激光束照射装置及光学部件贴合体的制造装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及激光束照射装置及光学部件贴合体的制造装置。
[0002]本申请基于2013年2月13日申请的日本国专利出愿2013-26096号主张优先权，在此援引其内容。
【背景技术】
[0003]在现有技术中，公知有向对象物照射激光束来进行规定的加工的激光束照射装置。以往激光束照射装置大多利用于薄膜的切断加工等中，还期待例如在专利文献I所记载的偏振薄膜的制造方法等中有所应用。
[0004]【在先技术文献】
[0005]【专利文献】
[0006]【专利文献I】日本国特开2003-255132号公报
【发明内容】
[0007]-发明要解决的课题-
[0008]—般，激光束的强度在波束的中心部较强，在波束的外周部较弱。若波束外周部的激光束的强度变小，则波束的外周部无法对对象物的切断有贡献。因此，若使用具有这种强度分布的激光束，则无法锋利地切断对象物，有时会降低切割品质。
[0009]本发明的方式鉴于上述情况而完成，目的在于，提供一种能够锋利地切断对象物且能够抑制切割品质降低的激光束照射装置及光学部件贴合体的制造装置。
[0010]-用于解决课题的手段-
[0011]为了达到上述的目的，本发明方式的激光束照射装置及光学部件贴合体的制造装置采用了以下的构成。
[0012](I)本发明的第一方式的激光束照射装置包括:激光束振荡器，福射激光束；聚光透镜，汇聚从所述激光束振荡器辐射出的所述激光束；光圈部件，将由所述聚光透镜汇聚后的所述激光束集中在一起；和校准透镜，将由所述光圈部件集中在一起的所述激光束平行化。
[0013](2)在上述(I)记载的激光束照射装置中，所述光圈部件还可以配置在所述聚光透镜的后侧焦点附近。
[0014](3)本发明的第二方式的激光束照射装置包括:工作台，具有保持对象物的保持面；激光束振荡器，辐射激光束；第I聚光透镜，汇聚从所述激光束振荡器辐射出的所述激光束；光圈部件，将由所述第I聚光透镜汇聚后的所述激光束集中在一起；校准透镜，将由所述光圈部件集中在一起的所述激光束平行化；扫描器，在与所述保持面平行的平面内对由所述校准透镜平行化之后的所述激光束进行2轴扫描；和移动装置，使所述工作台和所述扫描器进行相对移动。
[0015](4)在上述(3)记载的激光束照射装置中，还可以包括:第2聚光透镜，将由所述校准透镜平行化之后的所述激光束朝向所述保持面而进行汇聚。
[0016](5)本发明的第三方式的光学部件贴合体的制造装置是将光学部件贴合到光学显示部件的光学部件贴合体的制造装置，包括:贴合装置，通过在所述光学显示部件贴合向所述光学显示部件的外侧突出的尺寸的薄片，从而形成薄片贴合体；和切断装置，沿着所述薄片贴合体的所述光学显示部件与所述薄片的贴合面的端缘，从所述薄片贴合体切离向所述贴合面的外侧突出的部分的所述薄片，形成与所述贴合面相对应的大小的所述光学部件，所述切断装置由上述(I)至(4)中的任一项所述的激光束照射装置构成，通过从所述激光束照射装置照射出的激光束，切断作为对象物的所述薄片。
[0017]-发明效果-
[0018]根据本发明的方式，能够提供可锋利地切断对象物且可抑制切割品质降低的激光束照射装置及光学部件贴合体的制造装置。
【附图说明】
[0019]图1是表示本发明的一实施方式的激光束照射装置的立体图。
[0020]图2是表示EBS结构的图。
[0021]图3是表示1R的内部结构的立体图。
[0022]图4是表示第I聚光透镜、光圈部件及校准透镜的配置结构的侧剖视图。
[0023]图5是表示激光束照射装置的控制系统的结构的图。
[0024]图6(a)?(d)是用于说明EBS的作用的图。
[0025]图7 (a)?(d)是在图6中关注了激光束的I个脉冲的图。
[0026]图8是用于说明1R的作用的图。
[0027]图9是利用比较例的激光束照射装置切断了作为对象物的偏振板时的切断面的放大图。
[0028]图10是利用本实施方式的激光束照射装置切断了作为对象物的偏振板时的切断面的放大图。
[0029]图11是表示本发明的一实施方式的光学部件贴合体的制造装置的示意图。
[0030]图12是液晶面板的俯视图。
[0031]图13是图12的A-A剖视图。
[0032]图14是光学片的剖视图。
[0033]图15是表示切断装置的动作的图。
[0034]图16是表示贴合面的端缘的检测工序的俯视图。
[0035]图17是检测装置的示意图。
[0036]图18A是表示薄片相对于液晶面板的贴合位置的决定方法的一例的图。
[0037]图18B是表示薄片相对于液晶面板的贴合位置的决定方法的一例的图。
[0038]图19是表示激光束描绘期望的轨迹的控制方法的图。
【具体实施方式】
[0039]以下，参照附图来说明本发明的实施方式，但是本发明并不限于以下的实施方式。
[0040]另外，在以下的所有附图中，为了容易观察附图，适当调整了各结构要素的尺寸或比率等。此外，在以下的说明及附图中，对相同或相应的要素赋予同一符号，并省略重复的说明。
[0041](激光束照射装置)
[0042]图1是表示用作对象物的切断装置的激光束照射装置100的一例的立体图。
