技术特征:
技术总结
本发明涉及一种用于制造至少一个固体层的方法,所述方法至少包括如下步骤:提供载体衬底(4),其具有设置在其上的牺牲层(8),或将牺牲层(8)设置在所提供的载体衬底(4)上,借助化学气相沉积或物理气相沉积在牺牲层(8)上产生有用层(6),以构成多层装置(2),由于在有用层(6)和载体衬底(4)之间产生的材料薄弱部来分开有用层(6),其中材料薄弱部通过在牺牲层(8)中借助激光器射束(10)产生的改性部(12)引起。
技术研发人员:扬·黎克特;沃尔弗拉姆·德雷舍尔
受保护的技术使用者:西尔特克特拉有限责任公司
技术研发日:2015.07.06
技术公布日:2017.09.26