专利名称：薄膜型光源的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种无机及有机的薄膜型光源，主要用于大面积的标志字牌及屏幕显示等特殊照明领域。
目前，光源已成为人们生活中不可缺少的组成部分。虽然应用广泛，品种繁杂，但一般都属于点光源或线光源，它们都存在着结构复杂，体积庞大，表面亮度不均匀，并且伴随着大量的辐射热等弊病。
鉴于上述已有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种薄膜型光源，并且提出了用于实施这种光源的一整套工艺方法。
为了进一步说明本实用新型，现以附图
的方式加以阐述，该图为实施本实用新型薄膜型光源的结构示意图。
以下结合附图，对本实用新型的薄膜型光源的结构作详细说明本实用新型的薄膜型光源，由基板及多层薄膜组成，其特征在于，基板1上有导电层3，导电层3上有反射层4，反射层4上有发光层5，发光层5上有透明导电层6，透明导电层6上透明保护层7，在导电层3和透明导电层6上分别焊有电极2及电极8，由电极2及电极8分别引线接至市电电源9。
反射层4是由TiO2薄膜构成，膜厚为200-1000埃。
发光层5是由ZnS薄膜构成，调节膜厚，可获得不同颜色的亮光。
其中小于150埃时为白色光；160-180埃为黄色光； 210-240埃为红色光；250-320埃为兰色光； 420-500埃为绿色光。
导电层3和透明导电层6是由In2O3薄膜构成，其工作温度为100-300℃，电阻为300-500Ω／cm。
透明保护层7是由透明有机硅薄膜构成，膜厚为100um。
现将制作要领通过实例说明如下实施例1制备一种以玻璃为基板的绿色薄膜型光源，可按下述规范实施(1)严格清洗工件。
(2)采用离子镀设备，在真空度为5×10-3Pa时，镀制In2O3透明导电膜，施镀时间为3分钟。
(3)启动Ti靶，反应溅射制备TiO2薄膜，控制其膜厚为500埃。
(4)启动ZnS靶，当工件呈土黄色时，即停止溅射。
(5)启动铟锡靶，工作温度为300℃，时间为3分钟。
(6)制作电极。
(7)喷涂有机硅保护膜。
(8)测试合格，即成为发光均匀的绿色薄膜型光源。实施例2制备一种以搪瓷为基板的红色薄膜型光源，可按下述规范实施(1)严格清洗工件。
(2)在搪瓷正面直接溅射TiO2薄膜，控制膜厚为200埃。
(3)溅射ZnS薄膜，在工件呈悦目的紫红色时停止溅射。
(4)镀制In2O3透明导电膜，工作温度为300℃，时间为3分钟。
(5)以搪瓷中铁板为一极，透明导电膜为另一极，制作电极。
(6)喷涂有机硅保护膜。
(7)测试合格，即成为发光均匀的红色薄膜型光源。实施例3制备一种以塑料为基板的兰色薄膜型光源，可按下述规范实施(1)严格清洗工件。
(2)制备In2O3导电层，其工作温度不应高于100℃，施镀时间为3分钟。
(3)制备TiO2反射层，控制膜厚为500埃。
(4)制备ZnS发光层，当工件呈银灰色时，停止溅射。
(5)制备In2O3透明导电层，其工作温度不应高于100℃，施镀时间为3分钟。
(6)制作电极。
(7)测试合格，即成为发光均匀的兰色薄膜型光源。
本实用新型与现有技术相比，具有结构简单，体积小而薄，发光面积大发光均匀，无热效应的特点，摆脱了点状光源或线状光源所受到的限制，从而为复杂形状的光源制造带来了方便；同时，比等离子体光源的耗电省，比液晶显示器件的响应速度快、显示精度高。因此，本实用新型更适于在大屏幕显示领域中使用。此外，本实用新型的基板材质适用范围广泛，不仅可用玻璃、陶磁、搪瓷等无机材料，也可采用塑料、玻璃钢等有机材料。
权利要求1．本实用新型的薄膜型光源，由基板及多层薄膜组成，其特征在于，基板1上有导电层3，导电层3上有反射层4，反射层4上有发光层5，发光层5上有透明导电层6，透明导电层6上透明保护层7，在导电层3和透明导电层6上分别焊有电极2及电极8，由电极2及电极8分别引线接至市电电源9。
2．按照权利要求1所述的薄膜型光源，其特征在于反射层4是由TiO2薄膜构成，膜厚为200-1000埃。
3．按照权利要求1所述的薄膜型光源，其特征在于发光层5是由ZnS薄膜构成，调节膜厚，可获得不同颜色的亮光。其中小于150埃时为白色光；160-180埃为黄色光； 210-240埃为红色光；250-320埃为兰色光； 420-500埃为绿色光。
4．按照权利要求1所述的薄膜型光源，其特征在于导电层3和透明导电层6是由In2O3薄膜构成，其工作温度为100-300℃，电阻为300-500Ω／cm。
5．按照权利要求1所述的薄膜型光源，其特征在于透明保护层7是由透明有机硅薄膜构成，膜厚为100um。
专利摘要本实用新型涉及无机及有机的薄膜型光源,它由基板及多层薄膜组成,其中包括导电层、反射层、发光层、透明导电层及透明保护层。通过控制发光层的膜厚,能在需要的部位上产生不同颜色的均匀亮光。可用于标志字牌和屏幕显示领域。
文档编号F21K2/08GK2306386SQ97201208
公开日1999年2月3日 申请日期1997年2月5日 优先权日1997年2月5日
发明者赵振寰 申请人:赵振寰