专利名称：激光退火装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种激光退火装置(laser annealing apparatus),且更具体地说,涉及一种能够使用双切割器提高激光束的加工精度的激光退火装置。
背景技术：
通常，具有长边和短边的矩形玻璃基板被用作平板显示器件，例如有机发光二极管显示器的基板。这种玻璃基板承受包括清洁、激光退火、曝光以及蚀刻的各种制作工艺以制造成为用于平板显示器件的基板。通过退火装置进行退火。退火装置使激光束透过腔体的上表面发射至基板以使该基板结晶化。本发明的相关技术在题目为“激光退火装置”的韩国专利N0.10-0780291 (2007年11月22日登记)中公开。常规退火装置被配置为使用单个切割器阻挡激光束，引起激光束的严重衍射，且因此使得难以精确地执行激光束的扫描操作。因此，需要一种克服了这种问题的激光退火装置。
发明内容
本发明用于解决本领域中的这种问题且本发明的一个方面是提供一种激光退火装置，该激光退火装置利用双切割器抑制激光束的衍射以精确地扫描基板。根据本发明的一个方面，激光退火装置包括:底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口 ；顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且具有用于覆盖所述入射口的透明窗；第一切割器单元，所述第一切割器单元安装在所述顶板单元上且部分阻挡所述激光束；以及第二切割器单元，所述第二切割器单元安装在所述底板单元上且部分阻挡已经透过所述入射口的所述激光束。所述底板单元可包括:底板，所述底板布置在腔体的上侧处且具有所述入射口 ；以及安装槽，所述安装槽形成于所述底板上以与所述入射口连通，所述第二切割器单元安装在所述安装槽上。所述第一切割器单元可包括:切割器轨道，所述切割器轨道安装在所述底板上；移动板，所述移动板能沿所述切割器轨道移动；第一切割器，所述第一切割器联接到所述移动板以朝向所述透明窗凸出，并且阻挡所述激光束的周界(periphery);以及第一致动器，所述第一致动器联接至所述底板且连接至所述移动板以具有可变的长度。所述第二切割器单元可包括:第二致动器放置于所述安装槽上以具有可变的长度；以及第二切割器，所述第二切割器联接至所述第二致动器且阻挡所述激光束的周界。所述第二切割器可具有形成于所述第二切割器的下表面的一个端部处的倾斜表面。
所述第二切割器可形成有标记孔。在根据本发明的激光退火装置中，所述第一切割器单元和所述第二切割器单元双重切割(cut)激光束以抑制激光束的衍射，从而提高激光束在基板上的扫描操作的精度。在根据本发明的激光退火装置中，所述第一切割器单元和所述第二切割器单元通过所述致动器精确地控制，从而改进激光束扫描操作的精度。在根据本发明的激光退火装置中，形成于所述第二切割器的下表面上的所述倾斜表面可抑制激光束的衍射。在根据本发明的激光退火装置中，所述第二切割器被提供有标记孔，从而消除了额外的基板标记步骤。
从下面结合相应附图给出的实施例的描述，本发明的上述和其他方面、特征以及优点将更加明显，其中:图1为根据本发明的一个实施例的激光退火装置的透视图；图2为未运行的根据本发明的实施例的激光退火装置的第二切割器单元的截面视图；图3为根据本发明的实施例的激光退火装置的部分阻挡激光束的第二切割器单元的截面视图；以及图4为根据本发明的实施例的激光退火装置的第二切割器的示意图。
