专利名称：玻璃基板的缺陷修正方法、玻璃基板的制造方法、显示面板用玻璃基板和显示面板的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于构成显示面板的玻璃基板的缺陷修正。
背景技术：
构成液晶显示面板、等离子体显示面板(PDP)等平板显示器用面板的基板多使用 玻璃基板。对于该平板显示器用的玻璃基板(以下，简称为"玻璃基板")的要求，随着近年 来显示器的大画面化变得更严格。 作为对玻璃基板的一个要求，期望降低玻璃基板的缺陷。这里，玻璃基板的缺陷是
指内部泡、内部异物等内部缺陷，以及形成于表面的突起、损伤等表面缺陷。 使用具有缺陷的玻璃基板制作平板显示器时，在缺陷的附近会产生亮点或黑点等
显示不良。从而，期望玻璃基板的缺陷尽可能地少。 这里，对玻璃基板的缺陷的产生原因进行说明。 内部泡是在制造玻璃基板时的熔解玻璃原料的工序中，由于巻入的空气或从耐火 材料释放的气体等在熔解后的玻璃原料中形成气泡而产生的。而且，根据所使用的玻璃原 料的不同，也存在玻璃原料自身产生气体的情况。这样的内部泡根据体积以某概率存在，并 且难以降低其概率。另外，当存在于玻璃基板中的气泡的位置接近表面时，也存在在玻璃基 板的表面形成突起(包括隆起和起伏)的情况。 内部异物包括由原料造成的异物和由来自外部的污染造成的异物。作为由原料造 成的内部异物，包括由于玻璃原料没有熔解(melt)而残留从而形成的异物、和混合存在于 玻璃原料中的难熔解的异物。此外，作为来自外部的污染，存在由于在熔解玻璃原料时使用 的耐火材料混入玻璃中而变成异物的情况。另外，在存在于玻璃基板中的异物的位置接近 表面的情况下，与内部泡同样，也存在在玻璃基板的表面产生突起(包括隆起和起伏)的情 况。 形成于玻璃基板的表面上的突起是如上述那样伴随内部泡、内部异物而产生的表 面缺陷。 此外，形成于玻璃基板的表面的损伤是在从被称为原板的大型玻璃板切出玻璃基 板并实施周边加工的加工工序中，由于玻璃基板彼此接触等而形成的。
然而，已知有如下技术该技术尽管不是用于处理上述玻璃基板的缺陷的技术，但 是为了消除由不良(不合格)像素造成的亮点不良，在玻璃基板的与不良像素对应的区域 形成凹部，通过在该凹部填充遮光性树脂而防止光的泄漏(例如，参照专利文献1、2)。
此外，还已知有通过研磨将形成于液晶显示面板的彩色滤光片上的微小突起除去 的研磨装置(例如，参照专利文献3)。 专利文献1 :日本国公开专利公报"特开平5-210074号公报(
公开日1993年8月 20日)" 专利文献2 :日本国公开专利公报"特开2005-189360号公报(
公开日2005年7月14日)" 专利文献3 :日本国公开专利公报"特开平6-313871号公报(
公开日1994年11 月8曰)" 上述的玻璃基板的缺陷能够引起平板显示器的显示不良。 例如当存在某个程度的大小(例如直径100i!m以上)的内部泡时，其附近作为亮 点被观察到。虽然对由于内部泡而产生亮点的机制(mechanism)不是很明确，但是认为由 于存在内部泡，由内部泡周边的玻璃产生的透镜效果、以及由残留于内部泡周边的玻璃中 的应力导致的偏振状态的紊乱等是其原因。 此外，在存在某个程度的大小的内部异物的情况下，当内部异物由遮光性的材料 构成时也会产生黑点。 进而，对于突起、损伤等表面缺陷，在与玻璃基板的本来的表面不同的方向上形成 微小的折射面、反射面，其结果是能够产生因此而造成的亮点。 因此，从显示品质的观点出发，较为理想的是使用没有缺陷的玻璃基板，但是不可 能制造出这样的玻璃基板。此外，即使通过修改玻璃基板的制造工序能够将缺陷的产生降 低至某个程度，但归根结底也是有限度的。 另一方面，在令包含导致显示不良的缺陷的玻璃基板全部成为不良品(不合格 品)的情况下，不但会导致成品率降低，甚至会引起玻璃基板和平板显示器的成本升高等 问题。特别是，在与大画面对应的大型玻璃基板中，在概率上易包含缺陷，因此成品率下降 的问题较为严重。 因此，要求一种技术，即使在所制造的玻璃基板中包含缺陷，该技术也可以通过修 正该缺陷而使其成为良品(合格品)。 另外，这样的要求，对于构成液晶显示面板和等离子体显示面板等平板显示器用 面板的玻璃基板而言是共同的，但是基于以下理由，特别是在液晶显示面板用的玻璃基板 中很显著。 在液晶显示面板用的玻璃基板，需要在其表面形成半导体元件，而半导体元件易 受到来自碱金属的不良影响。因此，液晶显示面板用的玻璃基板通常使用不包含碱金属作 为添加成分(作为杂质的碱金属为1%以下)的无碱玻璃。然而，由于无碱玻璃熔点高，因 此在无碱玻璃中，当玻璃原料熔解时气泡难以排出，易残留内部泡。从而，因为液晶显示面 板用的玻璃基板容易包含作为内部泡的缺陷，所以特别对通过修正缺陷进行良品化的技术 的要求特别高。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的是提供一种在用于构成显示面板的玻璃 基板中修正缺陷的技术。 作为解决上述问题的方法，虽然存在例如用钻头(drill)削除玻璃基板的缺陷部 位的玻璃材料的方法，但是尽管能够在一定程度上除去修正对象的缺陷部分的玻璃材料， 也难以完全除去气泡周围的玻璃。 此外，作为完全修正玻璃基板的缺陷的方法，考虑用砥石(磨石)削除玻璃基板的 缺陷部位的玻璃材料的方法，但是由于使砥石与玻璃基板直接接触，因此由于砥石对玻璃
