专利名称：多片比较片换位机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光学镀膜技术领域，尤其涉及一种用于光学镀膜膜厚监控系统的
多片比较片换位机构。
背景技术：
在现有技术中，针对非规整膜系的需要，镀膜膜厚监控系统一般是通过一个或多 个比较片的切换，分别用不同的监控波长信号对膜系各层的光学厚度进行监控。随着膜系 的复杂化设计，要在一个或多个比较片上完成整个膜系的控制是无法实现的，必须在十几 个或几十个比较片上进行切换才能完成，因此要求监控系统的比较片上能够容纳和切换更 多的监控点。现在的镀膜机上都装备了比较片换位机构，其通常由6个独立的直径为22mm 的比较片组成，如图1和图2所示，整个机构主要由1个托盘16、3个支撑杆110及1个比 较片盘18组成，整个机构的直径大于124mm，直径比较大，致使工件盘上可装载的被镀件的 有效面积减少，且该机构只能放置6个比较片13，从而直接影响生产效率。
实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术不足之处，提供一种具有较小尺寸，且能够一 次放置多片比较片的多片比较片换位机构。 本实用新型通过以下技术方案实现一种多片比较片换位机构，包括比较片筒、拨
盘、重叠放置于比较片筒内的比较片，以及位于拨盘下方的比较片接收筒。 其中，多片比较片换位机构还可以包括位于拨盘上方的齿轮传动机构。 其中，多片比较片换位机构还可以包括位于齿轮传动机构上方的外传动。 其中，齿轮传动机构可以包括传动轴、安装于传动轴的大齿轮、轴座，以及安装于
轴座的小齿轮。 其中，多片比较片换位机构还可以包括一端连接于轴座的连接板，以及安装于传 动轴一端、且固定于连接板另一端的连接块。 其中，连接板另一端与连接块连接处可以具有旋转密封轴。 本实用新型的有益效果是通过在比较片筒内重叠放置比较片使得比较片机构所 占面积减小，且放置比较片的数量大大增加，从而使整个机构的直径大大縮小。这样，整个 机构的尺寸减小可以使工件盘上可装载的被镀工件的有效面积增大，提高生产效率，而且 可以提高薄膜监控的精度，并降低对硬件系统的要求，容易实现对系统的自动控制。
图1为现有技术的比较片换位机构的结构示意图； 图2为图1的D-D向剖视图； 图3为本实用新型实施例的结构示意图； 图4为图3的K向剖视图；[0015] 图5为图3的C-C向剖视图； 图6为图5的A-A向剖视图； 图7为图5的B-B向剖视图。 其中，11第一螺钉；12小轴；13比较片；14螺母；15第一垫圈；16托盘；17接杆； 18比较片盘；19第一销；110支撑杆；111万向节；112第二销；113接轴；114第二螺钉；115 第二垫圈；116垫；117齿轮;118外套;119轴承;120第三螺钉;121轴;122第四螺钉;123 内套。 21连接块；22轴承；23连接板；24传动轴；25底连接板；26第一紧固件；27轴座；
28弹簧；29拨盘；210底板；211螺母；212比较片接收筒；213小齿轮；214第一隔套；215第 一轴承；216第二紧固件；217比较片；218压块；219比较片筒；220比较片筒螺盖；221第二
轴承；222第二隔套；223第三紧固件；224第三隔套；225轴承座；226第三轴承；227挡圈； 228第一螺钉；229第四紧固件；230第五紧固件；231第二螺钉；232第六紧固件；233大齿 轮；234第七紧固件；235第八紧固件；236外传动；237旋转密封轴。
具体实施方式下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述 图3为本实用新型实施例的结构示意图；图4为图3的K向剖视图；图5为图3的
C-C向剖视图；图6为图5的A-A向剖视图；图7为图5的B-B向剖视图。如图3至图7所
示，依照本实施例的一种多片比较片换位机构包括比较片筒219、拨盘29、重叠放置于比较
