专利名称：一种热反射板结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种反射板结构，特别涉及一种热反射板结构。
背景技术：
在现有技术的真空镀膜过程中，通常需要将衬底加热到一定的温度，以提高所镀膜层的品质，如非晶硅薄膜太阳能电池在镀透明导电氧化物膜和非
晶硅膜时需要将玻璃衬底加热至150-300°C。在连续性的生产线作业过程中，通常使用红外加热的方式将衬底加热到所需的温度。在使用红外灯管加热衬底的过程中，为了减少相应的红外线辐射，同时增加热能的利用率，需要使用热反射板将红外线辐射限制在一定范围内，目前通常使用不锈钢板作为热反射层，如图1所示，其中1为衬底，2为红外加热灯管，3为不锈钢反射板。
现有技术在加热衬底l的过程中，如图l所示红外加热过程中，为了提高热能的利用率，通常在红外加热灯管2上方加上不锈钢反射板3，将向上方辐射的红外线反射回来，同时还减少了热辐射对真空腔体的加热。使用不锈钢红外线反射板3后，红外线沿红外线反射光路7被反射，热能的利用率提高，减小了对红外灯管加热功率的要求，降低了单位能耗。
但是图1所示的热反射板在高温下，如六七百度时，因不锈钢片热膨胀系数过大，经常会出现大幅变形而挤压、损坏红外加热灯管的问题，如图2所示，在加热过程中，位于红外灯管上方的不锈钢反射板3在高温下易发生变形，不锈钢反射板3在六七百度时变形已极为严重，变形后的不锈钢反射板3挤压红外灯管2易使其破裂，该问题在不锈钢反射板3面积较大时尤为严重。为解决此问题，常用的方案是增加不锈钢反射板3与红外灯管2之间的距离，并增加不锈钢反射板3的厚度，但是这样会增加热辐射被限制的空间，对红外灯管2的功率要求增大，此外，在长期使用过程中，不锈钢反射板3仍会发生变形，同时整个体系的单位能耗也无谓增加。
综上可知，现有技术的缺点是-1. 在对衬底加热的过程中，不锈钢反射板容易受热变形，压迫并破坏红外灯管，造成经济损失和不安全因素。
2. 加大不锈钢热反射板与红外灯管之间的间距后，增加了热辐射被限制的空间，对红外灯管的功率要求增大。
3. 加大不锈钢热反射板与红外灯管之间的间距后，部分热能被浪费，加热效果不佳，整个体系的单位能耗增加。
发明内容
本发明的目的是提供一种热反射板结构，能够防止不锈钢反射板受热变形而损坏红外灯管，确保生产安全。能有效地提高加热效果，减小能耗。
本发明的构思是由于石英玻璃是透紫外线、可见光、近红外线性能最
好的玻璃，能耐1200。C的高温，硬度大而且受热形变极小，本发明使用石英
玻璃架托住不锈钢反射板而构建的红外线反射装置，避免不锈钢反射板因为受热变形而接触下方灯管。此外，石英玻璃自身也能反射一部分红外线，反
射率约8%，使得它与不锈钢片组成的复合体系热反射性能更为优异。采用石英玻璃托架作支撑力，只需用很薄的不锈钢片来反射红外线，减少了不锈钢的用量，融合了石英玻璃在高温下强度高和不锈钢反射板的热反射性能好的优点。
本发明提供一种热反射板结构，包括依次叠加的若干红外加热灯管、不锈钢反射板，还包括石英玻璃托架，该托架设置于靠近不锈钢反射板下方。优选地，所述该托架包括支撑平面和支撑脚，支撑平面覆盖红外加热灯管。
优选地，所述支撑脚设置在支撑平面的边缘。
显而易见，石英玻璃能反射部分红外辐射；同时由于，支撑力来自于石英玻璃托架，只需很薄的不锈钢片；较之于使用厚的不锈钢反射板，该设计方案成本低；石英玻璃托架和不锈钢片结合构架的热反射装置寿命更长。一种热反射板结构的应用，该热反射板结构用于加热大面积衬底。优选地，该热反射板结构用于非晶硅薄膜太阳能电池的制备、透明导电玻璃的制备、Low-E (Low Eradiation,低辐射)玻璃的制备、以及TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, 薄膜场效应晶体管液晶显示器)的制备等过程中衬底的加热。优选地，所述衬底可以是刚性衬底(普通玻璃，石英玻璃，钠钙玻璃，不锈钢等)，也可以是柔性衬底(钛，有机聚合物等)。
本发明由于采用了以上技术方案，使之与现有技术相比，具有以下优点和积极效果
1. 防止在对衬底加热的过程中，不锈钢反射板受热变形，避免了经济损失并减少了不安全因素。
2. 减少了热辐射对真空腔体的加热，即减小了对红外灯管的功率要求。
3. 充分利用热能，提高加热效果，减小整个体系的单位能耗。
4. 减少了不锈钢板的厚度，降低了成本。
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。