5基板施加的压力、以及由砥石和玻璃基板的摩擦产生的加工热，可能对玻璃基板造成损伤。
于是，本申请的发明人等经努力研究而得到的结果是，发现向玻璃基板喷射成为砥粒(abrasive)的粉体的砥粒喷射，作为不会对玻璃基板造成损伤而容易地完全修正玻璃基板的缺陷的方法是有效的。另外，所喷射的除粉体(粉状体powder)以外，可以是流体，也可以是包含粉体的流体。 为了解决上述问题，本发明的玻璃基板的缺陷修正方法是用于构成显示面板的玻璃基板的缺陷修正方法，其特征在于对形成于上述玻璃基板的修正对象缺陷所处的部位，喷射粉体和流体中的至少一方，进行从该玻璃基板至少除去包含上述修正对象缺陷的区域的玻璃材料的除去加工。 根据上述结构，对形成于玻璃基板的修正对象缺陷所处的部位喷射粉体和流体中的至少一方，进行从该玻璃基板至少除去包含上述修正对象缺陷的区域的玻璃材料的加工，由此，能够不会对玻璃基板造成损伤地容易而完全地修正玻璃基板的缺陷。
S卩，在上述结构的修正缺陷方法中，因为利用被喷射的粉体或流体碰撞包含修正对象缺陷的区域而产生的微细的脆性加工(microfabrication process)的积累进行研磨，所以能够进行微细的加工(研磨)，从而能够容易地对成为除去对象的部位的玻璃材料的研磨量进行调整。由此，能够不对玻璃基板造成损伤地容易且完全地修正玻璃基板的缺陷。
这里，通过进行从玻璃基板除去至少包含修正对象缺陷的区域的玻璃材料的加工，能够缓和由修正对象缺陷造成的显示不良。 上述修正对象缺陷包括形成于玻璃基板的内部的内部缺陷(内部泡等)和形成于玻璃基板的表面的表面缺陷(突起、损伤等)。 在上述修正对象缺陷是形成于上述玻璃基板的内部的内部缺陷的情况下，在上述
的除去加工中，优选对形成于上述玻璃基板的内部缺陷所处的部位喷射粉体和流体中的至
少一方，从该玻璃基板的表面至少到达上述内部缺陷地除去玻璃材料。 此外，在上述除去加工中，优选将围绕上述内部缺陷的玻璃材料一并除去。 在上述方法中，不仅除去从玻璃基板的表面至内部缺陷的玻璃材料，还一并除去
包围内部缺陷的玻璃材料、即内部缺陷的侧面和背面侧的玻璃材料，由此能够进一步减轻
上述透镜效果、偏振状态的紊乱。 另一方面，在上述修正对象缺陷是形成于上述玻璃基板的表面的突起的情况下，在上述除去加工中，优选对形成于上述玻璃基板的表面的突起所处的部位喷射粉体和流体中的至少一方，除去玻璃材料，使得该玻璃基板的表面平坦。 在上述方法中，通过喷射粉体和流体中的至少一方而除去玻璃材料，使上述突起平坦。这里，使突起平坦是指通过除去突起的一部分或全部而降低突起的高度。在使突起平坦时，也可以在该部分形成稍微的凹陷。 由此，能够使形成有突起的表面接近本来的表面形状。其结果是，能够使得难以产生由上述突起造成的亮点。 这样，在上述方法中，能够修正玻璃基板的表面缺陷，使得由玻璃基板的表面缺陷造成的显示不良被缓和。 此外，在上述修正对象缺陷是形成于上述玻璃基板的表面的损伤的情况下，在上述除去加工中，优选对形成于上述玻璃基板的表面的损伤所处的部位喷射粉体和流体中的至少一方，除去玻璃材料，使得由该玻璃基板的损伤形成的表面平滑。 在上述方法中，通过喷射粉体和流体中的至少一方除去玻璃材料，从而使上述损伤平滑。这里，使由损伤形成的表面平滑是指，使相对于玻璃基板的本来的表面，由损伤形成的表面所形成的角度较小。 由此，能够使形成有损伤的表面接近本来的表面形状。其结果是，能够使得难以产生由上述损伤造成的亮点。 这样，在上述方法中，能够修正玻璃基板的表面缺陷，使得由玻璃基板的表面缺陷造成的显示不良被缓和。 在上述除去加工中，优选将围绕形成于上述玻璃基板的表面的突起或损伤的玻璃材料一并除去。 在上述方法中，通过将围绕形成于玻璃基板的表面的突起或损伤的玻璃材料一并除去，能够进一步减轻上述透镜效果、偏振状态的紊乱。 上述粉体优选为氧化铝。该氧化铝的硬度(莫式Mohs)是9，优选用作研磨用的砥粒。 被喷射至与上述玻璃基板的修正对象缺陷相当的部位的、进行研磨的粉体，因为残留在研磨部位，所以妨碍后续的粉体的喷射进行的研磨，越持续进行粉体的喷射，则研磨
效率越降低。 因此，在上述除去加工中，在通过喷射粉体除去玻璃材料的情况下，交替地进行粉体的喷射和仅有作为用于喷射粉体的介质的空气的喷射。 在上述的方法中，由于交替地进行玻璃基板的修正对象部位的研磨和残留于研磨部位的粉体等残留物的除去，因此能够消除无用的粉体的残留，其结果是，能够提高研磨效率。 优选在通过上述除去加工除去玻璃材料后的部位填充透明材料。
在上述方法中，在通过除去加工除去玻璃材料后的部位(凹陷、槽等)填充透明材料(个体)，由此，与该部位内为空的状态相比，能够使该部位的折射率变化变小。其结果是，能够使得通过上述除去加工除去玻璃材料后的部位不易变得明显。 此外，在上述缺陷修正方法中，上述玻璃基板也可以是用于构成液晶显示面板的玻璃基板。 用于构成液晶显示面板的玻璃基板，由于碱金属的含有量少而熔点高，因此易产生内部泡。从而，除去上述的内部缺陷的方法对用于构成液晶显示面板的玻璃基板而言特别有效。 另外，上述的各缺陷修正方法也能够作为玻璃基板的制造方法来掌握。 本发明的玻璃基板的制造方法是用于构成显示面板的玻璃基板的制造方法，其特
