专利名称：湿式镀膜系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种镀膜技术，尤其涉及一种湿式镀膜系统。
背景技术：
目前，薄膜制备技术一般分为干式镀膜与湿式镀膜两种方法。其中，湿式镀膜工艺 具有制程设备简单、便宜、沉积速率快、易控制沉积厚度及特性、制程温度低、不受限于形状 复杂之基板、适用于多样性材料、更可将薄膜制备于软性基材上等优点。故，近年来湿式镀 膜工艺已广泛被用来沉积陶瓷、高分子、金属等材料的镀层。湿式镀膜产生的已镀膜的基板 一般需要进行退火工艺，即将已镀膜的基板加热至400 500°C并持续一段时间后，慢慢冷 却，从而使该基板上的薄膜达到一定的性能。但是，将基板从镀膜工艺到退火工艺的转移过程中，由于该镀膜基板暴露在空气 中，容易造成该镀膜基板刚镀上的薄膜层被氧化。因此，该镀膜基板镀膜完成后，会造成该 镀膜基板的薄膜层品质不佳，从而造成镀膜良率下降。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种能提升镀膜良率的湿式镀膜系统。一种湿式镀膜系统，其包括选择性地相互连通的一个镀膜室、一个退火室及一个 设置在该退火室上的腔门。该镀膜室内包括一个用于对至少一个待镀膜基板进行镀膜的湿 式镀膜装置及一个夹持手臂。该夹持手臂用于夹持该湿式镀膜装置并驱动该湿式镀膜装置 在镀膜室及退火室内自由移动。该至少一个待镀膜基板在该湿式镀膜装置上的装卸通过该 腔门在该退火室内进行。该退火室内包括一加热装置，该加热装置用于对该湿式镀膜装置 产生的镀膜基板进行加热，该加热后的镀膜基板在该退火室内冷却。与现有技术相比，所述湿式镀膜系统，通过在相互连通的镀膜室、退火室内进行镀 膜及加热，从而可避免因该镀膜基板在空气中的移动而带来的氧化问题，提升了镀膜良率。
图1为本发明一种实施方式提供的湿式镀膜系统的结构示意图。图2为图1中的湿式镀膜系统的湿式镀膜装置的立体示意图。图3为图1中的湿式镀膜系统的另一种湿式镀膜装置的立体示意图。图4为图3中沿IV-IV线的湿式镀膜装置的夹持单元的剖面示意图。图5为图1中的湿式镀膜系统的又一种湿式镀膜装置的立体示意图。图6为图5中沿VI-VI线的湿式镀膜装置的剖面示意图。图7为图1中的湿式镀膜系统的再一种湿式镀膜装置的立体示意图。图8为图7中沿VII-VII线的湿式镀膜装置的剖面示意图。
具体实施例方式下面将结合附图对本发明实施方式作进一步的详细说明。请参阅图1，为本发明一种实施方式提供的湿式镀膜系统70，其包括相互连通的 一个镀膜室71、一个退火室72、一个装卸室73及一个设置在该装卸室73上的腔门74。该镀膜室71内包括一个用于对至少一个待镀膜基板101进行镀膜的湿式镀膜装 置100及一个夹持手臂77。在本实施方式中，该夹持手臂77为机械手臂，其用于夹持该湿 式镀膜装置100并驱动该湿式镀膜装置100在镀膜室71、退火室72及装卸室73内自由移 动。优选地，该镀膜室71与该退火室72之间、该退火室72与该装卸室73之间均存在一个 自动门75。当该夹持手臂77移动至自动门75前时，该自动门75自动打开；当该夹持手臂 77远离自动门75时，该自动门75自动关闭。该待镀膜基板101通过在一定时间内浸泡在 一待镀液体102中以达到镀膜目的。该待镀液体102承载在一容器104中，且该待镀液体 102 一般具有挥发性，当该镀膜室71内存在多种待镀液体102时，其挥发的气体会存在相 互干扰待镀液体102的现象，使得待镀液体102的纯度不高，从而该待镀膜基板101的镀膜 品质不佳。优选地，该镀膜室71还包括一个用于导入氮气的进气装置710及一个用于导出 气体的排气装置711。该进气装置710通入的氮气不易发生化学反应，对镀膜工艺没有影 响。该排气装置711优选为排气泵，从而该排气装置711产生较大压强，加速导走该镀膜室 71内的挥发气体。