[0043]在以下的说明中，根据需要而设定XYZ直角坐标系，参照该XYZ直角坐标系来说明各部件的位置关系。在本实施方式中，将与保持对象物的保持面平行的方向设为X方向，将在保持面的面内与第I方向(X方向)正交的方向设为Y方向，将与X方向及Y方向正交的方向设为Z方向。
[0044]如图1所示，激光束照射装置100具备工作台101、激光束振荡器102、构成EBS130 (Electrical Beam Shaping:参照图 2)的音响光学元件 103、10R104 (ImagingOptics Rail)、扫描器105、移动装置106和统一控制这些装置的控制装置107。
[0045]工作台101具有保持对象物110的保持面101s。工作台101从保持面1ls的法线方向观察时是矩形。保持面1ls具有在第I方向(X方向)上具有长边的长方形的第I保持面lOlsl、和与第I保持面1lsl相邻地配置且形状与第I保持面1lsl相同的第2保持面101s2
[0046]激光束振荡器102是辐射激光束L的部件。例如，作为激光束振荡器102，可以使用CO2激光束振荡器(二氧化碳激光束振荡器)、UV激光束振荡器、半导体激光束振荡器、YAG激光束振荡器、准分子激光束振荡器等振荡器，不特别限定具体的结构。在上述的振荡器之中，CO2激光束振荡器能够辐射可实现例如偏振薄膜等光学部件的切断加工的高输出激光束。
[0047]图2是表示EBS130结构的图。
[0048]如图2所示，EBS130具有:音响光学元件103，被配置在从激光束振荡器102辐射的激光束的光路上；驱动器131，与音响光学元件103电连接；和控制装置107，控制激光束通过音响光学元件103的时刻(相当于后述的激光器控制部171)。
[0049]直到激光束的输出变稳定为止，EBS130阻挡激光束。
[0050]音响光学元件103是用于阻挡从激光束振荡器102辐射的激光束的光学元件。
[0051]音响光学元件103例如在由二氧化碲(TeO2)或钼酸铅(PbMoO4)等单晶或玻璃构成的音响光学介质上粘接了压电元件。对压电元件施加电信号来产生超声波，在音响光学介质中传播该超声波，从而能够控制激光束的通过与不通过(阻挡)。
[0052]另外，在本实施方式中，作为EBS130的构成部件使用了音响光学元件103，但是并不限于此。只要能够阻挡从激光束振荡器102辐射的激光束即可，也可以使用其他光学元件。
[0053]驱动器131基于控制装置107的控制，向音响光学元件103供给使其产生超声波的电信号(控制信号)，调整音响光学元件103对激光束的阻挡时间。
[0054]控制装置107控制激光束通过音响光学元件103的时刻，以去除例如从激光束振荡器102辐射的激光束的上升沿部分及下降沿部分。
[0055]另外，控制装置107的时刻控制并不限于此。例如，控制装置107也可以以选择性地去除从激光束振荡器102辐射的激光束的上升沿部分的方式控制激光束通过音响光学元件103的时刻。
[0056]特别是，在从激光束振荡器102辐射的激光束的下降沿部分的宽度(时间)比激光束的上升沿部分的宽度(时间)足够短的情况下，去除激光束的下降沿部分的实际效应较小。因此，在这种情况下，也可以选择性地只去除从激光束振荡器102辐射的激光束的上升沿部分。
[0057]通过这种结构，EBS130基于控制装置107的控制，以输出稳定的状态射出从激光束振荡器102辐射的激光束。
[0058]10R104去除激光束的强度分布之中对对象物110的切断没有贡献的下摆部分。
[0059]图3是表示10R104的内部结构的立体图。
[0060]如图3所示，10R104具有:第I聚光透镜141，汇聚从EBS130射出的激光束；第I保持框142，保持第I聚光透镜141 ;光圈部件143，将由第I聚光透镜141汇聚的激光束集中在一起；保持部件144，保持光圈部件143 ;校准透镜145，将由光圈部件143集中在一起的激光束平行化；第2保持框146，保持校准透镜145 ;和移动机构147，使第I保持框142、保持部件144及第2保持框146进行相对移动。
[0061]图4是表示第I聚光透镜141、光圈部件143及校准透镜145的配置结构的侧剖视图。
[0062]如图4所示，在光圈部件143中形成有用于将由第I聚光透镜141汇聚的激光束集中在一起的针孔143h。第I聚光透镜141、针孔143h及校准透镜145各自的中心被配置在与从EBS130射出的激光束的光轴CL重叠的位置上。
[0063]光圈部件143可配置在第I聚光透镜141的后侧焦点的附近。
[0064]在此，“第I聚光透镜141的后侧焦点的附近”是指，在光圈部件143的配置位置距第I聚光透镜141的后侧焦点的位置偏离不大的范围内，可使配置位置有些不同。例如，只要是第I聚光透镜141的中心至第I聚光透镜141的后侧焦点的距离Kl与第I聚光透镜141的中心至光圈部件143的针孔143h的中心的距离K2之比K1/K2在0.9/1以上且
1.1/1以下的范围，就可在第I聚光透镜141的后侧焦点的附近配置光圈部件143。若是这种范围，则能够有效地将由第I聚光透镜141汇聚的激光束集中在一起。
[0065]另外，光圈部件143可配置在第I聚光透镜141的后侧焦点