征在于，包括对形成于上述玻璃基板的修正对象缺陷所处的部位喷射粉体和流体中的至
少一方，进行从该玻璃基板至少除去包含上述修正对象缺陷的区域的玻璃材料的除去加工
的工序。 此外，在上述修正对象缺陷是形成于上述玻璃基板的内部的内部缺陷(内部泡等)的情况下，在进行上述除去加工的工序中，优选对形成于上述玻璃基板的内部缺陷所处的部位喷射粉体和流体中的至少一方，从该玻璃基板的表面至少到达上述内部缺陷地除去玻璃材料。 在进行上述除去加工的工序中，优选将围绕上述内部缺陷的玻璃材料一并除去。
此外，在上述修正对象缺陷是形成于上述玻璃基板的表面的突起的情况下，在进 行上述除去加工的工序中，优选对形成于上述玻璃基板的表面的突起所处的部位喷射粉体 和流体中的至少一方，除去玻璃材料，使得该玻璃基板的表面平坦。 进而，在上述修正对象缺陷是形成于上述玻璃基板的表面的损伤的情况下，在进
行上述除去加工的工序中，优选对形成于上述玻璃基板的表面的损伤所处的部位喷射粉体
和流体中的至少一方，除去玻璃材料，使得由该玻璃基板的损伤形成的表面平滑。 而且，优选在进行上述除去加工的工序中，将围绕形成于上述玻璃基板的表面的
突起或损伤的玻璃材料一并除去。 上述粉体优选为氧化铝。 在进行上述除去加工的工序中，在通过喷射粉体除去玻璃材料的情况下，交替地 进行粉体的喷射和仅有作为用于喷射粉体的介质的空气的喷射。 优选包括在通过进行上述除去加工的工序除去玻璃材料后的部位填充透明材料 的填充工序。 优选上述玻璃基板是用于构成液晶显示面板的玻璃基板。 根据上述结构，在构成显示面板时的显示区域内也具有实施过玻璃材料的除去加
工、且维持透光性的部位，由此能够将原来形成于玻璃基板的内部缺陷、表面缺陷置换成上
述部位。由此，能够缓和由玻璃基板的内部缺陷、表面缺陷造成的显示不良。 本发明的玻璃基板是用于构成显示面板的玻璃基板，其特征在于，在构成显示面
板时的显示区域内的表面，具有被喷射粉体和流体中的至少一方而实施过玻璃材料的除去
加工、且维持透光性的部位，该部位凹陷。 此外，显示面板优选在上述凹陷填充有透明材料。 由此，能够使得凹陷不易变得明显。 此外，通过使用上述显示面板用玻璃基板构成显示面板，能够缓和在该显示面板 中由玻璃基板的内部缺陷、表面缺陷造成的显示不良。
图l(a) (c)是表示本发明的第一实施方式的研磨加工的进行状况的截面图。
图2是表示在本发明的第一实施方式中成为缺陷修正对象的玻璃基板的主要部 分的截面图。 图3是表示在本发明的第一实施方式中使用的缺陷修正装置的结构的截面图。
图4是图3所示的缺陷修正装置所具备的修正头的概略结构图。
图5(a)是表示实施上述研磨加工后的玻璃基板的主要部分的截面图。
图5(b)是表示实施上述研磨加工后的玻璃基板的主要部分的截面图。
图6(a)是表示上述研磨加工的加工面的形状的截面图。
图6(b)是表示上述研磨加工的加工面的形状的截面图。 图7是表示在通过上述研磨加工形成的凹陷填充有透明材料的状态的截面图。
图8是表示在本发明的第一实施方式中成为缺陷修正对象的其他玻璃基板的主要部分的截面图。 图9是表示在本发明的第二实施方式中成为缺陷修正对象的玻璃基板的主要部 分的截面图。 图10(a) (c)是表示本发明的第二实施方式的研磨加工的进行状况的截面图。
图11是表示在本发明的第三实施方式中成为缺陷修正对象的玻璃基板的主要部 分的截面图。 图12(a)和(b)是表示本发明的第三实施方式的研磨加工的进行状况的截面图。
图13(a)是表示本发明的实施方式中的液晶显示面板的平面图。
图13(b)是表示图13(a)所示的液晶显示面板的截面图。 图14是表示在本发明的缺陷修正方法中使用的其他的缺陷修正装置的结构的截 面图。 图15是表示在本发明的缺陷修正方法中使用的其他的修正头的概略结构图。
具体实施例方式(实施方式1) 以下，对本发明的第一实施方式进行说明。 本实施方式的缺陷修正方法，是用于构成显示面板的玻璃基板的缺陷修正方法， 成为修正对象的缺陷是形成于玻璃基板的内部缺陷。 此外，本实施方式的缺陷修正方法能够应用于用于构成液晶显示面板、等离子体 显示面板(PDP)等各种显示面板的玻璃基板。 进而，本实施方式的缺陷修正方法，能够在玻璃基板、显示面板的制造中的各种阶
段实施。例如，能够在以下阶段实施本实施方式的缺陷修正方法在玻璃制造者处从原板切
出玻璃基板后至出货为止的阶段，在显示装置的制造者处接收玻璃基板后至用于显示面板
为止的阶段、以及在对所构成的显示面板进行检查后组装成显示装置为止的阶段等各种阶
段。特别是，在玻璃制造者处从原板切出玻璃基板后至出货为止的阶段实施本实施方式的
缺陷修正方法的情况下，本实施方式的缺陷修正方法构成玻璃基板的制造方法。 以下，假定液晶显示面板用的基板为玻璃基板，并且假定对所构成的显示面板进
行检查后组装成显示装置为止的阶段为缺陷修正方法的实施阶段。此外，假设内部泡为内
部缺陷，对内部泡的修正方法进行说明。 另外，用于构成液晶显示面板的玻璃基板，由于碱金属的含有量少而熔点高，因此 易产生内部泡。从而，本实施方式的缺陷修正方法对用于构成液晶显示面板的玻璃基板特 别有效。 图2是形成有作为成为修正对象的内部缺陷的内部泡lb的玻璃基板1的截面图。