为了便于该镀膜室71内的待镀液体102的排放，该镀膜室71还包括带 有第一开关阀门7130的排液管713，该排液管713具有排液岔管7131，每个排液岔管7131 与对应的容器104相通并利用第一开关阀门7130排放该多个容器104内的待镀液体102。 优选地，每个排液岔管7131设置在对应的容器104的底壁。再优选地，该镀膜室71内还包 括与该排液管713对应的进液管714，该进液管714带有一个第二开关阀门7140并包括多 个进液岔管7141，每个进液岔管7141利用第二开关阀门7140将待镀液体102注入到该多 个容器104内。退火室72内包括一个加热装置721，该加热装置721用于对该湿式镀膜装置100 镀膜后的待镀膜基板101进行加热，使膜层表面的附着性增加。在本实施方式中，该加热装 置721对该已镀膜的待镀膜基板101加热至400°C 500°C，并持续一段时间，然后停止加 热，使该已镀膜的待镀膜基板101自然冷却。优选地，该加热装置721为电阻丝或加热炉管。 优选地，该退火室72内还包括一个温度传感器723及一个与该温度传感器723电性连接的 控制器725，该温度传感器723用于检测该加热装置721的温度并将检测结果传送至该控制 器725，该控制器725用于根据该检测结果实时控制该加热装置721进行加热。该已镀膜的待镀膜基板101完成加热后，由该夹持手臂77移动至装卸室73内，在 该装卸室73内自然冷却。可以理解，该待镀膜基板101的装卸通过腔门74在该装卸室73 内进行。所述湿式镀膜系统10，通过在相互连通的镀膜室71、退火室72及装卸室73内进 行镀膜及加热，从而可避免该已镀膜的待镀膜基板101在空气中的氧化问题，提升了镀膜 良率。请结合图2，为湿式镀膜系统70中的一种湿式镀膜装置100包括分别用于夹持该 多个待镀膜基板101的多个夹持单元11、一个本体12及用于连接该多个夹持单元11与该 本体12的多个连接体13。本体12包括一个顶壁121、多个首尾相接的侧壁123及一个与该顶壁121相对的底壁125。该多个侧壁123连接该顶壁121与该底壁125。每个夹持单元11均包括一个悬臂110及一个夹持件113。该悬臂110包括相对 的两个端面IlOaUlOb及一个连接该两个端面IlOaUlOb的侧面110c。每个连接体13的 一端固接一悬臂110的侧面110c，该连接体13的另一端固接该本体121的其中一个侧壁 123。该夹持件113设置在该悬臂110远离该本体12的端面IlOb上，该夹持件113用于夹 持该待镀膜基板101，优选地，该夹持件113为夹爪。在本实施方式中，该待镀膜基板101的 数量为6个，该夹持单元11、该待镀液体102、该容器104、该侧壁123与该待镀膜基板101 的数量一一对应，可以理解，该待镀膜基板101的数量可以更多或者更少。进一步，为了监控该待镀膜基板101进行镀膜，湿式镀膜装置100还包括一个固接 在该悬臂110的另一个端面Ila上的监控器15。该监控器15用于监控该待镀膜基板101 进行镀膜，如监控该带镀膜基板101浸润在该待镀液体102中的深度、时间等镀膜参数。当 该待镀膜基板101达到最佳浸润时间时，该监控器15可发出报警动作以提示作业人员。在 本实施方式中，该监控器15采用以下方式实现自动监控功能。该夹持件113设置有一个与 该监控器15电性连接的传感器1131，该传感器1131用于采集数据(如电压值、电流值)， 并将数据传输至该监控器15。当该夹持件113协同该传感器1131进入该待镀液体102中 时，该传感器1131根据该待镀液体102产生信号，并将该信号传递至该监控器15。该监控 器15根据该传感器1131的信号，掌控该待镀膜基板101浸润在该待镀液体102中的深度、 时间。该监控器15与该传感器1131通过导线(图未示)电性连接，可以理解，该导线可以 埋藏在该夹持单元11内。