专利名称：360kV高频高压倍加器均压结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种高频高压倍加器的均压结构，特别涉及一种应用于高能离子注入 机中的360kv直流无油高压倍加器的均压结构。属半导体设备领域。
背景技术：
集成电路制造技术的飞速发展,对各半导体工艺设备提出了更高的要求。离子注 入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也提出了更高的要求，尤其是在束流指 标、束能纯度、节深控制、注入均匀性与生产效率等方面均受到严峻挑战。
为了达到工艺要求的能量指标，特别是高能注入，我们为新研制的高能注入机设 计了一种新型的360kv直流无油高压倍加器。这可以给加速管两级提供360kv的直流高压， 使离子在加速场中获得足够的能量。这相较于之前200kv的倍加器设计，对倍加器空间电 场的控制提出了更高的要求。在360kv空间电场下,不均匀的电场分布，会引起局部电场过 高，击穿空气，引起放电打火。这种现象严重影响注入指标,损害设备寿命，在注入生产过程 中是不能被允许的。所以我们针对360kv直流无油高压倍加器设计了这种9级均压结构。 它可以均匀分布360kv的直流空间电场，有效抑制倍加器空间放电现象。
发明内容
为了解决上述存在的问题,本发明的目的是提供一种结构简单，安装方便的直流 高压倍加器的均压结构。 本发明的技术方案是这样实现的，该均压结构，包括上金属圆盘，下金属圆盘,9级 均压环，9对双球固定螺栓。其中高压倍加器的电路板两端分别固定在上下金属圆盘上，在 上下金属圆盘之间均匀分布9级均压环，各均压环分别用绝缘绑固定在倍加器电路板上。 在每级均压环正对倍压整流板的正中打螺孔，通过双球状固定栓固定引出引线接到倍压整 流板上。 所述均压环采用纯铝材料，横截面为圆形,表面光滑平整无毛刺。
所述均压环上螺孔为穿孔，前后孔面为沉孔设计。 所述的双球状固定螺栓为外侧球带栓穿过均压环，出头，内侧球打螺孔，压紧引 线与外侧球连接固定。内外球表面光滑平整无毛刺，与均压环沉孔相切,平滑连接。
与之前采用的均压结构相比，本发明的有益效果是
1、结构简单，装配方便。 2、能应用于360kv高压倍加器上，实现空间电场的分布均匀，有效抑制倍加器的 空间放电现象，在大气中，可使倍加器可无影响输出360KV以上的高压。
具体实施例方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细描述，但不作为对本发明的限 定。
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如
图1-2所示， 一种360kv无油直流高压倍加器的均压结构
1.电路板支撑杆
2.倍加器功能电路板
3.铝质均压环
4.绝缘绑带
5.连接导线 其中，倍加器功能电路板2通过电路板支撑杆1固定连接,倍加器功能电路板2和 倍压整流板7两端分别用螺钉固定在上金属圆盘8和下金属圆盘9上。9级铝质均压环3 在上金属圆盘8和下金属圆盘9之间均匀分布,通过绝缘绑带4固定在倍加器功能电路板2 和倍压整流板7上。在每级铝质均压环3正对倍压整流板7的正中打螺孔，通过双球状固 定螺栓栓6固定引出连接导线5接到倍压整流板7上。铝质均压环3和双球状固定螺栓6 表面及连接处都保证光滑平整，无毛剌。 这样的无油直流高压倍加器的均压结构，能够保证360kv直流高压电场的均匀分 布，有效抑制了高压倍加器的空间放电现象，可使倍加器稳定输出大于360kv的直流电压。 并且本结构设计简单，装配方便。 本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而 言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利 的侵犯，将承担相应的法律责任。
6. 双球状固定螺栓
7. 倍压整流板
8. 上金属圆盘
9. 下金属圆盘
权利要求
一种应用于360kv高压倍加器的均压结构，包括9级均压环，9对球状固定栓，上金属圆盘和下金属圆盘。高压倍加器的电路板两端分别固定在上下金属圆盘上，在上下金属圆盘之间均匀分布9级均压环，各均压环分别用绝缘绑带固定在倍加器电路板上。在每级均压环正对倍压整流板的正中打螺孔，通过双球状固定栓固定引出引线接到倍压整流板上。
2. 根据权利要求1所述的一种应用于360kv高压倍加器的均压结构，其特征所述均 压环为纯铝材料，横截面为圆形，表面光滑平整无毛刺。
3. 根据权利要求2所述的铝质材料均压环，其螺孔特征为穿孔,前后孔面为沉孔设计。
4. 根据权力要求1所述的双球状固定螺栓，其特征为外侧球带栓穿过均压环，出头， 内侧球打螺孔，压紧引线与外侧球连接固定。内外球表面光滑平整无毛刺，与均压环沉孔相 切，平滑连接。
全文摘要
本发明公开了一种应用于360kv高压倍加器的均压结构，包括9级均压环，9对球状固定栓，上金属圆盘和下金属圆盘。高压倍加器的电路板两端分别固定在上下金属圆盘上，在上下金属圆盘之间均匀分布9级均压环，各均压环分别用绝缘绑带固定在倍加器电路板上。在每级均压环正对倍压整流板的正中打螺孔，通过双球状固定栓固定引出引线接到倍压整流板上。本发明针对新型无油设计的高压倍加器，设计简洁，装配简单。有效实现均匀分配高压倍加器两端360kv的高压，有效抑制了倍加器由于不均匀高压分布引起的空间放电现象。
文档编号H01J37/317GK101728202SQ200810224639
公开日2010年6月9日 申请日期2008年10月22日 优先权日2008年10月22日
发明者伍三忠, 刘仁杰, 谢均宇 申请人:北京中科信电子装备有限公司