图2所示的内部泡lb的尺寸较大，且该内部泡lb的位置比较靠近玻璃基板1的 表面ls，因此在玻璃基板1的表面ls形成有突起lp。另外，内部泡lb根据其尺寸和位置 的不同，也存在不形成突起lp的情况。 内部泡lb能够以从最大直径为100 ii m以下的大小到与玻璃基板1的厚度(例如 0.7mm)相同程度的大小为止的各种大小存在。对于最大直径例如为lOOym以下的小的内 部泡lb，由于其对显示的不良影响较小，因此也可以考虑不采取特别的处理。此外，对于最大直径为例如100 300 ii m的内部泡lb，也考虑采取进行黑点化这样的处理。然而，对于 最大直径超过例如300ym的内部泡lb，能够充分降低其对显示的不良影响的有效处理，难 以考虑有除以下说明的本实施方式的缺陷修正方法之外的其他方法。 这样，本实施方式的缺陷修正方法虽然能够广泛地应对从小到大的内部泡lb，但 是对难以考虑其他有效处理的大的内部泡lb特别有效。 形成于玻璃基板1的内部泡lb导致亮点被观察到。作为其理由，虽然还不了解其 详细的机理，但是能够如以下所述那样进行考虑。 当使用形成有内部泡lb的玻璃基板1构成液晶显示面板时，由于内部泡lb周边 的玻璃(围绕部Id)产生的透镜效果、以及残留于内部泡lb的周边的玻璃中的应力导致的 偏振状态的紊乱等，使内部泡lb附近作为亮点被观察到。 因此，本实施方式的缺陷修正方法的特征在于，对作为形成于上述玻璃基板1的 内部缺陷的内部泡lb所处的部位喷射砥粒，进行从该玻璃基板1的表面Is起至少到达上 述内部泡lb地除去玻璃材料的除去加工。 此外，如图2所示，由于围绕内部泡lb的玻璃材料(以下，称为围绕部)ld可能导 致透镜效果或偏振状态的紊乱，因此优选将其与内部泡lb —起除去。 图1(a) (c)是表示利用本实施方式的缺陷修正方法进行的内部缺陷的除去工 序的图。 如图1(a)所示，对玻璃基板1的表面Is的突起lp以规定的喷射速度喷射砥粒 12a。此时，作为砥粒12a，使用粒径为800号(约0. 03mm)的氧化铝。此外，砥粒12a的喷 射速度设定为0. 2mm/s 0. 6mm/s。 进而，如图1 (b)所示，以上述的喷射速度持续喷射砥粒12a，利用砥粒12a除去突 起lp的玻璃材料，直至砥粒12a到达内部泡lb为止。然后，进一步持续喷射砥粒12a，使得 砥粒12a产生的研磨区域到达内部泡lb。在该状态下，如图1(c)所示，进一步持续喷射砥 粒12a除去内部泡lb的围绕部Id的玻璃材料，直至不会发生透镜效果或偏振状态的紊乱 的修正面le露出为止。 上述的研磨因为通过由被喷射的砥粒12a的碰撞产生的微细的脆性加工的积累 而进行加工，所以能够进行微细且高品质的加工。 这里，对用于实现本实施方式的缺陷修正方法的装置进行以下说明。
图3是用于实施本实施方式的缺陷修正方法的缺陷修正装置10的截面图。
该缺陷修正装置IO在载置台11的载置面lla上，设置有用于将作为修正对象物 的玻璃基板1在相对地面垂直的方向上固定的基板载置台13、和搭载有修正头12的头搭 载台14，该修正头12用于对固定于基板载置台13的玻璃基板1的修正部位lb喷射砥粒 12a。 上述修正头12在上述头搭载台14上以相对于地面能够在水平方向和垂直方向移 动的方式设置，砥粒12a的喷射方向相对于地面成水平的方向。 此外，修正头12具备喷射用于研磨玻璃基板1的砥粒12a的喷射喷嘴(后述)。 即，缺陷修正装置IO构成为，使修正头12向与玻璃基板1的内部泡lb相对的位置移动，在 该位置对玻璃基板1的表面Is喷射砥粒12a而进行研磨加工。 在实施本实施方式的缺陷修正方法时，例如能够按照以下的顺序进行。首先，使用基板1制作液晶显示面板。然后，从制作成的液晶显示面板的背面照射 均匀的光，并且检查是否因形成于玻璃基板1的内部泡lb而导致亮点被观察到，在观察到 亮点的情况下，确定其位置。然后，将液晶显示面板固定于缺陷修正装置10的基板载置台 13，在上述确定到的位置，进行后述的研磨加工。另外，在玻璃基板l的表面粘贴有偏振板 的情况下，在进行研磨加工之前先取下偏振板，待研磨加工结束后再重新贴上偏振板即可。
图4是上述缺陷修正装置10具备的修正头12的示意图。 如图4所示，上述修正头12构成为具有用于定量供给砥粒12a的砥粒供给喷嘴 121。 上述砥粒供给喷嘴121具有由圆筒构成且成为砥粒12a的吐出孔的圆筒前端孔 121a、成为空气的供给孔的圆筒后端孔121b、以及在上述圆筒前端孔121a和圆筒后端孔 121b之间形成的、成为砥粒12a的供给孔的砥粒供给孔121c。 上述砥粒供给喷嘴121的砥粒供给孔121c与储藏砥粒的砥粒箱122连接，圆筒后 端孔121b与高速电磁阀123连接。 在上述砥粒箱122，在与上述砥粒供给喷嘴121的连接部分设置有开闭盖(未图 示)，仅在供给砥粒12a时上述开闭盖打开。 上述高速电磁阀123具有与上述砥粒供给喷嘴121的圆筒后端孔121b连接的连 接用筒123a、和用于取入来自空气供给部(未图示)的供给用空气的空气取入口 123b， 当该高速电磁阀123为开状态时，将从空气取入口 123b取入的供给用空气供向连接用筒 123a，当该高速电磁阀123为闭状态时，停止将从空气取入口 123b取入的供给用空气供向 连接用筒123a。 因此，在上述结构的修正喷嘴12中，当上述高速电磁阀123为开状态、且砥粒箱 122的开闭盖为开状态时，利用供给空气从砥粒供给喷嘴121喷射砥粒12a。