具体实施例方式以下，将参照附图描述本发明的示例性实施例。需要注意的是:附图不是精确的尺寸且仅仅为了描绘的方便和清晰，线条的厚度或组件的尺寸可能是夸大的。在本文中所使用的单数形式“一(a)”、“一(an)”、以及“所述(the) ”也可包括复数形式，除非有其他清楚限定。此外，本文中所使用的术语在考虑本发明的功能的基础上来界定并可根据使用者或操作者的习惯或目的而改变。因此，应该根据本发明中所有详述的内容来得到术语的界定。图1为根据本发明的一个实施例的激光退火装置的透视图；图2为未运行的根据本发明的实施例的激光退火装置的第二切割器单元的截面视图；图3为根据本发明的实施例的激光退火装置的部分阻挡激光束的第二切割器单元的截面视图；以及图4为根据本发明的实施例的激光退火装置的第二切割器的示意图。参照图1至图4，根据本发明的一个实施例的激光退火装置I包括:底板单元10、顶板单元20、第一切割器单元30以及第二切割器单元40。底板单元10具有激光束透过的入射口 19，且顶板单元20放置于底板单元10上。第一切割器单元30安装在顶板单元20上。第一切割器单元30部分阻挡激光束100的周界部分。第二切割器单元40安装在底板单元10上。第二切割器单元40部分阻挡已经透过入射口 19的激光束的周界部分。
因此，由于在激光束100到达基板之前第一切割器单元30和第二切割器单元抑制了激光束100的衍射，所以提高了激光束100在基板上的扫描精度。在本发明的实施例中，底板单元10包括底板11和安装槽12。底板11覆盖其中放置有基板的腔体的上端。激光束100透过的入射口 19形成于底板11中。然后，入射口 19具有矩形孔形状以便于激光束100透过入射口 19发射。安装槽12形成于底板11上。安装槽12与入射口的相反的端部连通。第二切割器单元40放置于安装槽12上。在本发明的实施例中，顶板单元12包括:顶板21、透明窗22以及顶板轨道23。顶板21放置于底板11上。顶板21具有对应于入射口 19的顶孔29，且透明窗22联接至顶板21以关闭顶孔29。因此，从激光振荡器发射的激光束100经由透明窗22透过入射口 19并到达基板。顶板轨道23安装在底板11的上表面上，且顶板21沿顶板轨道23移动。因此，当顶板21移动且透明窗22覆盖入射口 19时，射出激光束100以进行退火。当顶板21移动且未覆盖透明窗22时，在透明窗22上进行清洗和更换操作。在本发明的实施例中，第一切割器单元30包括:切割器轨道31、移动板32、第一切割器33以及第一致动器34。切割器轨道31安装于底板11的上表面上。切割器轨道31与透明窗22分开，并沿着透明窗22的纵向方向设置。移动板32沿切割器轨道31移动。在该实施例中，一对移动板32被设置为彼此面对。第一切割器33相应地联接至移动板32，且朝向透明窗22凸出。第一切割器33位于透明窗22的相反的端部处以部分阻挡激光束100的周界。第一致动器34联接至底板11。第一致动器34相应地连接至移动板32，以便于移动板32随着第一致动器34的长度响应于控制信号变化而移动。因此，当通过驱动第一致动器34使移动板32移动时，第一切割器33阻挡的激光束100的面积变化。在本发明的实施例中，第二切割器单元40包括:第二致动器41和第二切割器42。第二致动器41放置于安装槽12上。第二致动器41的长度响应于控制信号而变化。第二切割器42联接至第二致动器41。随着第二致动器41的长度的变动，第二切割器42移动至入射口 19以部分阻挡激光束100的周界。第二切割器42被设置为比第一切割器33更接近基板。因此，已经透过第一切割器33的激光束100到达基板的距离比已经透过第二切割器42的激光束到达基板的距离长。因此，与仅使用第一切割器30的情况相比，同时使用第一切割器33和第二切割器42抑制了激光束100的衍射。倾斜表面43形成于第二切割器42的下表面的一个端部处。倾斜表面43抑制已经透过第二切割器42的激光束100的衍射。第二切割器42形成有透过激光束100的标记孔44。已经透过过标记孔44的激光束100到达基板并标记基板。
