电极结构及oled显示器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种电极结构及OLED显示器。
【背景技术】
[0002]有源矩阵有机发光显不器件(ActiveMatrix Organic Light Emitting D1de,AMOLED)阳极金属结构例如氧化铟锡(ITO)形成的透明导电膜，兼顾了薄膜的透明度和电性，在光电产业的应用非常成功。然而铟锡氧化物中的铟属于稀有金属，被大量使用之后，容易发生原料短缺、价格上涨的缺点。目前较普遍使用的AMOLED阳极金属结构为ITO-Ag-1TO 薄膜。
[0003]如图1所示，传统的ITO-Ag-1TO薄膜包括第一 ITO层11、形成于第一 ITO层11上的Ag层12和形成于Ag层12上的第二 ITO层13。该ITO-Ag-1TO薄膜具有优异的透明度和导电性，其导电性较单层ITO提升一个级数，而透光度仅有些微的下降。然而，纯银薄膜稳定性差，在高于200°C的温度进行镀膜时，银薄膜具有粗糙表面，导致ITO-Ag-1TO薄膜的导电性以及透光性下降。并且，由耐候性测试结果发现，经环境湿度长时间作用，纵然有外层ITO的保护，银原子仍会发生界面迁移，导致银薄膜聚结，同时，最外层ITO会有脱层、破裂、剥落等现象。这此缺陷会对光造成散射，因此以肉眼或光学显微镜观察ITO-Ag-1T薄膜，会发现模糊白点。
[0004]在所述【背景技术】部分公开的上述信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
【发明内容】
[0005]本发明公开一种成本低、且外层不易剥落的电极结构。
[0006]本发明还公开一种设有本发明电极结构的OLED显示器。
[0007]本发明的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本发明的实践而习得。
[0008]根据本发明的一个方面，本发明提供一种电极结构，包括第一电极层、第二电极层和第三电极层。其中，第一电极层包括钛层、钛合金层、锆层和锆合金层中的至少一层；第二电极层形成于第一电极层上；第三电极层形成于第二电极层上，该第三电极层包括钛层、钛合金层、锆层和锆合金层中的至少一层。
[0009]根据本发明的一实施方式，所述第一电极层和所述第三电极层材质相同。
[0010]根据本发明的一实施方式，所述第一电极层和所述第三电极层均为钛层；或者所述第一电极层和所述第三电极层均为锆层。
[0011]根据本发明的一实施方式，所述锆合金层选自钒锆合金层、锆镍合金层、铝锆合金层、镁锆合金层、硅锆合金层中的至少一层。
[0012]根据本发明的一实施方式，所述钛合金层选自钛铝钒合金层、钛铝锡合金层、钛铝锆合金层、钛钥合金层、钛钥镍合金层、钛钯合金层中的至少一层。
[0013]根据本发明的一实施方式，所述第一电极层的厚度与第三电极层的厚度之和不小于所述电极结构总厚度的80%。
[0014]根据本发明的一实施方式，所述第一电极层的厚度为10?10nm ;所述第二电极层的厚度为2?20nm ;第三电极层的厚度为10?lOOnm。
[0015]根据本发明的一实施方式，所述第二电极层为银层或银合金层。
[0016]根据本发明的一实施方式，所述的电极结构用作有机发光二极管的阳极。
[0017]根据本发明的另一方面，本发明提供一种OLED显示器，包括基板、上电极、有机层和下电极。上电极位于所述基板上；有机层，位于所述上电极上；下电极，位于所述有机层上；所述上电极或下电极用作阳极，所述阳极是本发明所述的电极结构。
[0018]由上述技术方案可知，本发明的优点和积极效果在于:本发明中，第一电极层和第三电极层包括钛层、钛合金层、锆层和锆合金层中的至少一层。即本发明中，用钛层、钛合金层、锆层或锆合金层代替了传统的ITO层，节省了大量的稀有金属铟，有利于降低有机发光显示器件的制造成本。同时由于钛、钛合金、锆或锆合金具有优良的耐蚀性能，因此第一电极层和第三电极层不易发生脱层、破裂、剥落等现象，进而减少光散射。
【附图说明】
[0019]通过参照附图详细描述其示例实施方式，本发明的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
[0020]图1示出传统电极结构的结构示意图。
[0021]图2示出本发明电极结构第一实施方式的结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。
[0023]以下所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本发明的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组件、材质等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材质或者操作以避免模糊本发明的各方面。
[0024]电极结构实施方式I
[0025]参见图2。本发明电极结构第一实施方式包括第一电极层21、第二电极层22和第三电极层23。
[0026]第一电极层21为钛(Ti)层，厚度为60nm(纳米)。
[0027]第二电极层22为银合金(Ag alloy)层，例如银钌合金、银钯合金、银钙合金、银钒合金或银铌合金等。第二电极层22厚度为10nm，第二电极层22可通过蒸镀、沉积或溅射工艺形成于第一电极层21上。当然第二电极层22也可以为银层。
[0028]第二电极层22还可以是在由银或银合金形成的基质中分散由铝、镁、锡、锌、铟、钛、锆、锰、氧化物、复合氧化物、氮氧化物、碳化物、硫化物、氯化物、硅化物、氟化物、硼化物、氢化物、磷化物、硒化物、碲化物中的至少一种形成的化合物相而成的第二电极层22。上述8种金属的化合物形成相分散于由银或银合金形成的基质中，构成基质的银原子的迁移受到阻碍，可以维持第二电极层薄膜的平面性。借此，即使薄膜受热，反射率的下降也得到抑制。
[0029]第三电极层23为钛层，厚度为60nm。第三电极层23可通过蒸镀、沉积或溅射工艺形成于第二电极层22上。
[0030]以上实施方式中，第一电极层21的厚度一般来说在10?10nm范围内均是可行的；第二电极层22的厚度一般来说在2?20nm范围内均是可行的；第三电极层23的厚度一般来说在10?10nm范围内均是可行的。较佳地，第一电极层21的厚度与第三电极层23的厚度之和等于或大于电极结构总厚度的80%。
[0031]该实施方式的电极结构为T1-Ag alloy-Ti电极结构。银合金相比于纯银来说，银原子较不易迁移；钛金属重量轻、强度高，并具有良好的耐高温、耐低温、抗强酸、抗强碱等特点，对中间的银合金层起到良好的保护作用。因此，该第一实施方式的电极结构能明显减少电极结构脱层、破裂、剥落等缺陷；同时由于第一电极层21、第三电极层23避免使用稀有金属铟，因而降低了制造成本。