RlO)。上述加工速度为基于移动机构6的激光加工头4与工件W的相对移动的速度。上述设定条件例如为加工速度变更用的加工调整判定用阈值、激光输出的值。在符合设定条件的情况下，将根据确定的条件而计算出的加工速度向加工机主体控制装置2通知(Rll)。加工机主体控制装置2接收该通知，通过移动控制单元23进行向基于移动机构6的与上述通知相对应的移动速度的变更。
[0080]在上述加工速度的通知(Rll)之后或者不变更加工速度的情况下，在是否变更上述加工速度的判断(RlO)之后，进行是否变更激光输出的判定(R12)。在变更了加工速度的情况下，有时需要变更激光输出。并且，虽然保护玻璃13的焦点位置的变更不能够变更到适当的值，但即使焦点距离不适当，如果变更激光输出则有时也能够进行加工。确定与这种情况下的判定有关的阈值即与激光输出变更相对的加工调整判定用阈值，在超过该加工调整判定用阈值的情况下，向加工机主体控制装置2通知激光输出指令变更(R13)。加工机主体控制装置2接收该通知，通过激光输出控制单元24使激光振荡器5进行向与上述通知相对应的激光输出的变更。通过进行上述过程RlO?R13的单元构成图2的加工调整指令单元39。
[0081]在上述激光输出的变更的通知(R13)之后、或者在未进行变更的情况下在上述判定(R12)之后，进行激光照射的停止的判定(R14)，在停止之前返回上述保护玻璃温度检测(R3)的过程，并反复进行以下各过程。
[0082]在激光照射停止的情况下，在根据设定条件进行了是否进行保护玻璃确认的通知的判定(R15)之后，在符合条件的情况下，在向加工机主体控制装置2进行保护玻璃确认的通知(R18)之后，直接结束用于该保护玻璃对应修正的一系列控制，并且，在不符合条件的情况下，直接结束用于该保护玻璃对应修正的一系列控制。
[0083]使用图7的流程图，对加工准备单元33的具体功能进行说明。
[0084]在过程SI中进行加工气体的开启，并判定加工气体压力的异常(S2)。其原因在于，在保护玻璃13的安装存在异常的情况下，加工气体压力变得异常，不能进行适当的加工。在异常的情况下，通知保护玻璃13的安装异常(SlO)，并结束该加工准备处理。
[0085]在无异常的情况下，发出激光输出的指令(S3)，并等待激光照射开始(S4)，进行保护玻璃温度的检测(S5)。将保护玻璃温度与阈值进行比较(S6)，在判定为异常的情况下，向加工机主体控制装置2进行保护玻璃状态确认的通知(S9)，而结束加工准备处理。
[0086]在保护玻璃温度无异常的情况下，判定从开始激光照射起是否经过了任意的设定时间(S7)，在经过之前，返回保护玻璃温度检测的过程(S5)而反复进行上述过程(S5?S7)。当从激光照射开始起经过任意的设定时间时，向加工机主体控制装置2进行保护玻璃无异常的通知(S8)，结束加工准备处理。
[0087]通过在实际加工之前进行这样的一系列的加工准备处理，由此能够未然地防止在实际加工时产生工件W的加工不良。
[0088]另外，上述实施方式对固体激光器的情况进行了说明，但本发明也能够应用于C02激光器那样的气体激光器的情况。
[0089]如以上那样，参照【附图说明】了优选的实施方式，但只要本领域技术人员，阅读本说明书就容易地想到在显而易见的范围内的各自变更和修正。因此，这种变更和修正解释为包含于根据请求范围确定的发明范围内。
[0090]符号的说明
[0091]I…加工机主体；2…加工机主体控制装置；3…脏污对应修正等运算装置；4…激光加工头；5…激光振荡器；6…移动机构；11…准直透镜(光学元件)；12…聚光透镜(光学元件)；13…保护玻璃(光学元件)；15…光学系统；16…焦点位置调节机构；17…温度检测器；25…焦点位置修正单元；31…光学系统整体对应修正单元；32…保护玻璃对应修正单元；33…加工准备单元；35…第一焦点变动量计算单元；37…第二焦点变动量计算单元；38…中止修正判定单元；39…加工调整指令单元！胃…工件。
