专利名称：一种提高安全性的石墨盘抓手的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及利用金属有机化学汽相淀积(M0CVD)技术生长外延片技术领域，尤其是指
应用于高频加热技术时常用的一种提高安全性的石墨盘抓手。
背景技术：
金属有机化学汽相淀积(MOCVD)系统是一种能够制备纳米量级超薄层材料的研究和生产
设备，被广泛用于纳米半导体材料及器件的研究和开发工作，在MOCVD设备上进行材料生
长需要快速的升降温工艺，常用中高频感应加热和电阻丝加热两种。用中高频加热时常使用
石墨盘做加热主体，石墨盘是一种洁净的加热方式。
由于传统的石墨盘抓手利用的是杠杆原理在抓手一端l'固定时，另一端2'整体围绕O
点转动，导致推手ll'及21'端开口度过小时操作不灵活，开口度过大时则容易碰到MOCVD
石英件的侧壁而造成昂贵石英件的损坏；其次由于其分离的两个部分间的连接部分较少(只
有O点)，因此整个结构不够紧凑，容易脱落松动而造成安全事故。
因此，设计一种活动灵活并且能够方便安全操作的专用抓手便显的尤其重要。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供用于MOCVD技术领域的一种安全灵活且能准确定位的石墨盘专用抓手。
为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案 一种提高安全性的石墨盘抓手，该石墨盘抓手包括第一悬臂及与第一悬臂连接的第二悬臂，所述第一悬臂包括第一横梁与第一横梁通过螺纹连接的推手，所述第二悬臂包括第二横梁及与所述第二横梁匹配的定标模块和自
锁模块，其特征在于所述第二横梁为中空钢管，其一侧开设有窗口，用于和第一横梁连接并控制第一横梁中推手的移动距离。
作为本实用新型的优选方案之一，所述窗口上方有刻度标注，便于决定在具体的场合下石墨盘抓手打开的距离。
作为本实用新型的优选方案之一，所述石墨盘抓手进一步包括与第二悬臂横梁通过螺钉
固定的自锁装置。
作为本实用新型的优选方案之一，所述自锁装置由不锈钢管制成。
作为本实用新型的优选方案之一，所述不锈钢管内径大于或等于第二悬臂上的第二横梁外径，所述不锈钢管上有螺纹孔并通过螺钉与第二横梁连接固定。
作为本实用新型的优选方案之一，所述石墨盘抓手包括定标模块，该模块由内径大于或等于第二横梁外径的不锈钢管制成，其上有螺纹孔并通过螺钉与第二横梁连接固定以确定推手的最大活动距离进而精确控制抓手的开口度。
本实用新型涉及一种活动灵活并且能够方便准确安全操作的石墨盘抓手，增加了石墨盘操作的安全性。
图1是现有石墨盘抓手结构示意图2是本实用新型石墨盘抓手结构示意图3是本实用新型石墨盘抓手结构分解图。
具体实施方式
本实用新型涉及一种提高安全性的石墨盘抓手，请参照图2至图3所示，该石墨盘抓手包括第一悬臂1及与第一悬臂1连接的第二悬臂2，所述第一悬臂1包括第一横梁11与第一横梁11通过螺纹连接的第一推手12，所述第二悬臂2包括中空的第二横梁21及与所述第二横梁21通过螺纹连接的第二推手22，所述石墨盘抓手设有套设于第二横梁21上的定标模块3和自锁模块4，所述第二横梁21上开有窗口 23，该窗口 23—侧设有刻度盘24，便于决定在具体的场合下石磨盘抓手打开的距离。所述定位模块3用于和第二横梁21连接并控制第一横梁11的第一推手12的移动距离。
所述窗口 23上方有刻度盘24，便于决定在具体的场合下石墨盘抓手打开及闭合时的准确位置。第一悬臂1与第二悬臂2组合后最大的开口不大于整个活动区域的范围，防止造成周边器件的损伤，同时其最小开口等于要抓取石墨盘的外围直径并通过自锁模块4锁定在具体的位置，增加了操作的安全性。
所述自锁装置4通过螺钉42和第一套筒41与第二横梁21固定。所述定标模块3通过螺钉32和第二套筒31装设于第二横梁21上。
