技术总结
提供激光光线的检查方法，能够短时间且低成本地检查激光光线的状态。其包含如下步骤：检查用膜配设步骤，在具有第1面(11a)和第1面的相反侧的第2面(11b)的检查用板状物(11)的第1面上形成因吸收透过检查用板状物的波长的激光光线(L1、L2)而熔融的检查用膜(13)；改质层形成步骤，使检查用膜与卡盘工作台(4)的保持面(4a)相对而利用卡盘工作台保持检查用板状物，并从第2面侧照射该激光光线以使其在检查用板状物的内部会聚而在检查用板状物的内部形成改质层(19)；检查步骤，根据因通过了检查用板状物的激光光线而形成于检查用膜的熔融痕(21、21a、21b)来检查激光光线的状态。
技术研发人员：冈田繁史
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：2016.01.13
技术公布日：2019.04.19