具体地，当该传感器1131接触到该待镀液体102时，该传感器 1131的电压(也可以是电流)发生巨大变化，该监控器15接收到该传感器1131的电压发 生巨大变化时，该监控器15提示作业人员该待镀膜基板101已以最佳的形式浸润在该待 镀液体102中，并且该监控器15开始计时，当该监控器15计算到该待镀膜基板101在该待 镀液体102中的最佳浸润时间时，该监控器15提示作业人员该待镀膜基板101已在该待 镀液体102中到达最佳浸润时间。本实施方式提供的湿式镀膜装置100通过设置6个夹持单元11，以使该6个夹持 单元分别夹持6个带镀膜基板101，从而该湿式镀膜装置100能同时对该6个带镀膜基板 101进行镀膜，使该湿式镀膜装置100具有高生产率。请一并参阅图3及图4，为湿式镀膜系统70中的另一种湿式镀膜装置200，其与湿 式镀膜装置100的区别在于该湿式镀膜装置200的每个夹持单元21还包括一个传动件 212，该传动件212的一端连接该悬臂210，该传动件212的另一端连接该夹持件213 ；该悬 臂210为中空的且包括一个内顶壁2101，该悬臂210的内表面上开设有第一内螺纹2108， 该传动件212的外表面开设有与该第一内螺纹2108相螺合的第一外螺纹2121，该悬臂210 与该传动件212相螺合以使该传动件212可被该悬臂210的第一内螺纹2108导引移动；该 悬臂210内的内顶壁2101上设置有一个与该监控器25电性连接并受该监控器25控制的 马达2100及一个与该内顶壁2101垂直的转轴2102，该传动件212靠近该转轴2102的一端 开设有一个用于收容该转轴2102的凹槽2120，该转轴2102 —端与该马达2100固定，该转 轴2102的另一端与该传动件212相螺合并收容在该凹槽2120内，该转轴2102的外表面设置有第二外螺纹2104，该凹槽2120内壁设置有与该第二外螺纹2104相螺合的第二内螺纹 2122，且第一内螺纹2108与第二内螺纹2122同步；该监控器25控制该马达2100带动该转轴2102旋转，以使该传动件212的第一外螺纹2121与该悬臂210的第一内螺纹2108相配 合，从而使该转轴2102的第二外螺纹2104与该传动件212的第二内螺纹2122相螺合，进 而使该传动件212在该悬臂210内自由伸缩。由于该传动件212能在该悬臂210内自由伸缩，故，该传动件212带动该夹持件 213协同该带镀膜基板101可被该悬臂210导引移动。因此，该监控器25监控到该待镀膜 基板101的最佳浸润深度时，该监控器25控制该马达2100停止转动；该监控器25监控到 该待镀膜基板101的最佳浸润时间时，控制该马达2100带动该传动件212以使该带镀膜基 板101从待镀液体102中拉出。可以理解，驱动该传动件212被该悬臂210的内螺纹2108 导引移动的方式不局限于本实施方式中的马达200。与该湿式镀膜装置100相比，该湿式镀 膜装置200除具有该湿式镀膜装置100的有益效果之外，该湿式镀膜装置200还能自动将 该待镀膜基板101进行浸入或拉出待镀液体102中，实现该湿式镀膜装置200的智能控制， 降低作业人员的劳动强度。请一并参阅图5及图6，为湿式镀膜系统70的又一种湿式镀膜装置300，其与湿式 镀膜装置100的区别在于该湿式镀膜装置300的本体32、连接体33及悬臂310均为中空 的，且该本体32、该连接体33及该悬臂310相互连通；该本体32的顶壁321开设有一个入 风口 3210，该悬臂310的端面310b开设有与该入风口 3210相通的多个出风口 311 ；该监控 器35还用于监控该待镀膜基板101的烘烤温度、烘烤时间等参数。优选地，在该入风口 3210设置一个吹风机36，该监控器35与该吹风机36电性连 接并控制该吹风机36的运转。当该待镀膜基板101从该待镀液体102撤离时，该监控器35 控制该吹风机36往该入风口 3210进风，以使残留在该待镀膜基板101上的待镀液体102 迅速发挥。优选地，从该入风口 3210进的风为氮气，由于该氮气不会影响该待镀膜基板101 及该待镀液体102的组成成分，因此，该待镀膜基板101的镀膜质量不会受到影响。