激光输出装置的制作方法

文档序号:12872241阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光输出装置,其具备:

激光光源,其射出激光;

输出调整部,其调整从所述激光光源射出的所述激光的输出;

反射镜单元,其将通过了所述输出调整部的所述激光向外部射出;

安装基座,其具有配置所述激光光源、所述输出调整部及所述反射镜单元的主面,

从所述激光光源经由所述输出调整部而到达所述反射镜单元的所述激光的光路以沿着与所述主面平行的平面的方式设定,

所述反射镜单元具有用于调整所述激光的光轴的反射镜,且沿着与所述平面交叉的方向将所述激光向外部射出。

2.根据权利要求1所述的激光输出装置,其中,

所述反射镜单元沿着与所述平面正交的方向将所述激光向外部射出。

3.根据权利要求1所述的激光输出装置,其中,

所述输出调整部调整从所述激光光源射出的所述激光的偏振光方向。

4.根据权利要求2所述的激光输出装置,其中,

所述输出调整部调整从所述激光光源射出的所述激光的偏振光方向。

5.根据权利要求3所述的激光输出装置,其中,

所述输出调整部具有:

λ/2波长板,其使从所述激光光源射出的所述激光沿着与所述平面平行的第一轴线进行入射;

第一支架,其以所述λ/2波长板能够以所述第一轴线为中心线进行旋转的方式,保持所述λ/2波长板;

偏振光部件,其使通过了所述λ/2波长板的所述激光沿着与所述平面平行的第二轴线进行入射;以及

第二支架,其以所述偏振光部件能够以所述第二轴线为中心线进行旋转的方式,保持所述偏振光部件。

6.根据权利要求4所述的激光输出装置,其中,

λ/2波长板,其使从所述激光光源射出的所述激光沿着与所述平面平行的第一轴线进行入射;

第一支架,其以所述λ/2波长板能够以所述第一轴线为中心线进行旋转的方式,保持所述λ/2波长板;

偏振光部件,其使通过了所述λ/2波长板的所述激光沿着与所述平面平行的第二轴线进行入射;

第二支架,其以所述偏振光部件能够以所述第二轴线为中心线进行旋转的方式,保持所述偏振光部件。

7.根据权利要求5所述的激光输出装置,其中,

还具备光路修正部件,该光路修正部件以与所述偏振光部件一体地能够以所述第二轴线为中心线进行旋转的方式保持于所述第二支架,且通过透射所述偏振光部件而使从所述第二轴线上脱离的所述激光的光轴返回到所述第二轴线上。

8.根据权利要求6所述的激光输出装置,其中,

还具备光路修正部件,该光路修正部件以与所述偏振光部件一体地能够以所述第二轴线为中心线进行旋转的方式保持于所述第二支架,且通过透射所述偏振光部件而使从所述第二轴线上脱离的所述激光的光轴返回到所述第二轴线上。

9.根据权利要求5所述的激光输出装置,其中,

所述第一轴线和所述第二轴线相互一致。

10.根据权利要求6所述的激光输出装置,其中,

所述第一轴线和所述第二轴线相互一致。

11.根据权利要求7所述的激光输出装置,其中,

所述第一轴线和所述第二轴线相互一致。

12.根据权利要求8所述的激光输出装置,其中,

所述第一轴线和所述第二轴线相互一致。

13.根据权利要求1~12中任一项所述的激光输出装置,其中,

所述反射镜单元具有支撑基座和作为所述反射镜的第一反射镜及第二反射镜,

所述支撑基座以能够进行位置调整的方式安装于所述安装基座,

所述第一反射镜以能够进行角度调整的方式安装于所述支撑基座,且将通过了所述输出调整部的所述激光沿着与所述平面平行的方向进行反射,

所述第二反射镜以能够进行角度调整的方式安装于所述支撑基座,且将由所述第一反射镜反射的所述激光沿着与所述平面交叉的方向进行反射。

14.根据权利要求1~12中任一项所述的激光输出装置,其中,

还具备激光平行化部,该激光平行化部配置于从所述输出调整部到达所述反射镜单元的所述激光的光路上,并调整所述激光的直径并且使所述激光平行化。

15.根据权利要求13所述的激光输出装置,其中,

还具备激光平行化部,该激光平行化部配置于从所述输出调整部到达所述反射镜单元的所述激光的光路上,并调整所述激光的直径并且使所述激光平行化。

16.根据权利要求1~12中任一项所述的激光输出装置,其中,

还具备快门,该快门配置于从所述激光光源到达所述输出调整部的所述激光的光路上,且开闭所述激光的光路,

所述激光光源具有切换所述激光的输出的开启/关断的功能。

17.根据权利要求13所述的激光输出装置,其中,

还具备快门,该快门配置于从所述激光光源到达所述输出调整部的所述激光的光路上,且开闭所述激光的光路,

所述激光光源具有切换所述激光的输出的开启/关断的功能。

18.根据权利要求14所述的激光输出装置,其中,

还具备快门,该快门配置于从所述激光光源到达所述输出调整部的所述激光的光路上,且开闭所述激光的光路,

所述激光光源具有切换所述激光的输出的开启/关断的功能。

19.根据权利要求15所述的激光输出装置,其中,

还具备快门,该快门配置于从所述激光光源到达所述输出调整部的所述激光的光路上,且开闭所述激光的光路,

所述激光光源具有切换所述激光的输出的开启/关断的功能。

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