片筒219内的比较片217，以及位于拨盘29下方的比较片接收筒212。 在本实施例中，多片比较片换位机构还可以包括位于拨盘29上方的齿轮传动机构。 在本实施例中，多片比较片换位机构还可以包括位于齿轮传动机构上方的外传动 236。 在本实施例中，齿轮传动机构可以包括传动轴24、安装于传动轴24的大齿轮233、 轴座27，以及安装于轴座27的小齿轮213。 在本实施例中，多片比较片换位机构还可以包括一端连接于轴座27的连接板23， 以及安装于传动轴24 —端、且固定于连接板23另一端的连接块21。 在本实施例中，连接板21另一端与连接块23连接处可以具有旋转密封轴237。本 实用新型实施例的多片比较片换位机构(除外传动之外)通过其连接板和连接块固定于真 空室顶板上，多片比较片换位机构(除外传动之外)的转动是通过旋转密封轴将外传动引 入到真空室内，然后由外传动带动大齿轮转动，从而带动整个齿轮传动机构转动实现的。该 实施例在切换比较片时，比较片通过拨盘的转动拨动一个工位，比较片筒内落下一个比较 片，到达预定的位置，同时被切换的比较片随工位转动落到比较片接收筒中，每切换一片， 拨动一个工位。其中，拨盘的转动是通过大齿轮、传动轴、小齿轮以及轴座组成的齿轮传动 机构带动拨盘旋转。 本实用新型的实施例通过在比较片筒内重叠放置比较片使得比较片机构所占面 积减小，且放置比较片的数量大大增加，从而使整个机构的直径大大縮小。例如，本实施 例中的比较片筒内可以放置20片直径为25mm(①25mm)的比较片，整个机构的直径縮小到
4①89mm。这样，整个机构的尺寸减小可以使工件盘上可装载的被镀工件的有效面积增大，提 高生产效率，而且可以提高薄膜监控的精度，并降低对硬件系统的要求，容易实现对系统的 自动控制。 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技 术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改 进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求一种多片比较片换位机构，包括比较片筒、拨盘、重叠放置于所述比较片筒内的比较片，以及位于所述拨盘下方的比较片接收筒。
2. 如权利要求1所述的多片比较片换位机构，其特征在于，所述多片比较片换位机构 还包括位于所述拨盘上方的齿轮传动机构。
3. 如权利要求1所述的多片比较片换位机构，其特征在于，所述多片比较片换位机构 还包括位于所述齿轮传动机构上方的外传动。
4. 如权利要求2或3所述的多片比较片换位机构，其特征在于，所述齿轮传动机构包括 传动轴、安装于所述传动轴的大齿轮、轴座，以及安装于所述轴座的小齿轮。
5. 如权利要求4所述的多片比较片换位机构，其特征在于，所述多片比较片换位机构 还包括一端连接于所述轴座的连接板，以及安装于所述传动轴一端、且固定于所述连接板 另一端的连接块。
6. 如权利要求5所述的多片比较片换位机构，其特征在于，所述连接板另一端与所述 连接块连接处具有旋转密封轴。
专利摘要本实用新型涉及一种多片比较片换位机构。该多片比较片换位机构包括比较片筒、拨盘、重叠放置于比较片筒内的比较片、以及位于拨盘下方的比较片接收筒。本实用新型的多片比较片换位机构通过在比较片筒内重叠放置比较片使得比较片机构所占面积减小，且放置比较片的数量大大增加，从而使整个机构的直径大大缩小。这样，整个机构的尺寸减小可以使工件盘上可装载的被镀工件的有效面积增大，提高生产效率，而且可以提高薄膜监控的精度，并降低对硬件系统的要求，容易实现对系统的自动控制。
文档编号C23C14/54GK201459236SQ200920110200
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月24日 优先权日2009年7月24日
发明者李红然, 王红雪, 陈月增 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司