在附图中-
图1是现有技术的热反射板结构示意图。
图2是现有技术的热反射板受热变形的示意图。图3是本发明的热反射板结构示意图。附图标号-衬底[2]红外加热灯管[3]不锈钢反射板 [4]石英玻璃托架[5]支撑平面[6]支撑脚 [7]红外线反射光路
具体实施例方式
如图3所示，使用本发明对衬底进行加热。本装置从下到上依次叠加一根红外加热灯管2、石英玻璃托架4、不锈钢反射板3。石英玻璃托架4包括支撑平面5和支撑脚6，支撑平面5覆盖红外加热灯管2。石英玻璃托架4的支撑脚6设置在支撑平面5边缘。石英玻璃托架4的支撑脚的高度大于衬底到石英玻璃托架4的高度，完全覆盖红外加热灯管2和红外加热灯管2下方的衬底1。
在加热过程中，红外加热灯管2不断发出红外线，红外线沿红外线反射光路7先后被石英玻璃托架4和不锈钢反射板3反射到衬底。在使用了一段时间后，温度到达700度以上时，不锈钢反射板3因受热发生膨胀，产生形 变，而石英玻璃硬度大和膨胀系数低，其在700度是几乎不产生形变，也不 会因为受不锈钢反射板3的挤压而产生形变。由于受到石英玻璃托架4的保 护，不锈钢反射板3的形变不会触及到红外加热灯管2，整个系统能继续安 全工作。
本发明充分利用石英玻璃优异的高温稳定性，石英玻璃在IOO(TC以下形 变极小，用石英制造托架托住不锈钢热反射板，充分利用石英玻璃高温下强 度高和不锈钢热反射板的反射性能好的优点，因支撑力主要来自于石英玻璃 托架，只需使用很薄的不锈钢片即可。
本发明充分利用石英玻璃光透过性好，硬度大，膨胀系数低，耐高温， 化学稳定性好的优点，用优质石英玻璃制造托架，用托架托住很薄的不锈钢 片来反射加热过程中的红外辐射。石英玻璃硬度大和膨胀系数低的优点，弥 补了不锈钢反射板的不足，解决了加热过程中，不锈钢反射板的因热膨胀系 数过大发生大幅形变而损坏红外加热灯管的问题，可以应用于非晶硅薄膜太 阳能电池的制备，透明导电玻璃的制备，Low-E玻璃的制备，以及TFT-LCD 的制备等。
最后应当说明的是以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其 限制；尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，所属领域的普通技 术人员应当理解依然可以对本发明的具体实施方式
进行修改或者对部分技 术特征进行等同替换；而不脱离本发明技术方案的精神，其均应涵盖在本发 明请求保护的技术方案范围当中。
权利要求
1、一种热反射板结构，包括依次叠加的若干红外加热灯管(2)、不锈钢反射板(3)，其特征在于还包括托架(4)，该托架(4)设置于靠近不锈钢反射板(3)下方。
2、 如权利要求1所述的热反射板结构，其特征在于所述托架(4)是石英玻璃托架。
3、 如权利要求1或2所述的热反射板结构，其特征在于所述该托架(4)包括支撑平面(5)和支撑脚(6)，支撑平面(5)覆盖红外加热灯管(2)。
4、 如权利要求3所述的热反射板结构，其特征在于所述支撑脚(6)设置在支撑平面(5)的边缘。
5、 一种如权利要求l所述的热反射板结构的应用，其特征在于该热反射板结构用于加热大面积衬底。
6、 一种如权利要求l所述的热反射板结构的应用，其特征在于该热反射板结构用于加热生产非晶硅薄膜太阳能电池过程中的玻璃基片。
7、 一种如权利要求1所述的热反射板结构的应用，其特征在于该热反射板结构用于加热透明导电玻璃镀制过程中的玻璃基底。
8、 一种如权利要求1所述的热反射板结构的应用，其特征在于该热反射板结构用于加热低辐射玻璃制备过程中的玻璃基底。
9、 一种如权利要求1所述的热反射板结构的应用，其特征在于该热反射板结构用于加热薄膜场效应晶体管液晶显示器制备过程中的衬底。
全文摘要
本发明公开了一种热反射板结构，包括依次叠加的若干红外加热灯管、不锈钢反射板，还包括石英玻璃托架，该托架设置于靠近不锈钢反射板下方。本发明用石英玻璃托架托住不锈钢热反射板，防止衬底加热过程中不锈钢反射板受热变形损坏红外灯管，由于支撑力主要来自于石英玻璃托架，只需用很薄的不锈钢片即可。石英玻璃耐高温、强度高和不锈钢反射板的热反射性能好的双重优点，提高加热效果，减小能耗，延长热反射结构使用寿命。
文档编号C23C14/28GK101672454SQ20081004266
公开日2010年3月17日 申请日期2008年9月9日 优先权日2008年9月9日
发明者平 丰, 芃 夏, 施松林, 范振华, 范继良 申请人:上海拓引数码技术有限公司