一种用于双面ito激光刻蚀设备的手动升降机构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构，包括高度调节结构,所述高度调节结构可以是利用进给结构通过高度调节机构进行过渡进而升降，也可以是直接使用进给机构直接进行升降，进给机构可以是螺旋机构，也可以是离散式渐进机构，还包括反射机构,所述反射机构用来改变激光路径,所述手动升降机构还包括滑动机构,所述滑动机构用来带动振镜上下运动，所述手动升降机构还包括振镜。本发明公开的双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构可以对现有设备进行简化，大大降低设备整体成本，操作更自由，维修更加方便。
【专利说明】一种用于双面Iτο激光刻蚀设备的手动升降机构
【技术领域】
[0001]本发明涉及激光加工领域，特别涉及一种用于双面ιτο激光刻蚀设备的手动升降机构。
[0002]
【背景技术】
[0003]ΙΤ0是铟锡氧化物的英文缩写，它是一种透明的导电体，通常厚度只有几千埃，在所有在透明导电体中，其具有优良的物理性能:高的可见光透过率，高的红外反射率，良好的机械强度和化学稳定性，用酸溶液等湿法刻蚀工艺能很容易形成一定的电极图形，制备相对比较容易等，这使它广泛应用于各种电子及光电子器件，如手机和电脑等平板显示领域。按照尺寸分类，常见双面ΙΤ0玻璃有14*14英寸，14*16英寸，20*24英寸等规格，按厚度分有 1.1mm, 0.7mm, 0.55mm, 0.4mm, 0.3mm 等规格。
[0004]双面IT0玻璃的加工工艺要求同时对玻璃上下两个表面加工以便提高加工效率，因此在加工过程中，上下振镜分别相对玻璃上下表面的位置是固定的，当加工玻璃的厚度发生改变时，需要通过控制动态聚焦镜来适应玻璃厚度的变化，同时要求调整的范围要小，精度要高.由于动态聚焦镜的价格较高，造成双面ΙΤ0玻璃加工设备整体价格昂贵，同时，由于ΙΤ0玻璃厚度具有标准规格，所以振镜操作和维修就显得复杂，本发明提出提出一种新的装置，可以替代动态聚焦镜，可大大降低设备整体成本，操作更自由，维修更加方便。
[0005]
【发明内容】
[0006]有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本发明提供了一种用于双面ΙΤ0激光刻蚀设备的手动升降机构，所述手动升降机构包括滑动机构，所述滑动机构用来带动振镜位置移动；高度调节机构，所述高度调节结构可以驱动所述滑动机构进行位置移动；和反射机构，所述反射机构用来改变激光路径。
[0007]。
[0008]在传统使用的激光刻蚀设备中，动态聚焦镜为一光学部件，使用时固定在2D振镜后部，激光经动态聚焦镜后进入2D振镜，加工过程中，通过控制动态聚焦镜可以改变聚焦光斑的高度位置，实现3D扫描，动态聚焦镜与2D振镜的位置关系如图1所示。激光刻蚀双面ΙΤ0玻璃时，2D振镜相对ΙΤ0玻璃的布局如图2所示，图中L为2D振镜下端面相对玻璃表面的距离，该值为一定值，当玻璃厚度变化时，为了适应变化，由于2D振镜的位置是固定的，因此需要使用动态聚焦镜来满足厚度变化要求，而动态聚焦镜成本较高，设备上配置的数量也较大,造成了设备整体成本很高，同时维修也带来不便。
[0009]基于以上原因，本发明提出一种新的机构，所述手动升降机构运动原理描述如下，如图3所示，当激光束由激光器发出之后，经反射机构反射进入振镜中，对ΙΤ0玻璃进行加工，当ΙΤ0玻璃厚度发生变化时，可以操作高度调节机构使振镜进行上下移动，并固定，从而对激光束焦点距离L进行调节，达到加工不同规格厚度的ITO玻璃的目的。由此可以使整体设备成本大大降低，同时使操作和维修变得更加简便。
[0010]同时，所述手动升降机构还包括振镜。
[0011]根据本发明提供的一种用于双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构，所述手动升降机构包括滑动机构，所述滑动机构用来带动振镜位置移动；高度调节机构，所述高度调节结构可以驱动所述滑动机构进行位置移动；和反射机构，所述反射机构用来改变激光路径。
[0012]进一步地，所述手动升降机构还包括进给机构，所述进给机构用来驱动所述高度调节机构进行位置移动，从而对振镜高度进行调节，便于不同规格厚度的ITO玻璃加工。
