应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本申请一般涉及半导体封装技术领域，尤其涉及应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统。
【背景技术】
[0002]晶圆级封装技术(WaferLevel Chip Scale Packaging，WLCSP)激光打标工艺中，激光刻蚀晶圆面及背胶面，会产生大量的粉尘，粉尘因为自身重力的因素向下落，而沉积在激光镜头的上表面，最终因为激光镜头沾污灰尘，不透光而造成打印断字等异常。部分激光公司，例如E0 laser Marking公司的设备上，如图1所示，具有吸尘器，吸尘器的抽吸口 2位于激光镜头1上方，通过吸尘器的抽吸作用来对激光镜头1表面进行除尘，采用此种防止取得了一定的效果，但是，才刻蚀一段时间后激光镜头1表面还是会集聚部分灰尘，目前的做法是，每8个小时就必须人工擦拭一下激光镜头1，如此频繁的人工清洁，导致设备利用率降低。同时还面临部分区域擦拭不到位造成产品异常的风险。
【发明内容】
[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，用以解决激光镜头表面被灰尘覆盖造成打印断字的问题。
[0004]本申请提供一种应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，包括激光镜头、吸尘器，所述激光镜头上设置有保护镜片，所述保护镜片上方设置有气幕，所述吸尘器的抽吸口位于所述气幕的上方。
[0005]本申请提供的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，在保护镜片上设置了气幕，通过设置气幕可以在晶圆与激光镜头之间形成一道强大的气流屏障，将刻蚀生产的灰尘隔绝在气流屏障的上方，并通过吸尘器的抽吸，将灰尘吸走，避免了激光镜头表面被灰尘覆盖造成打印断字的问题出现。
【附图说明】
[0006]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0007]图1为现有防尘镜头装置的结构示意图；
[0008]图2为本发明实施例提供的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
[0010]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0011]请参考图2所述，本发明实施例提供的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，包括激光镜头5、吸尘器，激光镜头5上设置有保护镜片6，保护镜片6上方设置有气幕10，吸尘器的抽吸口 9位于气幕10的上方。
[0012]本申请提供的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，在保护镜片6上设置了气幕10，通过设置气幕10可以在晶圆与激光镜头之间形成一道强大的气流屏障4，将刻蚀生产的灰尘隔绝在气流屏障4的上方，并通过吸尘器的抽吸，将灰尘吸走，避免了激光镜头5表面被灰尘覆盖造成打印断字的问题出现，保证了产品的打印质量。
[0013]使用中，激光器发出的激光7经振镜8改变扫描方向，以在晶圆3的表面、背胶面刻蚀形成相应的图案、文字。刻蚀过程中产生的灰尘靠自身的重力向下飘落，气幕10吹出的空气在晶圆3与激光镜头5之间形成一道强大的气流屏障4，将灰尘隔绝在气流屏障4的上方，防止了灰尘堆积到激光镜头5上，并且通过吸尘器的抽吸，将隔绝在气流屏障上方的灰尘吸走，从根源上避免灰尘堆积到激光镜头5上，而对激光造成遮挡的问题。此外，由于克服了灰尘堆积的问题，则不需要定期频繁的对激光镜头进行清洁，因此在提高产品质量的同时，还提高了设备的利用率。
[0014]进一步地，为了防止气幕10对激光7造成遮挡，则将气幕10设置在激光镜头5边缘的外侧。
[0015]进一步地，为了防止抽吸口 9对激光7造成遮挡，则将抽吸口 9设置在激光镜头5边缘的外侧。
[0016]进一次地，为了保证吸尘器对灰尘抽吸的力度及抽吸的充分性，抽吸口 9采用圆弧形结构，采用弧形结构使得抽吸口 9的形状与晶圆3、激光镜头5的形状匹配，这样，对散布于气幕10与晶圆3之间的灰尘的抽吸力度比较均衡，灰尘抽除率高。
[0017]进一步地，为了更好的提高灰尘的抽除率，激光镜头5边缘的外侧均匀设置有至少两个抽吸口 9。本实施例中对称设置了两个抽吸口 9，当然可根据除尘的需要设置其它数量的抽吸口 9。
[0018]进一步地，气幕10的出风口水平设置，以将灰尘较为充分的隔绝在气流屏障4的上方。
[0019]以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。
【主权项】
1.一种应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，包括激光镜头、吸尘器，所述激光镜头上设置有保护镜片，其特征在于，所述保护镜片上方设置有气幕，所述吸尘器的抽吸口位于所述气幕的上方。2.根据权利要求1所述的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，其特征在于，所述气幕位于所述激光镜头边缘的外侧。3.根据权利要求1所述的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，其特征在于，所述抽吸口位于所述激光镜头边缘的外侧。4.根据权利要求3所述的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，其特征在于，所述抽吸口为圆弧形结构。5.根据权利要求3或4所述的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，其特征在于，所述激光镜头边缘的外侧均匀设置有至少两个所述抽吸口。6.根据权利要求1-4任一项所述的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，其特征在于，所述气幕的出风口水平设置。7.根据权利要求5所述的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，其特征在于，所述气幕的出风口水平设置。
【专利摘要】本申请公开了一种应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，包括激光镜头、吸尘器，所述激光镜头上设置有保护镜片，所述保护镜片上方设置有气幕，所述吸尘器的抽吸口位于所述气幕的上方。本申请提供的应用在激光打标工艺中的防尘镜头系统，在保护镜片上设置了气幕，通过设置气幕可以在晶圆与激光镜头之间形成一道强大的气流屏障，将刻蚀生产的灰尘隔绝在气流屏障的上方，并通过吸尘器的抽吸，将灰尘吸走，避免了激光镜头表面被灰尘覆盖造成打印断字的问题出现。
【IPC分类】B23K26/70, B23K26/142
【公开号】CN105328333
【申请号】CN201510902126
【发明人】郭其俊
【申请人】南通富士通微电子股份有限公司
【公开日】2016年2月17日
【申请日】2015年12月8日