此外，当上述 高速电磁阀123为闭状态时，则不论砥粒箱122的开闭盖的开闭状态如何，均不会从砥粒供 给喷嘴121喷射砥粒12a。另外，当上述高速电磁阀123为开状态、且砥粒箱122的开闭盖 为闭状态时，能够从砥粒供给喷嘴121仅喷射不含砥粒12a的空气。 上述结构的修正头12对玻璃基板1的表面Is的突起lp，以0. 2mm/s 0. 6mm/s 的加工速度(喷射速度150 200m/s)喷射由粒度为800号的氧化铝构成的砥粒12a，除去 玻璃材料，直至到达作为内部缺陷的内部泡lb为止。 通常，当从修正头12对玻璃基板1的表面la持续喷射砥粒12a时，砥粒12a残留 在该玻璃基板1的研磨部位。在这种情况下，由于新喷射的砥粒12a与残留在研磨部位的 砥粒12a碰撞而不能直接研磨实际的研磨对象面，因此会产生研磨效率降低的问题。
于是，交替地进行砥粒12a的喷射和仅有作为用于喷射砥粒12a的介质的空气的 喷射，通过仅喷射空气，能够除去残留在研磨部位的砥粒12a。由此，能够实现研磨效率的 提高。作为该情况下的具体的方法，如上述那样，如果令高速电磁阀123为开状态、且断续 地进行砥粒箱122的开闭盖的开闭，则能够交替地喷射含有砥粒12a的空气和不含有砥粒 12a的空气。 作为上述那样的修正头12，例如能够使用仙台Nikon(株式会社仙台二 - > )制的 AJM(ABRASIVE Jet Machining)。 在本实施方式的缺陷修正方法中，可以进行至上述图l(b)的状态为止的除去加
11工，也可以进行至上述图1(c)的状态为止的除去加工。图5(a)和图5(b)分别表示各个情 况下的除去加工后的玻璃基板1的状态。 作为玻璃基板1的形状，分别由图5(a)和图5(b)表示的状态不是一定是理想的 状态，但是实际上确认对显示的影响所得到的结果是，与进行上述除去加工之前的状态相 比，内部泡lb导致的亮点变得难以被观察到。 在图5(a)所示的状态中，通过进行从玻璃基板1的表面Is直至到达内部泡lb为 止的玻璃材料的除去加工，成为将引起透镜效果或偏振状态的紊乱的内部泡lb周边的玻 璃(围绕部ld)的至少一部分(表面侧的部分)除去的状态。其结果是，减轻上述透镜效 果或偏振状态的紊乱，作为亮点难以被观察到。 此外，在图5(b)所示的状态下，通过将直至内部泡lb的侧面和背面侧的玻璃材料 (围绕部Id)除去，成为研磨至露出不会产生透镜效果或偏振状态的紊乱的修正面le的状 态。其结果是，能够进一步减轻上述透镜效果和偏振状态的紊乱。 接着，对期望的加工形状进行说明。如图6(a)所示，在形成有加工面lw的一部分 相对于表面Is垂直陡立的形状的凹陷的情况下，在与表面Is垂直的观察方向D上，由于加 工面lw的垂直部分与观察方向D —致，因此在该观察方向D上对加工面lw的显示的影响 被累积。其结果是，加工面lw易变得显眼。 与此相对，如图6(b)所示，在加工面lw并未如上述那样相对于表面ls垂直陡立， 加工面lw的任意的位置的切平面(在图6(b)中如点划线所示)相对于表面ls平行或倾 斜的情况下，在观察方向D上，不会累积对加工面lw的显示的影响，因此不易使加工面lw 变得显眼。 因此，作为加工形状，如图6(b)所示，优选加工面lw的任意位置的切平面相对于 表面Is平行或倾斜。为了获得这样的加工形状，例如根据缺陷位置改变从修正头12喷射 的砥粒12a的喷射速度即可。例如，在想要获得图6(b)所示那样的形状的凹陷的情况下， 在成为凹陷的中央的部位提高砥粒12a的喷射速度，随着从凹陷的中央朝向外侧逐渐降低 砥粒12a的喷射速度即可。 此外，如图7所示，优选在通过除去加工形成的凹陷填充透明材料2。通过在上述 凹陷填充透明材料，与该凹陷内为空的状态相比，能够使该凹陷的折射率变化变小。其结果 是，能够使上述凹陷变得不显眼。为了这样在通过除去加工形成的凹陷填充透明材料2，将 液体状的透明树脂填充于凹陷并使其固化即可。 在上述缺陷修正装置10中，作为砥粒12a，使用氧化铝，但是并非限定于此，也可 以使用碳化硅、碳化硼、氧化铈等。此外，作为砥粒12a的粒度，不限定于800号，也可以是 其他的粒度，优选用800号进行加工后再用2000号进行最后加工，根据研磨对象物变更即 可。 以上的说明，虽然以形成有作为内部缺陷的内部泡lb的玻璃基板1为修正对象， 但如图8所示，也可以以形成有作为内部缺陷的内部异物lc的玻璃基板1为修正对象。在 此情况下，也能够减轻上述的透镜效果和偏振状态的紊乱。此外，在内部异物lc由遮光性 的材料构成的情况下，如图5(b)所示那样，通过实施将内部异物lc完全地除去的加工，也 能够获得除去黑点的效果。 此外，在本实施方式中，对假设成为修正对象的缺陷为形成于玻璃基板1的内部的内部泡lb、内部异物lc的情况下的缺陷修正方法的例子进行了说明，但是，在以下的实 施方式2中，对成为修正对象的缺陷作为形成于玻璃基板的表面缺陷的突起通过研磨被除 去的例子进行说明。
(实施方式2) 以下，对本发明的第二实施方式进行说明。 本实施方式的缺陷修正方法，是用于构成显示面板的玻璃基板的缺陷修正方法，
成为修正对象的缺陷是作为形成于玻璃基板的表面缺陷的突起。如在实施方式1中所述那