[0013]可选地，所述进给机构可以是连续进给机构，也可以是离散进给机构。
[0014]进一步可选地，所述连续进给机构可以是螺旋进给机构。
[0015]进一步可选地，所述离散进给机构可以包括根据不同规格的双面ITO玻璃设置的带有离散分隔装置的长形固体及固定所述长形固体的固定部件。
[0016]可选地，所述滑动机构可以是滑轨机构，也可以是滑道机构。
[0017]进一步地，所述高度调节机构包括具有曲面特征的高度调节部件。
[0018]进一步优选地，所述具有曲面特征的高度调节部件可以是楔型块，或者具有弧形面高度调节部件。
[0019]同时，所述手动升降机构还可以包括振镜。
[0020]本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
[0021]
【专利附图】
【附图说明】
[0022]本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:
图1显示了传统激光加工设备加工不同厚度规格加工件激光束焦点调节的示意图；
图2显示了传统激光加工设备加工不同厚度规格加工件激光束焦点调节的示意图；
图3显示了本发明实施例的原理示意图；
图4显示了本发明一个实施例的示意图；
图5显示了本发明一个实施例的高度调节机构示意图；
图6显示了本发明一个实施例的高度调节机构及连续进给机构示意图；
图7显示了本发明一个实施例的离散进给机构及长性固体A向视图的示意图；
图1中，L为2D振镜下端面相对玻璃表面的距离为一定值，Z为上下运动方向，Max为向上方向最大变化范围，Min向下方向最大变化范围；
图2中，L为2D振镜下端面相对玻璃表面的距离为一定值；
图3中，I为滑动机构，2为反射机构，3为高度调节机构，4为振镜，5为激光束；
图4中，11为滑动机构中的支座，12位滑动机构中的滑动部件，21、22为反射机构中的反射镜，6为设备支撑部分；
图5、图6中，31为高度调节机构中的支座，32、33分别为高度调节机构中的具有曲面的上下部件，6为刻蚀设备与手动升降机构连接部分，7为进给机构；
图7中，A为对离散进给机构中的长形固体的观测方向，右侧图为长形固体A向视图示意图。
[0023]【具体实施方式】
[0024]下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
[0025]在发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“内”、“外”、“左”、“右”、“Z向”、“A向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0026]在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“安置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义
下面将参照附图来描述本发明的用于双面ΙΤ0激光刻蚀设备的手动升降机构，其中图
1、图2为传统ΙΤ0玻璃加工过程使用振镜进行激光束焦点调节示意图，图3为本发明高度调节示意图，图4-图7为本发明的实施例示意图。
[0027]根据本发明的实施例，所述手动升降机构，包括:滑动机构1，所述滑动机构1用来带动振镜4位置移动；高度调节机构3，所述高度调节结构3可以驱动所述滑动机构1进行位置移动，进而带动振镜4进行移动，从而调节激光束5焦点位置对ΙΤ0玻璃进行加工；和反射机构2，所述反射机构2用来改变激光束5的路径，如图3所示。
[0028]进一步地，根据本发明的实施例，所述手动升降机构还包括进给机构7，所述进给机构7用来驱动所述高度调节机构进行位置移动，如图6、7所示。
[0029]根据本发明的实施例，所述进给机构7可以是连续进给机构，也可以是离散进给机构，如图6、7所示。
[0030]根据本发明的一个实施例，所述连续进给机构可以是螺旋进给机构，如图6所示，所示螺旋进给机构可以包括螺旋部件和支撑部件，当螺旋部件在支撑部件中旋转时，螺旋部件可以进行前后或左右或上下运动时，可带动与所述螺旋部件相连的高度调节机构进行相应运动，进而带动振镜4进行运动，从而对激光束5的焦点位置进行调节对ΙΤ0玻璃进行加工。
