液冷式照光装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种液冷式照光装置，特别是指一种适用于曝光机等生产设备的液冷式照光装置。
【背景技术】
[0002]紫外线可应用于平面显示器(FPD)产业，例如以曝光机的紫外光发光装置将被曝物图案化或固化等技术。现有的曝光机的照光装置包含数条紧密排列的灯管，紧密排列的灯管的主要优点在于能集中光源以确保没有暗带形成。但紧密排列的灯管使个别灯管产生的热能不易散逸，而且，多个与所述灯管相连接的安定器也会产生热能，使热积聚的现象加剧，而导致灯管加速衰减及老化，削弱照射强度，因而必须拉长曝光时间，甚而中断曝光制程，皆会大幅降低生产效率，极不符合经济效益的要求。为解决温度过高的问题，现有的照光装置多采用气冷式的散热系统(例如送风机及抽风机)，借由不间断的气流引导灯管产生的热能散失到外界环境中，然而，相较于该送风机以及抽风机附近的气流流速，位于所述灯管附近的气流的流速较为缓慢，且灯管产生热能相当大，只依赖气冷式的散热装置效率不高，无法有效地降低灯管的温度。再者，一般而言，所述安定器产生的热能亦须配置额外的散热装置，使得现有的照光装置须预留一额外的空间以容置上述中为了所述安定器产生的热能而配置的散热装置。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种具有较佳散热效果并能减少整体体积的液冷式照光装置。
[0004]本实用新型一种液冷式照光装置，一种液冷式照光装置，包含:一个灯框组件；多个发光元件，装设于该灯框组件；一个液冷式散热单元，与该灯框组件相连接且位于所述发光元件上方；及多个电子元件，与所述发光元件电连接且设置于该液冷式散热单元的上方。
[0005]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，所述电子元件为安定器。
[0006]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，该灯框组件包括至少一个漏液盛盘，该漏液盛盘位于该液冷式散热单元的下方。
[0007]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，该液冷式散热单元包括多个并排的导管及多个将所述导管连通的连通管，所述导管概呈直线型，所述连通管概呈U型且每一连通管的两端分别连接与其相邻的两个导管。
[0008]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，该灯框组件包括多个漏液盛盘，所述漏液盛盘分别位于所述导管与所述连通管相互连接处的下方。
[0009]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，该漏液盛盘具有一个设置于该漏液盛盘且用于感测液滴的感测单元。
[0010]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，该灯框组件包括一个灯框主体及多个滚轮，所述滚轮装设于该灯框主体以供移动该液冷式照光装置。
[0011]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，该灯框组件包括一概呈矩形的灯框主体、多个第一滚轮及一个把手，所述第一滚轮分别自该灯框主体的两长边向外凸设，且所述第一滚轮的转轴与一个第一方向平行，该把手位于该灯框组件的两短边其中一者Ο
[0012]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，该灯框组件还包括多个第二滚轮，所述第二滚轮自该灯框主体的两长边向外凸设，且所述第二滚轮的转轴与一个第二方向平行，该第二方向与该第一方向相互垂直。
[0013]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，各该电子元件设置于相邻的该导管的顶面。
[0014]本实用新型所述液冷式照光装置，在一些实施态样中，该液冷式照光装置还包含一减光板，该减光板与该灯框组件相连接并位于所述发光元件下方。
[0015]本实用新型的有益效果在于:液冷式散热单元能提供较气冷式散热系统更好的散热效果，并能同时将为灯管的发光元件以及为安定器的电子元件产生的热引导至外界空气中，不须预留一额外的空间以容置为了所述安定器而配置的散热装置，能减少整体体积。另夕卜，借由该漏液盛盘以及该感测装置的设置，能有效地防止自该液冷式散热单元漏出的冷却液体向下滴落至曝光机内部，而减少故障的发生。
【附图说明】
[0016]图1是一分解图，说明本实用新型液冷式照光装置的一个实施例；
[0017]图2是一立体分解图，说明该实施例；
[0018]图3是一透视图，说明该较佳实施例的液冷式散热单元；
[0019]图4是一侧视图，说明该实施例更具有减光板及上盖板；及
[0020]图5是一立体图，说明图4的实施例。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。
[0022]参阅图1与图2，本实用新型液冷式照光装置的一个实施例包含一灯框组件1、多个发光元件2、一个液冷式散热单元3、多个电子元件4及一个灯框底板5。
[0023]参阅图3，该灯框组件1包括一个灯框主体10、两个漏液盛盘11、多个滚轮12及一个把手13。在本实施例中，该灯框主体10概呈一矩形，所述漏液盛盘11位于该液冷式散热单元3下方且设置于该灯框主体10邻近两短边处。所述漏液盛盘11用以盛接自该液冷式散热单元3外漏而向下滴落的冷却液滴。每一个漏液盛盘11的顶面设置有一感测单元111，用以侦测滴落于置所述漏液盛盘11的液滴，并且发出警示，通知制程人员进一步处理液冷式散热单元3漏液的状况，以避免该漏液浸入发光元件2中而引起发光元件2或机台中其他的构件的锈蚀、故障或漏电等损害，并且降低该漏液造成曝光制程的延宕的可能。在本实施例中，所述漏液盛盘11的数目为两个，但不限于此，在其他实施态样中，该漏液盛盘11的数目也可为一个或者其他的数量，而且漏液盛盘11的放置位置也不限于上述技术揭示内容，应视该液冷式散热单元3的结构而调整。在本实施例中，设置于所述漏液盛盘11顶面的感测单元111为一用以感测液滴的电路，透过液滴触发该电路，将产生的讯号(例如电路自身电阻因液滴而产生的变化)传递至用以通报的警示器(图未示)。在其他的实施态样中，该感测单元也可为侦测漏液体积的液位感测器或是侦测液体重量的感测器，而不以本实施例为限。
[0024]参阅图2与图3，所述滚轮12及该把手13是为了辅助使用者将该液冷式照光装置拖移出或输送进曝光机台(图未示)而设计，所述滚轮12装设于该灯框主体10的两长边侧，而该把手13位于该灯框本体10的两短边其中位于左侧者。在本实施例中，所述滚轮12包括十四个第一滚轮121及十个第二滚轮122，所