所述第一横梁11远离第一推手12的一端设有凹槽110，所述第一套筒41 一端设有与所述凹槽110配和的卡槽43。使用时，螺钉33插装于所述凹槽110内，卡槽43卡合与所述螺钉33上。
此抓手由第一悬臂1和第二悬臂2两个分立部件组成，第一悬臂1和第二悬臂2的接触部分较长，这样整体结构比较紧凑且能够承受更大的重量从而增加了操作安全性。
第一悬臂1有独立的结构和一个可以拆卸的第一推手11组成，推手可以和整个第一悬臂1通过螺纹连接。第二悬臂2包含一边开有窗口 23的第二横梁21，用于和第一悬臂1的连接和控制第一悬 臂1中第一推手12的移动距离。
第二悬臂2的窗口 23区上方有刻度盘24，便于决定在具体的场合下石磨盘抓手打开的距 离。第一悬臂1和第二悬臂2组合后最大的开口不大于整个活动区域的范围防止造成器件的 损伤。同时加入了自锁装置4，定标模块3，进一步增加其安全性和准确性。
自锁装置4由材质稍软且弹性较好的不锈钢管制成。该不锈钢管内径稍大于或等于第二 悬臂2的第二横梁21外径且最终外型如附图2至3所标示形状。其上有螺纹孔并通过螺钉与 第二悬臂2的第二横梁21连接固定。所述石墨盘抓手包括定标模块3。该定标模块3由内径 稍大于或等于第二悬臂2的第二横梁21外径的不锈钢管制成，其上有螺纹孔并通过螺钉与第 二悬臂2的第二横梁21连接固定以确定第一推手及第二推手的最大活动距离进而精确控制石 磨盘抓手的开口度。
以上实施例仅用以说明而非限制本实用新型的技术方案。在此基础上所作的不脱离本实 用新型精祌和范围的特征均应涵盖在本实用新型的专利申请范围当中。
权利要求1. 一种提高安全性的石墨盘抓手，该石墨盘抓手包括第一悬臂及与第一悬臂连接的第二悬臂，所述第一悬臂包括第一横梁与第一横梁通过螺纹连接的推手，所述第二悬臂包括第二横梁及与所述第二横梁匹配的定标模块和自锁模块，其特征在于所述第二横梁为中空钢管，其一侧开设有窗口，用于和第一横梁连接并控制第一横梁中推手的移动距离。
2. 如权利要求1所述的一种提高安全性的石墨盘抓手，其特征在于所述窗口上方有刻度 标注，便于决定在具体的场合下石墨盘抓手打开的距离。
3. 如权利要求1所述的一种提高安全性的石墨盘抓手，其特征在于所述石墨盘抓手进一 步包括与第二悬臂横梁通过螺钉固定的自锁装置。
4. 如权利要求3所述的一种提高安全性的石墨盘抓手，其特征在于所述自锁装置由不锈 钢管制成。
5. 如权利要求4所述的一种提高安全性的石墨盘抓手，其特征在于所述不锈钢管内径大 于或等于第二悬臂上的第二横梁外径，所述不锈钢管上有螺纹孔并通过螺钉与第二横梁连接 固定。
6. 如权利要求1所述的一种提高安全性的石墨盘抓手，其特征在于所述石墨盘抓手包括 定标模块，该模块由内径大于或等于第二横梁外径的不锈钢管制成，其上有螺纹孔并通过螺 钉与第二横梁连接固定以确定推手的最大活动距离进而精确控制抓手的开口度。
专利摘要本实用新型涉及一种提高安全性的石墨盘抓手，该石墨盘抓手包括第一悬臂及与第一悬臂连接的第二悬臂，所述第一悬臂包括第一横梁与第一横梁通过螺纹连接的推手，所述第二悬臂包括中空的第二横梁及与所述第二横梁匹配的定标模块和自锁模块，所述第二横梁开有窗口，用于和第一横梁连接并控制第一横梁中推手的移动距离。所述窗口上方有刻度标注，便于决定在具体的场合下石墨盘抓手打开及闭合时的准确位置。第一悬臂与第二悬臂组合后最大的开口不大于整个活动区域的范围，防止造成周边器件的损伤，同时其最小开口等于抓取石墨盘的外径并通过自锁模块锁定在具体的位置，进一步增加了操作的安全性。
文档编号C23C16/00GK201288216SQ200820154598
公开日2009年8月12日 申请日期2008年10月29日 优先权日2008年10月29日
发明者淼 李 申请人:上海蓝光科技有限公司