样，该突起包括由于内部缺陷的存在而形成的突起，也包括与内部缺陷无关地形成的突起。 此外，本实施方式的缺陷修正方法，与实施方式1的情况相同，能够应用于用于构
成液晶显示面板、等离子体显示面板(PDP)等各种显示面板的玻璃基板。 而且，本实施方式的缺陷修正方法，与实施方式1的情况相同，能够在玻璃基板、
显示面板的制造中的各个阶段实施。 图9是形成有成为修正对象的表面缺陷即突起lp的玻璃基板1的截面图。作为 用于实施本实施方式的缺陷修正方法的装置，能够利用在实施方式1中所说明的缺陷修正 装置10。 图10(a) (c)是表示研磨加工的进行状况的图。当通过修正头12喷射砥粒12a 时，如图10(a)所示，通过被喷射的砥粒12a与玻璃基板1的突起lp抵接而开始研磨加工。 进一步持续喷射砥粒12a时，如图10(b)所示，突起lp的高度变低。进一步持续喷射砥粒 12a时，如图10(c)所示，突起lp被完全除去。 另外，在喷射砥粒12a时，通过使修正头12相对于玻璃基板的研磨面在水平方向 上摇动，能够使除去突起lp后的表面Is大致平坦。 在本实施方式的缺陷修正方法中，可以进行直至上述图10(b)的状态为止的除去 加工，也可以进行直至上述图10(c)的状态为止的除去加工。这样，利用本实施方式的缺陷 修正方法，通过除去突起lp的一部分或全部而使突起lp的高度降低，称之为突起lp的平 坦化。由此，能够使形成有突起lp的表面ls接近本来的表面形状。其结果是，能够使得难 以由于突起lp而产生亮点。 另外，也可以通过使突起lp平坦，而在形成有突起lp的部分在一定程度上(稍 微)形成凹陷。在此情况下，作为加工形状，如实施方式1中图6(b)所示的那样，优选加工 面lw的任意的位置的切平面相对于表面Is平行或倾斜。此外，如实施方式1中图7所示 那样，优选在所形成的凹陷中填充透明材料2 。 此外，作为砥粒12a，可以与上述实施方式l同样地使用粒度为800号的氧化铝、并 以0. 2mm/s 0. 6mm/s的加工速度(喷射速度150 200m/s)喷射，也可以根据需要变更 砥粒12a的材料、粒度、喷射速度。 如上所述，在本实施方式2中，将成为玻璃基板1的修正对象的缺陷作为突起lp，
但是，在以下的实施方式3中，以成为玻璃基板1的修正对象的缺陷为表面的损伤的情况为
例进行说明。(实施方式3) 以下，对本发明的第三实施方式进行如下说明。 本实施方式的缺陷修正方法，是用于构成显示面板的玻璃基板的缺陷修正方法，
13成为修正对象的缺陷是作为形成于玻璃基板的表面缺陷的损伤。 此外，本实施方式的缺陷修正方法，与实施方式1的情况相同，能够应用于用于构
成液晶显示面板、等离子体显示面板(PDP)等各种显示面板的玻璃基板。 而且，本实施方式的缺陷修正方法，与实施方式1的情况相同，能够在玻璃基板、
显示面板的制造中的各个阶段实施。 图11是形成有成为修正对象的表面缺陷即损伤lv的玻璃基板1的截面图。作为 用于实施本实施方式的缺陷修正方法的装置，能够利用在实施方式1中所说明过的缺陷修 正装置10。 图12 (a) (b)是表示研磨加工的进行状况的图。当通过修正头12喷射砥粒12a 时，如图12(a)所示，通过被喷射的砥粒12a与玻璃基板1的表面ls抵接而开始研磨加工。 然后通过使修正头12在水平方向上摇动且同时喷射砥粒12a，如图12 (b)所示，能够使由损 伤lv形成的表面相对于玻璃基板1的本来的表面Is形成的角度较小。
这样，利用本实施方式的缺陷修正方法，使相对于玻璃基板1的本来的表面ls，通 过损伤lv形成的表面所形成的角度较小，称之为损伤lv的平滑化。由此，能够使形成有损 伤lv的表面ls接近本来的表面形状。其结果是，能够使得难以由于损伤lv而产生亮点。
另外，作为通过使损伤lv平滑而形成的凹陷的加工形状，如实施方式1中图6(b) 所示那样，优选加工面lw的任意的位置的切平面相对于表面ls平行或倾斜。此外，如实施 方式1中图7所示那样，优选在所形成的凹陷中填充透明材料2。 以上，作为使用实施方式1 3中所述的玻璃基板1构成的显示面板的液晶显示 面板20由图13(a)、图13(b)表示。 液晶显示面板20以以下方式构成使2个玻璃基板1、1隔开规定间隔地相互对 置，在相互之间夹持有液晶21的状态下密封周围。另外，虽然未图示，但是在玻璃基板1、1 的外侧表面粘贴有偏振板等。 在玻璃基板1、1，在液晶显示面板20的显示区域20a内的表面具有实施过实施方 式1 3中所述的玻璃材料的除去加工的加工面lw。另外，既可以是玻璃基板1、1双方均 具有该加工面lw，也可以是任一方具有该加工面lw。此外，优选在加工面lw填充有透明材 料。 在该液晶显示面板20中，对原本形成于玻璃基板1、1的内部缺陷或表面缺陷实施 在实施方式1 3中所述的玻璃材料的除去加工后的结果是，降低了对显示的不良影响，能 够使在以往不得不作为不合格品处理的液晶显示面板20成为合格品。
另外，在上述各实施方式中，对通过空气喷射作为粉体的砥粒而研磨修正对象物 的例子进行了说明，但是，除粉体以外，也能够通过喷射流体即水而研磨修正对象物。在此 情况下，作为修正头12，变更成喷射水的头即可。 此外，在上述的各实施方式中，对缺陷修正装置10的例子进行了说明，该缺陷修 正装置10如图3所示那样设置有修正头12，使得砥粒12a的喷射方向相对于地面为水平方 向，但是并不限定于该例子，也能够使用如图14所示那样以使得砥粒12a的喷射方向相对 于地面为垂直方向的方式设置有修正头12的缺陷修正装置110。 该缺陷修正装置110包括具有用于载置玻璃基板1的载置面llla的框体111、 和从框体111的顶部悬吊且能够在水平方向和垂直方向上移动的修正头12。
