硅模具冷却装置及系统的制作方法

文档序号:20094680发布日期:2020-03-17 14:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅模具冷却装置,其特征在于,包括:

集风腔体,包括进风口、出风口以及用于支撑待冷却硅模具的导热面;

送风装置,与所述进风口连接,用于向所述集风腔体内送风,以形成用于冷却所述导热面的风流。

2.根据权利要求1所述的硅模具冷却装置,其特征在于,还包括:

回风装置,与所述出风口连接,用于排出所述出风口的气体。

3.根据权利要求2所述的硅模具冷却装置,其特征在于,还包括:

冷却装置,连接于所述送风装置与所述回风装置之间,用于将所述出风口排出的气体进行冷却,以供所述送风装置将冷却后的气体送入所述集风腔体。

4.根据权利要求1-3任一项所述的硅模具冷却装置,其特征在于,所述集风腔体为矩形。

5.根据权利要求4所述的硅模具冷却装置,其特征在于,所述进风口设置于所述集风腔体的第一侧面,所述出风口设置于所述集风腔体的与所述第一侧面相对的第二侧面,所述导热面设置于所述集风腔体的第三侧面。

6.根据权利要求5所述的硅模具冷却装置,其特征在于,所述进风口为多个,多个所述进风口均匀分布在所述集风腔体的第一侧面。

7.根据权利要求5所述的硅模具冷却装置,其特征在于,所述出风口为多个,多个所述出风口均匀分布在所述集风腔体的第二侧面。

8.根据权利要求1-3任一项所述的硅模具冷却装置,其特征在于,所述导热面由导热金属制成。

9.根据权利要求1-3任一项所述的硅模具冷却装置,其特征在于,所述导热面上设置有多个连通所述集风腔体的通孔。

10.一种硅模具冷却系统,其特征在于,包括权利要求1-9任一项所述的硅模具冷却装置和硅模具。

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