通过机械加工激光切割玻璃来进行边缘斜切的制作方法

文档序号:14752306发布日期:2018-06-22 21:05阅读:来源:国知局
通过机械加工激光切割玻璃来进行边缘斜切的制作方法

技术特征:

1.一种对工件进行加工的方法,该方法包括以下步骤:

(i)将脉冲激光束聚焦成激光束焦线,这是沿着束传播方向观察的;

(ii)将所述激光束焦线以相对于所述工件成第一入射角导向到所述工件中,该第一角度与所述工件的边缘相交,所述激光束焦线在所述工件内产生感应吸收,所述感应吸收沿着所述激光束焦线在所述工件内产生缺陷线;

(iii)使得所述工件和所述激光束相对于彼此位移,从而沿着所述工件内呈该第一角度的第一平面激光钻孔多条缺陷线,每条所述缺陷线具有不超过5μm的直径;其中,形成所述焦线的激光束的波长使得工件材料对于所述波长是基本透明的;以及

(iv)沿着所述平面分离所述工件,以产生具有至少一个切割表面的经激光切割的工件;以及

(v)通过用抛光轮对经激光切割工件的切割表面进行抛光,来加工所述工件,其中所述抛光轮的本体弹性模量为0.1-5GPa。

2.如权利要求1所述的方法,所述方法还包括:

将所述激光束焦线以相对于材料的第二入射角导向到材料中,所述激光束焦线在材料内产生感应吸收,所述感应吸收沿着所述激光束焦线在材料内产生缺陷线;

使得所述材料和所述激光束相对于彼此位移,从而沿着所述材料内呈该第二角度的第二平面激光钻孔多条缺陷线,所述第二平面与所述第一平面相交,每条所述缺陷线具有不超过5μm的直径;以及

其中,通过沿着所述第一平面和所述第二平面来分离材料从而进行所述分离,以产生所述经激光切割的材料。

3.一种对玻璃材料进行激光加工的方法,该方法包括:

将脉冲激光束聚焦成激光束焦线,这是沿着束传播方向观察的;以及

沿着所述材料内的N个平面中的每一个激光钻孔多条缺陷线,对于N个平面中的每一个:

将所述激光束焦线以相对于所述材料成对应入射角导向到所述材料中,所述激光束焦线在所述材料内产生感应吸收,所述感应吸收沿着所述激光束焦线在所述材料内产生缺陷线;其中,形成所述焦线的激光束的波长使得工件材料对于所述波长是基本透明的;以及

使得所述材料与所述激光束相对于彼此位移,从而沿着所述N个平面中的对应平面激光钻孔所述多条缺陷线,每条所述缺陷线具有不超过5μm的直径;以及

通过向所述工件施加离子交换过程,沿着所述N个平面中的至少一个分离所述工件,以产生具有激光切割表面的经激光切割的工件;以及

用抛光轮对所述经激光切割的工件的所述激光切割表面进行抛光,持续时间为t,其中,1秒<t<1分钟,其中,所述抛光轮的本体弹性模量为0.1-5GPa。

4.如权利要求1-3中任一项所述的方法,其特征在于,所述抛光轮具有40-250mm的外直径,所述抛光轮以500-10000rpm转动,以及所述抛光轮包括多种研磨剂颗粒,所述研磨剂颗粒具有0.1-100μm的横截面宽度。

5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,所述抛光轮具有80-120mm的外直径,所述抛光轮以500-8000rpm转动,以及所述抛光轮包括多种研磨剂颗粒,所述研磨剂颗粒具有0.1-100μm的横截面宽度。

6.如权利要求1-3中任一项所述的方法,其特征在于,所述激光是群脉冲激光,脉冲持续时间大于5皮秒且小于20皮秒,群重复频率为1kHz至2MHz,以及所述群脉冲包括2-25个脉冲每群。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述激光具有10-100瓦特的功率。

8.一种玻璃制品,其通过如权利要求1、2或3所述的方法制备。

9.如权利要求8所述的玻璃制品,其特征在于,所述边缘的表面下损坏最大至小于或等于60μm的深度。

10.如权利要求8所述的玻璃制品,所述玻璃制品的边缘在离子交换后具有600-1000MPa的边缘强度。

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