一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统的制作方法

文档序号:12363741阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:包括第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜,所述第一自适应镜与第二自适应镜有相同的光束偏转角且中心法线平行,组成连续变倍扩束模块;所述第三自适应镜置于长焦离轴抛物镜之前,光束依次经过第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜,所述第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜镜片中心与光束中心重合。

2.根据权利要求1所述的一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:所述第一自适应镜、第二自适应镜以及第三自适应镜均为椭圆柱状反射镜。

3.根据权利要求1所述的一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:所述第一自适应镜、第二自适应镜以及第三自适应镜反射镜面均为凹凸可变曲面。

4.根据权利要求1所述的一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:所述第一自适应镜、第二自适应镜以及第三自适应镜反射镜安装面具有单气流通道。

5.根据权利要求1所述的一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:所述长焦离轴抛物镜为圆柱状斜反射镜,聚焦焦距长。

6.根据权利要求1所述的一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:所述第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜带水冷通道。

7.根据权利要求1所述的一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于:所述第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜镜片均为导热性良好的金属镜片。

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