上述缺陷修正装置10使修正头12向玻璃基板1的内部泡lb的上方移动，在其位 置对玻璃基板1的表面Is喷射砥粒12a进行研磨加工。 此外，在上述的修正头12中，如图4所示那样，由于仅供给供给用空气，因此虽然 供给用空气的供给控制保持不变，而进行砥粒12a的喷射、停止的控制，但是为了仅喷射不 含砥粒12a的空气，需要控制砥粒箱122的开闭盖的开闭。 于是，图15表示不进行砥粒箱122的开闭盖的开闭控制就能够仅喷射不含有砥粒 12a的空气的修正头。 图15所示的修正头112在图4所示的修正头12上增加了加速喷嘴124，使得修正 头112不仅能够供给供给用空气外，还能够供给加速空气。其他的结构要素与图4所示的 修正头12相同。 如图15所示，上述修正头112构成为新追加有使通过砥粒供给喷嘴121供给的砥 粒12a加速并进行喷射的加速喷嘴124。 上述加速喷嘴124具有将砥粒12a向外部喷射的喷射孔124a、用于供给加速用 空气而使砥粒12a加速地从上述喷射孔124a喷射的空气供给孔124b、以及在上述喷射孔 124a和空气供给孔124b之间形成的、将砥粒12a和加速空气混合后导向上述喷射孔124a 的混合室124c。 上述砥粒供给喷嘴121的圆筒前端孔121a以向上述加速喷嘴124的混合室124c 突出的状态配置。 因此，在上述结构的修正头112中，当上述高速电磁阀123为开状态时，利用供给 空气将砥粒12a从砥粒供给喷嘴121供向加速喷嘴124，这里，利用从空气供给孔124b取入 的加速空气，从喷射孔124a喷射含有砥粒12a的空气。此外，当上述高速电磁阀123为闭 状态时，因为不向砥粒供给喷嘴121供给供给空气，所以砥粒12a不被供向加速喷嘴124。 因此，从加速喷嘴124的喷射孔124a仅喷射不含砥粒12a的空气。 另外，当令加速空气的压力为P1、供给空气的压力为P2时，调整各空气供给，使得 PI < P2的关系成立。由此，砥粒供给喷嘴121内的砥粒12a必定被供向加速喷嘴124，不 会产生逆流。 通常，当从修正头112对玻璃基板1的表面la持续喷射砥粒12a时，在该玻璃基 板1的研磨部位会残留砥粒12a。在这种情况下，新喷射的砥粒12a与残留于研磨部位的砥 粒12a碰撞，不能够直接研磨实际的研磨对象面，因此产生研磨效率降低的问题。
于是，通过向修正头112的高速电磁阀124供给脉冲状的驱动信号，将从空气取入 口 123b取入的空气断续地供向上述连接用筒123a，断续地从砥粒供给喷嘴121向加速喷嘴 124供给砥粒12a，交替地进行砥粒12a的喷射、和仅有作为用于喷射砥粒12a的介质的空 气的喷射，由此，通过仅有空气的喷射，能够除去残留于研磨部位的砥粒12a。由此，能够实 现研磨效率的提高。 另外，如图15所示的修正头112，与图4所示的修正头12同样地能够搭载于图3 所示的缺陷修正装置10、图14所示的缺陷修正装置110中的任一个。 本发明并不限定于上述的各实施方式，能够在权利要求表示的范围中进行各种变 更，将不同的实施方式分别公开的技术手段适当地组合而得到的实施方式，也包含于本发 明的技术范围中。
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产业上的可利用性 本发明能够适用于液晶显示面板、等离子体显示器面板(PDP)等平板显示器用面 板。
权利要求
一种缺陷修正方法，其是用于构成显示面板的玻璃基板的缺陷修正方法，该缺陷修正方法的特征在于对形成于所述玻璃基板的修正对象缺陷所处的部位，喷射粉体和流体中的至少一方，进行从该玻璃基板至少将包含所述修正对象缺陷的区域的玻璃材料除去的除去加工。
2. 如权利要求l所述的缺陷修正方法，其特征在于在所述修正对象缺陷是形成于所述玻璃基板的内部的内部缺陷的情况下， 在所述除去加工中，对形成于所述玻璃基板的内部缺陷所处的部位喷射粉体和流体中 的至少一方，从该玻璃基板的表面至少到达所述内部缺陷地除去玻璃材料。
3. 如权利要求2所述的缺陷修正方法，其特征在于 在所述除去加工中，将围绕所述内部缺陷的玻璃材料一并除去。
4. 如权利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于 所述内部缺陷是内部泡。
5. 如权利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于 在所述修正对象缺陷是形成于所述玻璃基板的表面的突起的情况下，在所述除去加工中，对形成于所述玻璃基板的表面的突起所处的部位喷射粉体和流体 中的至少一方，除去玻璃材料，使得该玻璃基板的表面平坦。
6. 如权利要求l所述的缺陷修正方法，其特征在于 在所述修正对象缺陷是形成于所述玻璃基板的表面的损伤的情况下，在所述除去加工中，对形成于所述玻璃基板的表面的损伤所处的部位喷射粉体和流体 中的至少一方，除去玻璃材料，使得由该玻璃基板的损伤形成的表面平滑。