该监控 器35监控到该待镀膜基板101达到最佳烘烤温度以及最佳烘烤时间时，该监控器35控制 该吹风机36停止运转。与该湿式镀膜装置100相比，该湿式镀膜装置300除具有该湿式镀 膜装置100的有益效果之外，该湿式镀膜装置300通过经由该入风口 3210进热风，将该热 风从该多个出风口 311吹出，从而将残留在该待镀膜基板101上的待镀液体102迅速发挥。 因此，该已镀膜的基板在转移的过程中，由于避免在空气中暴露，从而不会受到空气的腐蚀 或氧化，使得该已镀膜的基板的镀膜品质较佳。请一并参阅图7至图8，为湿式镀膜系统70的再一种湿式镀膜装置400，其与湿式 镀膜装置200的区别在于该湿式镀膜装置400的本体42及连接体43均为中空的，且该本 体42、该连接体43及该悬臂410相互连通；该本体42的顶壁421开设有一个入风口 4210， 该悬臂410的端面410b开设有与该入风口 4210相通的多个出风口 411 ；该监控器45还用 于监控该待镀膜基板101的烘烤温度、烘烤时间等参数。优选地，在该入风口 4210设置一个吹风机46，该监控器45与该吹风机46电性连 接并控制该吹风机46的运转。当该待镀膜基板101从该待镀液体102撤离时，该监控器45 控制该吹风机往该入风口 4210进风，以使残留在该待镀膜基板101上的待镀液体102迅速 发挥。优选地，从该入风口 3210进的风为氮气，由于该氮气不会影响该待镀膜基板101及 该待镀液体102的组成成分，因此，该待镀膜基板101的镀膜质量不会受到影响。该监控器 45监控到该待镀膜基板101达到最佳烘烤温度以及最佳烘烤时间时，该监控器45控制该吹风机46停止运转。与该湿式镀膜装置100相比，该湿式镀膜装置400除具有该湿式镀膜装 置200的有益效果之外，该湿式镀膜装置400通过经由该入风口 4210进热风，将该热风从 该多个出风口 411吹出，从而将残留在该待镀膜基板101上的待镀液体102迅速发挥。因 此，该已镀膜的基板101在转移的过程中，由于避免在空气中暴露，从而不会受到空气的腐 蚀或氧化，使得该已镀膜的基板101的品质较佳。 虽然本发明已以较佳实施方式披露如上，但是，其并非用以限定本发明，另外，本 领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化等。当然，这些依据本发明精神所做的变 化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。
权利要求
一种湿式镀膜系统，其特征在于，其包括选择性地相互连通的一个镀膜室、一个退火室及一个设置在该退火室上的腔门，该镀膜室内包括用于对至少一个待镀膜基板进行镀膜的一个湿式镀膜装置及一个夹持手臂，该夹持手臂用于夹持该湿式镀膜装置并驱动该湿式镀膜装置在镀膜室及退火室内自由移动，该至少一个待镀膜基板在该湿式镀膜装置上的装卸通过该腔门在该退火室内进行，该退火室内包括一加热装置，该加热装置用于对该湿式镀膜装置产生的镀膜基板进行加热，该加热后的镀膜基板在该退火室内冷却。
2.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该湿式镀膜系统还包括一个与该 退火室选择性连通的装卸室，该夹持手臂还用于夹持该湿式镀膜装置并驱动该湿式镀膜装 置在装卸室内自由移动，该腔门设置在该装卸室上，该待镀膜基板的装卸通过该腔门在该 装卸室内进行。
3.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该镀膜室内还包括一个用于导入 氮气的进气装置及一个用于导出气体的排气装置。
4.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该镀膜室内还包括承载有待镀液 体的多个容器及带有第一开关阀门的排液管，该待镀液体用于对该待镀膜基板进行镀膜， 该排液管包括多个排液岔管，每个排液岔管与对应的容器相通并利用该第一开关阀门排放 该多个容器内的待镀液体。