随后，将描述根据本发明的实施例的激光退火装置的操作。当将经受退火的基板容纳在腔体中时，底板11放置在腔体的上部上。底板11形成有入射口 19，激光束透过该入射口 19发射。用于覆盖入射口 19的顶板21放置于底板11的上表面上。顶板21选择性地覆盖入射口 19，同时沿着放置在底板11上的顶板轨道23移动。切割器轨道31被提供给底板11，且随着第一致动器34的长度变化，联接至第一致动器34的移动板32沿切割器轨道31移动。联接至移动板32的第一切割器33凸出，以被放置在透明窗22的上周界处并部分阻挡射出至透明窗22的激光束100的周界。然后，随着通过驱动第一致动器34而使第一切割器33的位置变化，第一切割器33被精确地移动。因此，到达基板的激光束100能够精确地扫描基板。与入射口 19的相反的端部连通的安装槽12形成于底板10上，且第二致动器41放置于安装槽12上以移动联接至第二致动器41的第二切割器42。第二切割器42通过调节第二致动器41的长度而被放置在入射口 19处，以部分阻挡已经透过第一切割器33的激光束100的周界。此时，随着通过驱动第二致动器41而使第二切割器42的位置变化，第二切割器42被精确地移动。由于通过第一切割器33和第二切割器42抑制了到达基板的激光束100的衍射，基板可被精确地扫描。这里，倾斜表面43形成于第二切割器42的下表面的一个端部处，从而抑制已经透过第二切割器42的激光束100的衍射。此外，透过激光束100以标记基板的标记孔44形成于第二切割器42中，从而能够消除相对于基板的额外的标记。尽管已经公开了一些实施例，但需要理解的是，这些给出的实施例仅用于解释说明，且在不违背本发明的精神和范围的情况下，可做出各种改进、变化和替代。本发明的范围应通过所附的权利要求和其等效物来限定。
权利要求
1.一种激光退火装置，包括: 底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口 ； 顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且具有用于覆盖所述入射口的透明窗； 第一切割器单元，所述第一切割器单元安装在所述顶板单元上且部分阻挡所述激光束；以及 第二切割器单元，所述第二切割器单元安装在所述底板单元上且部分阻挡已经透过所述入射口的所述激光束。
2.根据权利要求1所述的激光退火装置，其中，所述底板单元包括: 底板，所述底板布置在腔体的上侧处且具有所述入射口 ；以及安装槽，所述安装槽形成于所述底板上以与所述入射口连通，所述第二切割器单元安装在所述安装槽上。
3.根据权利要求2所述的激光退火装置，其中，所述第一切割器单元包括: 切割器轨道，所述切割器轨道安装在所述底板上；移动板，所述移动板能沿所述切割器轨道移动；第一切割器，所述第一切割器联接至所述移动板以朝向所述透明窗凸出，并且阻挡所述激光束的周界；以及第一致动器，所述第一致动器联接至所述底板且连接至所述移动板以具有可变的长度。
4.根据权利要求2所述的激光退火装置，其中，所述第二切割器单元包括: 第二致动器，所述第二致动器放置于所述安装槽上以具有可变的长度；以及第二切割器，所述第二切割器联接至所述第二致动器并阻挡所述激光束的周界。
5.根据权利要求4所述的激光退火装置，其中，第二切割器具有形成于所述第二切割器的下表面的一个端部处的倾斜表面。
6.根据权利要求4所述的激光退火装置，其中，所述第二切割器形成有标记孔。
全文摘要
本公开提供一种激光退火装置。所述激光退火装置包括底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且具有用于覆盖所述入射口的透明窗；第一切割器单元，所述第一切割器单元安装在所述顶板单元上且部分阻挡激光束；以及第二切割器单元，所述第二切割器单元安装在所述底板单元上且部分阻挡已经透过所述入射口的激光束。所述激光退火装置双重阻挡激光束以抑制激光束的衍射，从而允许激光束精确地扫描基板。
文档编号B23K26/00GK103170736SQ20121054655
公开日2013年6月26日 申请日期2012年12月14日 优先权日2011年12月20日
发明者梁相熙, 李基雄, 崔东奎, 安珍荣 申请人:Ap系统股份有限公司