[0031]根据本发明的一个实施例，所述离散进给机构，如图7所示，可以包括根据不同规格的双面ΙΤ0玻璃设置的带有离散分隔装置的长形固体及固定所述长形固体的固定部件，当双面ΙΤ0玻璃的厚度发生变化时，可以将带有离散分割装置的长形固体进行前后移动，因为双面ΙΤ0玻璃的厚度具有一定的离散标准值，所以离散分割装置的距离可以根据此离散标准值进行确定，在本实施例中，长形固体可以是外表面具有离散凸起的圆柱，固定部件可以是内环有相应凹陷，对长形固体的凸起进行固定，当然长形固体也可以是外表面具有凹陷的圆柱，而固定部件则可以在内环有相应凸起，如此可以移动圆柱体，对高度调节机构进行调节，大大简化操作过程，也使维修过程及成本大大降低。
[0032]根据本发明的实施例，所述滑动机构I可以是滑轨机构，也可以是滑道机构。
[0033]根据本发明的实施例，所述高度调节机构3包括具有曲面特征的高度调节部件
32、33。
[0034]优选地，所述具有曲面特征的高度调节部件可以是楔型块32、33，(如图5所示)，或者具有弧形面高度调节部件32、33，(如图6所示)。
[0035]根据本发明的实施例，所述手动升降机构还包括振镜4。
[0036]根据本发明的实施例，激光束5由激光器发出，经反射机构2中的反射镜21、22进行反射进入振镜4，对ITO玻璃进行加工；当ITO玻璃厚度发生变化时，可以调节高度调节机构3对滑动机构I进行位置移动，高度调节机构3可以是具有曲面的部件构成，如上下楔型块或者具有弧度的上下弧度块31、32，当进给机构7前后运动时，连续进给机构可根据需要进行调节至预设位置并固定，离散进给机构可以使用同样的过程调节到预设位置并固定，如此，可以调节高度调节机构3的位置，进而对滑动机构I及振镜4的位置进行调节，从而达到对不同规格厚度的ITO玻璃加工的目的。
[0037]由本发明公开的一种用于双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构，可以手动对加工不同厚度规格的ITO玻璃进行调节，可以大大降低整体设备成本，简化和降低操作和维修过程及其成本，有着很好的技术效果。
[0038]任何提及“ 一个实施例”、“实施例”、“示意性实施例”等意指结合该实施例描述的具体构件、结构或者特点包含于本发明的至少一个实施例中。在本说明书各处的该示意性表述不一定指的是相同的实施例。而且，当结合任何实施例描述具体构件、结构或者特点时，所主张的是，结合其他的实施例实现这样的构件、结构或者特点均落在本领域技术人员的范围之内。
[0039]尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的【具体实施方式】进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。
【权利要求】
1.一种用于双面ITO激光刻蚀设备的手动升降机构，包括: 滑动机构，所述滑动机构用来带动振镜位置移动； 高度调节机构，所述高度调节结构可以驱动所述滑动机构进行位置移动； 和反射机构，所述反射机构用来改变激光路径。
2.根据权利要求1所述的手动升降机构，其特征在于，所述手动升降机构还包括进给机构，所述进给机构与所述高度调节机构相连，用来驱动所述高度调节机构进行位置移动。
3.根据权利要求2所述的手动升降机构，其特征在于，所述进给机构可以是连续进给机构，也可以是离散进给机构。
4.根据权利要求3所述的手动升降机构，其特征在于，所述连续进给机构可以是螺旋进给机构。
5.根据权利要求3所述的手动升降机构，其特征在于，所述离散进给机构可以包括根据不同规格的双面ITO玻璃设置的带有离散分隔装置的长形固体及固定所述长形固体的固定部件。
6.根据权利要求1所述的手动升降机构，其特征在于，所述滑动机构可以是滑轨机构，也可以是滑道机构。
7.根据权利要求1所述的手动升降机构，其特征在于，所述高度调节机构包括具有曲面特征的高度调节部件。
8.根据权利要求7所述的手动升降机构，其特征在于，所述具有曲面特征的高度调节部件可以是楔型块，或者具有弧形面高度调节部件。
9.根据权利要求1所述的手动升降机构，其特征在于，所述手动升降机构还包括振镜。
【文档编号】B23K26/046GK103658974SQ201210351709
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2012年9月21日 优先权日:2012年9月21日
【发明者】魏志凌, 宁军, 高永强 申请人:昆山思拓机器有限公司