5.如权利要求4所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该镀膜室内还包括带有第二开关 阀门的进液管，该进液管包括多个进液岔管，每个进液岔管利用该第二开关阀门将待镀液 体注入到该多个容器内。
6.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该退火室内还包括一个温度传感 器及一个与该温度传感器电性连接的控制器，该温度传感器用于检测该加热装置的温度并 将检测结果传送至该控制器，该控制器用于根据该检测结果实时控制该加热装置进行加 热。
7.如权利要求2所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该镀膜室与该退火室之间、及该退 火室与该装卸室之间均存在一个自动门，以使该夹持手臂驱动该湿式镀膜装置在镀膜室、 退火室及装卸室内自由移动。
8.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该湿式镀膜装置包括分别用于夹 持多个待镀膜基板的多个夹持单元、本体及用于连接该多个夹持单元与该本体的多个连接 体，每个夹持单元包括悬臂及用于夹持该待镀膜基板的夹持件，该悬臂包括相对的两个端 面及连接该两个端面的侧面，该连接体与该侧面固接，该夹持件固接在悬臂的其中一个端 面上。
9.如权利要求8所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该湿式镀膜装置还包括多个监控 器，每个监控器固接在每个夹持单元的悬臂的另一个端面上，该监控器用于监控该待镀膜 基板进行镀膜。
10.如权利要求8所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该本体、该连接体及该悬臂均为 中空的，且该本体、该连接体及该悬臂相互连通，该本体包括一个入风口，该悬臂包括与该 入风口相通的多个出风口，该多个出风口开设在该悬臂设置有该夹持件的端面上。
11.如权利要求9所述的湿式镀膜系统，其特征在于，每个夹持单元还包括一个传动 件，该传动件的一端连接该悬臂，该传动件的另一端连接该夹持件，该悬臂为中空的，该悬臂的内表面具有第一内螺纹，该传动件的外表面具有与该第一内螺纹相螺合的第一外螺 纹，该悬臂与该传动件相螺合以使该连传动件可被该悬臂的第一内螺纹导引移动。
12.如权利要求11所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该本体及该连接体均为中空的， 且该本体、该连接体及该悬臂相互连通，该本体包括一个入风口，该悬臂包括与该入风口相 通的多个出风口，该多个出风口开设在该悬臂设置有该传动件的端面上。
全文摘要
本发明涉及一种湿式镀膜系统，其包括选择性地相互连通的一个镀膜室、一个退火室及一个设置在该退火室上的腔门。该镀膜室内包括一个用于对至少一个待镀膜基板进行镀膜的湿式镀膜装置及一个夹持手臂。该夹持手臂用于夹持该湿式镀膜装置并驱动该湿式镀膜装置在镀膜室及退火室内自由移动。该至少一个待镀膜基板在该湿式镀膜装置上的装卸通过该腔门在该退火室内进行。该退火室内包括一加热装置，该加热装置用于对该湿式镀膜装置产生的镀膜基板进行加热，该加热后的镀膜基板在该退火室内冷却。该湿式镀膜系统，通过在相互连通的镀膜室、退火室内进行镀膜及加热，从而可避免因该镀膜基板在空气中的移动而带来的氧化问题，提升了镀膜良率。
文档编号C23C22/00GK101988193SQ200910305218
公开日2011年3月23日 申请日期2009年8月5日 优先权日2009年8月5日
发明者裴绍凯, 黄建豪 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司