7. 如权利要求5所述的缺陷修正方法，其特征在于在所述除去加工中，将围绕形成于所述玻璃基板的表面的突起或损伤的玻璃材料一并 除去。
8. 如权利要求l所述的缺陷修正方法，其特征在于 所述粉体是氧化铝。
9. 如权利要求l所述的缺陷修正方法，其特征在于在所述除去加工中，在通过喷射粉体除去玻璃材料的情况下，交替地进行粉体的喷射、 和仅有作为用于喷射粉体的介质的空气的喷射。
10. 如权利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于 在通过所述除去加工除去玻璃材料后的部位填充透明材料。
11. 如权利要求1所述的缺陷修正方法，其特征在于 所述玻璃基板是用于构成液晶显示面板的玻璃基板。
12. —种玻璃基板的制造方法，其是用于构成显示面板的玻璃基板的制造方法，该玻璃 基板的制造方法的特征在于，包括对形成于所述玻璃基板的修正对象缺陷所处的部位喷射粉体和流体中的至少一方，进 行从该玻璃基板至少将包含所述修正对象缺陷的区域的玻璃材料除去的除去加工的工序。
13. 如权利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 在所述修正对象缺陷是形成于所述玻璃基板的内部的内部缺陷的情况下， 在进行所述除去加工的工序中，对形成于所述玻璃基板的内部缺陷所处的部位喷射粉体和流体中的至少一方，从该玻璃基板的表面至少到达所述内部缺陷地除去玻璃材料。
14. 如权利要求13所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 在进行所述除去加工的工序中，将围绕所述内部缺陷的玻璃材料一并除去。
15. 如权利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 所述内部缺陷是内部泡。
16. 如权利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 在所述修正对象缺陷是形成于所述玻璃基板的表面的突起的情况下，在进行所述除去加工的工序中，对形成于所述玻璃基板的表面的突起所处的部位喷射 粉体和流体中的至少一方，除去玻璃材料，使得该玻璃基板的表面平坦。
17. 如权利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于 在所述修正对象缺陷是形成于所述玻璃基板的表面的损伤的情况下，在进行所述除去加工的工序中，对形成于所述玻璃基板的表面的损伤所处的部位喷射 粉体和流体中的至少一方，除去玻璃材料，使得由该玻璃基板的损伤形成的表面平滑。
18. 如权利要求16所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于在进行所述除去加工的工序中，将围绕形成于所述玻璃基板的表面的突起或损伤的玻 璃材料一并除去。
19. 如权利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于所述粉体是氧化铝。
20. 如权利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于在进行所述除去加工的工序中，在通过喷射粉体除去玻璃材料的情况下，交替地进行 粉体的喷射、和仅有作为用于喷射粉体的介质的空气的喷射。
21. 如权利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括在通过进行所述除去加工的工序除去玻璃材料后的部位填充透明材料的填充工序。
22. 如权利要求12所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于所述玻璃基板是用于构成液晶显示面板的玻璃基板。
23. —种显示面板用玻璃基板，其是用于构成显示面板的玻璃基板，该显示面板用玻璃基板的特征在于在构成显示面板时的显示区域内的表面，具有被喷射粉体和流体中的至少一方而实施 过玻璃材料的除去加工、且维持透光性的部位，该部位凹陷。
24. 如权利要求23所述的显示用玻璃基板，其特征在于在显示面板的所述凹陷填充有透明材料。
25. —种显示面板，其是使用显示用玻璃基板构成的显示面板，该显示面板的特征在于所述显示用玻璃基板，在构成所述显示面板时的显示区域内的表面具有被喷射粉体和 流体中的至少一方而实施过玻璃材料的除去加工、且维持透光性的部位，该部位凹陷。
26. 如权利要求25所述的显示面板，其特征在于 在所述显示用玻璃基板的所述凹陷填充有透明材料。
全文摘要
本发明提供一种玻璃基板的缺陷修正方法、玻璃基板的制造方法、显示面板用玻璃基板和显示面板。本发明的玻璃基板的缺陷修正方法，对形成于玻璃基板(1)的内部泡(1b)所处的位置的突起(1p)喷射由氧化铝构成的砥粒(12a)，进行从该玻璃基板(1)至少除去包含上述内部泡(1b)的区域的玻璃材料的除去加工，由此，能够消除对玻璃基板(1)造成损伤的问题，完全地修正玻璃基板(1)的内部泡(1b)。
文档编号H01J11/22GK101765568SQ20088010052
公开日2010年6月30日 申请日期2008年7月11日 优先权日2007年10月1日
发明者吉泽武德, 水上惠文, 涩谷寿彦 申请人:夏普株式会社