一种电绝缘结构的电极的制作方法
【专利摘要】本实用新型属于一种辉光放电电极，具体涉及一种改进型电绝缘结构的电极，可应用于大中小型的聚变装置中的辉光放电清洗。它包括防再沉积支撑块、电极头，通过螺栓与螺母将防再沉积支撑块、电极头、第一绝缘陶瓷组件和第三绝缘陶瓷组件连接在一起，蝶形垫圈放置在第一绝缘陶瓷组件和第三绝缘陶瓷组件，第二绝缘陶瓷组件安装在第一绝缘陶瓷组件上，电极头盖板点焊在电极头表面，真空室固定螺栓将电极支撑在真空室内。本实用新型的优点是：1、减少溅射出的杂质粒子沉积在电极各表面；2、提高电极与真空室之间的绝缘性能；3、系统结构简单、安装及拆卸方便等。
【专利说明】一种电绝缘结构的电极
【技术领域】
[0001]本发明属于一种辉光放电电极,具体涉及一种改进型电绝缘的电极，可应用于大中小型的聚变装置中的辉光放电清洗。
【背景技术】
[0002]在聚变领域中，辉光放电清洗，因其操作简单、能耗小，并能有效地降低氢浓度和部分碳氧杂质，而被各装置广泛应用。在辉光放电期间，电极作为阳极，真空室作为阴极，利用阴极鞘层加速下的正离子轰击真空室器壁，将吸附在器壁上的杂质粒子轰击出来，再由真空抽气系统抽出装置，达到器壁清洗、锻炼的目的。但在辉光期间，溅射出的杂质粒子出来后可能会再沉积在电极各表面，如积累过多可影响电极与真空室之间的绝缘性能。本发明就是针对减少杂质粒子再沉积在电极各表面，提出一种改进型电绝缘的电极。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种电绝缘结构的电极，它能够减少杂质粒子再沉积在电极各表面，提高电极与真空室之间的绝缘性能。
[0004]本发明是这样实现的，一种电绝缘结构的电极，它包括防再沉积支撑块、电极头，通过螺栓与螺母将防再沉积支撑块、电极头、第一绝缘陶瓷组件和第三绝缘陶瓷组件连接在一起，蝶形垫圈放置在第一绝缘陶瓷组件和第三绝缘陶瓷组件，第二绝缘陶瓷组件安装在第一绝缘陶瓷组件上，电极头盖板点焊在电极头表面，真空室固定螺栓将电极支撑在真
空室内。
[0005]所述的再沉积支撑块与电极头四周有5mm的间隙，在其内凹槽下平面有一定连续弧度的倾斜面，与电极头下表面部分接触面形成最大梯度1.5mm间隙。
[0006]所述的整个防再沉积支撑块内凹槽表面涂有第二绝缘陶瓷涂层和电极头四周及下表面均匀喷有第一绝缘陶瓷涂层。
[0007]本发明的优点是，1、减少溅射出的杂质粒子沉积在电极各表面；2、提高电极与真空室之间的绝缘性能；3、系统结构简单、安装及拆卸方便等。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1是为本发明所提供的一种电绝缘的电极结构示意图。
[0009]其中:1防再沉积支撑块；2电极头，3第一绝缘陶瓷组件，4第二绝缘陶瓷组件，5螺栓，6蝶形垫圈，7电极头盖板，8第一绝缘陶瓷涂层，9第二绝缘陶瓷涂层，10第三绝缘陶瓷组件，11螺母，12真空室固定螺栓。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图和实施例对本发明进行详细介绍:
[0011]如图1所示，一种用于辉光放电电极的电绝缘结构的电极包括防再沉积支撑块1，电极头2，绝缘陶瓷组件3、4、10，蝶形垫圈6，螺栓5，电极头盖板7，绝缘陶瓷涂层8、9，螺母11，真空室固定螺栓12。
[0012]通过螺栓5与螺母11将防再沉积支撑块1、电极头2、第一绝缘陶瓷组件3和第三绝缘陶瓷组件10连接在一起，蝶形垫圈6放置在第一绝缘陶瓷组件3和第三绝缘陶瓷组件10，第二绝缘陶瓷组件4安装在第一绝缘陶瓷组件3上，电极头盖板7点焊在电极头2表面，真空室固定螺栓12将电极支撑在真空室内。
[0013]再沉积支撑块I与电极头2四周有5_的间隙，在其内凹槽下平面做有一定连续弧度的倾斜面，与电极头下表面部分接触面形成最大梯度1.5mm间隙，整个防再沉积支撑块I内凹槽表面涂有第二绝缘陶瓷涂层9和电极头2四周及下表面均匀喷有第一绝缘陶瓷涂层8。当辉光放电期间，轰击出来的大量杂质粒子只有少部分能通过5_的间隙进入防再沉积支撑块I与电极头2四周，大部分杂质粒子通过真空抽气系统抽出真空室。由于防再沉积支撑块I凹槽上表面与电极头2下表面形成最大梯度1.5mm间隙，最终大部分会沉积在防再沉积支撑块I凹槽上平面，这样能有效减少溅射出的杂质粒子沉积在电极头2各表面，提高电极与真空室之间的绝缘性能。
【权利要求】
1.一种电绝缘结构的电极，它包括防再沉积支撑块(I)、电极头(2)，其特征在于:通过螺栓(5)与螺母(11)将防再沉积支撑块(I)、电极头(2)、第一绝缘陶瓷组件(3)和第三绝缘陶瓷组件(10)连接在一起，蝶形垫圈(6)放置在第一绝缘陶瓷组件(3)和第三绝缘陶瓷组件(10)，第二绝缘陶瓷组件(4)安装在第一绝缘陶瓷组件(3)上，电极头盖板(7)点焊在电极头(2 )表面，真空室固定螺栓(12 )将电极支撑在真空室内。
2.如权利要求1所述的一种电绝缘结构的电极，其特征在于:所述的再沉积支撑块(I)与电极头(2)四周有5mm的间隙，在其内凹槽下平面有一定连续弧度的倾斜面，与电极头(2)下表面部分接触面形成最大梯度1.5mm间隙。
3.如权利要求1所述的一种电绝缘结构的电极，其特征在于:所述的整个防再沉积支撑块(I)内凹槽表面涂有第二绝缘陶瓷涂层(9)和电极头(2)四周及下表面均匀喷有第一绝缘陶瓷涂层(8)。
【文档编号】H01J17/04GK203573941SQ201320750524
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2013年11月22日 优先权日:2013年11月22日
【发明者】徐红兵, 王明旭, 王银翘, 蔡立君, 林涛, 卢勇, 韩伟 申请人:核工业西南物理研究院