【主权项】
1.一种激光加工机，具备:激光加工头，具有由多个光学元件构成的光学系统以及该光学系统的焦点位置调节机构；激光振荡器；移动机构，使上述激光加工头相对于工件相对移动；以及控制装置，控制上述焦点位置调节机构、上述激光振荡器以及上述移动机构，该激光加工机对一个工件反复进行激光照射的开启、关闭，该激光加工机的特征在于，设置有: 第一焦点变动量计算单元，根据从上述激光加工头照射激光的照射时间与停止时间的时间差、或者上述光学系统整体的温度的检测值，计算上述焦点位置的变动量； 第二焦点变动量计算单元，根据上述光学系统中离加工点最近的光学元件的温度的检测值，计算与离该加工点最近的光学元件的温度变化相对的焦点位置的变动量；以及 焦点位置修正单元，使用该第一以及第二焦点变动量计算单元计算出的焦点位置的变动量之和，上述控制装置使上述焦点位置调节机构进行焦点位置的修正。2.如权利要求1所述的激光加工机，其中， 设置有中止修正判定单元，该中止修正判定单元为，将离上述加工点最近的光学元件的温度的检测值与中止判定用阈值以及修正判定用阈值进行比较，在超过上述中止判定用阈值的情况下，使上述控制装置进行加工的中止，在为上述中止判定用阈值以下、但超过上述修正判定用阈值的情况下，使上述焦点位置修正单元进行上述修正，在为上述修正判定用阈值以下的情况下，不使上述焦点位置修正单元进行使用上述第二焦点变动量计算单元计算出的焦点位置的变动量的修正。3.如权利要求1或2所述的激光加工机，其中， 设置有加工调整指令单元，该加工调整指令单元为，在上述第二焦点变动量计算单元计算出的焦点位置的变动量超过加工调整判定用阈值的情况下，进行基于上述激光振荡器的激光输出的调整以及基于上述移动机构的移动速度的调整中的某一方或者双方。4.一种激光加工方法，使用具有由多个光学元件构成的光学系统以及该光学系统的焦点位置调节机构的激光加工头、激光振荡器、使上述激光加工头相对于工件相对移动的移动机构、以及控制上述焦点位置调节机构、上述激光振荡器以及上述移动机构的控制装置，对一个工件反复进行激光照射的开启、关闭，该激光加工方法的特征在于，具有: 第一焦点变动量计算过程，根据从上述激光加工头照射激光的照射时间与停止时间的时间差、或者上述光学系统整体的温度的检测值，计算上述焦点位置的变动量； 第二焦点变动量计算过程，根据上述光学系统中离加工点最近的光学元件的温度的检测值，计算与离该加工点最近的光学元件的温度变化相对的焦点位置的变动量；以及 焦点位置修正过程，使用在该第一以及第二焦点变动量计算过程中计算出的焦点位置的变动量之和，上述控制装置使上述焦点位置调节机构进行焦点位置的修正。
【专利摘要】提供一种激光加工机，能够对保护玻璃的起因于由脏污等导致的温度上升的变化的焦点位置的变动、以及其他光学部件的焦点位置的变动的双方进行适当的修正，并且能够抑制传感器类的增加和运算的复杂化。设置有第一焦点变动量计算单元(35)，根据从激光加工头(4)照射的照射时间与停止时间的时间差、或者光学系统(15)整体的温度的检测值，计算焦点位置的变动量。设置有第二焦点变动量计算单元(37)，计算与保护玻璃(13)的温度变化相对的焦点位置的变动量。设置有焦点位置修正单元(25)，使用该第一以及第二焦点变动量计算单元(35、37)计算出的焦点位置的变动量之和，使加工机主体控制装置(2)进行焦点位置的修正。
【IPC分类】B23K26/046
【公开号】CN105102170
【申请号】CN201480020348
【发明人】松本圭太, 中村敦
【申请人】村田机械株式会社
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年3月14日
【公告号】WO2014171245A1