层）厚度为10皿；
[001引第四层（防雾自清洁涂层）厚度为lOnm。
[0016] 本实用新型与现有技术相比，具有W下的优点；采用的保护膜层很薄，重新锻膜时 旧膜易于去除；采用离子辅助成膜工艺可w实现低温锻膜，可用于树脂镜片；材料成膜结 构稳定，是最常用的锻膜膜料；本实用新型选用防水药(氣娃化合物）作为自清洁涂层，不影 响光谱性能；只需四层膜就可实现兼具防雾自清洁的高反射效果，具有优良的环境适应性。
【附图说明】
[0017] 图1是本实用新型的结构示意图；
[001引图2是本实用新型光谱特性曲线图。
【具体实施方式】
[0019] 为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面 结合【具体实施方式】，进一步阐述本实用新型。
[0020] 实施例1，防雾自清洁光学反射镜，包括光学元件和覆盖在光学元件表面上的四 层膜层叠加而成，所述四层膜层由下至上依次为二氧化娃层、侣层、二氧化娃层和自清洁涂 层。
[002U 二氧化娃层厚度为lOnm、侣层厚度为lOOnm、二氧化娃层厚度为lOnm、自清洁涂层 10nm0
[0022] 所述基片为玻璃或树脂镜片。
[0023] 所述自清洁涂层为防水药。
[0024] 防水药是WN-全氣辛横酷氨基丙基S己氧基娃烧为主要原料的聚合物，参考申 请号为200610091094. 3,名称为《眼镜镜片超硬防水药制备方法》的专利。
[0025] 如图1所示，本实用新型包括光学元件0和覆盖在光学元件表面上的膜层，其中所 述的膜层由四层膜叠加而成，其中1和3为氧化娃膜层，2为侣膜层，氧化娃膜层的折射率接 近玻璃，而且结构稳定，是最常用的低折射率膜料，本实用新型选用氧化娃作为基片与侣膜 的打底层，采用离子辅助锻膜工艺，可有效增加膜层的连接强度。
[0026] 所述各膜层的材质与厚度如下表；
[0027]
【主权项】
1. 一种防雾自清洁光学反射镜，包括基片和覆盖在基片表面上的膜层，其特征在于，所 述的膜层由四层膜叠加而成，依次为，二氧化硅层、铝膜层、二氧化硅膜层和防雾自清洁涂 层。
2. 根据权利要求1所述的防雾自清洁光学反射镜，其特征在于，所述自清洁涂层为防 水药层。
3. 根据权利要求2所述的防雾自清洁光学反射镜，其特征在于，所述防水药层采用以 N-全氟辛磺酰氨基丙基三乙氧基硅烷为主要原料的聚合物。
4. 根据权利要求1所述的防雾自清洁光学反射镜，其特征在于，所述膜层由四层膜叠 加而成的顺序是：最下层为二氧化硅层，且与基片的表面相接触；铝膜与基片之间的打底 膜层为二氧化硅层，用于增强铝膜与基片的连接强度；铝膜与防雾自清洁涂层之间膜层为 二氧化硅膜层；最外层为防雾自清洁涂层。
5. 根据权利要求1所述的防雾自清洁光学反射镜，其特征在于，所述的基片可为光学 玻璃镜片或树脂镜片。
6. 根据权利要求1-5之一所述的防雾自清洁光学反射镜，其特征在于，所述各膜层的 厚度分别为：第一层厚度为l〇nm ;第二层厚度为lOOnm ;第三层厚度为10nm ;第四层厚度为 10nm〇
【专利摘要】防雾自清洁光学反射镜，包括基片和覆盖在基片表面上的膜层，其特征在于，所述的膜层由四层膜叠加而成，依次为，二氧化硅层、铝膜层、二氧化硅膜层和防雾自清洁涂层所述自清洁涂层为防水药层。所述防水药层采用以N-全氟辛磺酰氨基丙基三乙氧基硅烷为主要原料的聚合物。本实用新型采用的保护膜层很薄，重新镀膜时旧膜易于去除；采用离子辅助成膜工艺可以实现低温镀膜，可用于树脂镜片；材料成膜结构稳定，是最常用的镀膜膜料；选用防水药（氟硅化合物）作为自清洁涂层，不影响光谱性能；只需四层膜就可实现兼具防雾自清洁的高反射效果，具有优良的环境适应性。
【IPC分类】G02B5-08, G02B1-18
【公开号】CN204331079
【申请号】CN201420797327
【发明人】王晋峰, 李新南, 田杰, 王烨儒
【申请人】中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年12月16日