专利名称：补偿挡板机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光学部件制造设备，尤其涉及一种光学镀膜设备中的补偿挡板机构。
背景技术：
光学镀膜设备包括作为被镀工件(如光学片等)的载体的工件盘、工件盘下部设 置的蒸发源等，工件盘上设有通孔，用于安装被镀工件。在光学镀膜设备中，由于蒸发源距 离光学片上各部位的远近不同，且同一光学片通常会以不同的膜料被多次蒸镀，因此蒸发 源蒸发的膜料不易均匀地蒸镀在被镀工件的表面。为此，目前往往采用补偿挡板来遮挡过 多的蒸发材料，以避免镀膜的不均匀。现有的补偿挡板机构的结构示意图如图l所示，补偿 挡板11固定于杆状定位体12 —端，杆状定位体12的另一端有外螺纹，用于与固定于真空 室底板上的杆连接，该杆上端设置有内螺纹，补偿挡板11的位置变化可以通过杆状定位体 12与该杆之间的螺纹连接来调节。 上述补偿挡板机构存在以下不足补偿挡板一经安装，除了通过上述螺纹进行微 调位置之外，基本上被固定于一个位置，使得补偿挡板不能方便地根据需要补偿的部位调 整位置，因此补偿效果差；另外补偿挡板与杆状定位体的接触面积很小，因此杆状定位体对 补偿挡板的支撑面积很小，当补偿挡板受热后容易变形，这种变形也使得补偿效果变差、被 镀工件的镀膜不均匀，且易变形的补偿挡板重复使用性差。
实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术不足之处，提供一种易于调节补偿挡板位置， 易于固定补偿挡板，且补偿挡板重复使用性好的补偿挡板机构。 本实用新型通过以下技术方案实现一种补偿挡板机构，其包括补偿挡板、连接 架、定位体及固定体，补偿挡板的一端固定于连接架的一端、连接架的另一端与定位体连 接，定位体与固定体连接。 其中，定位体可以包括T型调整座，T型调整座的一端可以与连接架的另一端连 接。 其中，定位体还可以包括L型调整座，L型调整座的一端可以与T型调整座的另一 端连接，L型调整座的另一端可以与固定体连接。 其中，在连接架与T型调整座连接的所述另一端可以设置有长槽定位孔，在T型调
整座与连接架连接的一端可以设置有与连接架上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。 其中，在T型调整座与L型调整座连接的所述另一端可以设置有长槽定位孔，在L
型调整座与T型调整座连接的一端可以设置有与T型调整座上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。 其中，在L型调整座与固定体连接的所述另一端可以设置有长槽定位孔，在固定 体与L型调整座连接的位置可以设置有与L型调整座上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。[0011] 其中，补偿挡板机构还可以包括安装于固定体底部的凸台。 其中，在凸台上可以设置有定位孔，在固定体底部与凸台连接的位置可以设置有 与定位孔匹配的螺纹孔。 其中，凸台可以焊接在真空室壁上。 本实用新型的有益效果是通过设置连接架、T型调整座、L型调整座，以及固定 体，使得补偿挡板在上下、前后、左右均有很大的活动范围，可以根据镀膜工艺的需要在真 空室内自由调整位置；在不需要进行补偿时，可以将定位体及补偿挡板整体拆卸下来，拆卸 方便；且补偿挡板可全部或部分设置于连接架上，加大了连接架对补偿挡板的支撑面积，使 得补偿挡板在受热时不易变形，提高了补偿挡板的重复使用性，从而提高了补偿效果及镀 膜的均匀性。
图1为现有技术的补偿挡板机构的结构示意图； 图2为本实用新型实施例的结构示意图； 图3为图2的A向视图。
具体实施方式下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述 图2为本实用新型实施例的结构示意图，图3为图2的A向视图。如图2和图3 所示，依照本实施例的补偿挡板机构包括补偿挡板1、连接架2、定位体3及固定体4。补偿 挡板l的一端直接或间接地固定于连接架2的一端，固定的方式可以为例如通过螺钉固定； 补偿挡板1的部分面积与连接架2相接触。连接架2的另一端与定位体3连接；定位体3 与固定体4连接。 在本实施例中，定位体3可以包括T型调整座5， T型调整座5的一端可以与连接 架2的另一端连接，连接的方式可以为例如在连接架的另一端设置长槽定位孔，该孔与T 型调整座一端设置的螺纹孔匹配，两者通过螺钉固定连接。T型调整座与连接架的这种连接
方式便于补偿挡板在上下方向的定位和调整。 在本实施例中，定位体3还可以包括L型调整座6， L型调整座6的一端可以与T 型调整座5的另一端连接，连接的方式可以为例如在T型调整座的另一端的两头设置两个 长槽定位孔，该孔与L型调整座一端设置的螺纹相匹配，两者通过螺钉固定连接，T型调整 座与L型调整座的这种连接方式便于补偿挡板在前后方向(即与图2的纸面方向相垂直的 方向)的定位和调整。 在本实施例中，L型调整座6的另一端可以与固定体4直接或间接地连接，其连接 方式可以为例如在L型调整座的另一端设置长槽定位孔，该孔与固定体上设置的螺纹孔 相匹配，两者通过螺钉固定连接，L型调整座与固定体的这种连接方式便于补偿挡板在左右 方向的定位和调整。 上述三种连接方式使得补偿挡板能够在真空室的三维空间中自由调整位置。当 然，本领域技术人员可以理解，在各个维度上的位置调整不限于上述示例，而是可以根据实 际需要设置各部件上的长槽方向，从而设定补偿挡板的调整方向。[0024] 固定体4直接或间接地连接于镀膜真空室的室壁。其中间接连接例如利用安装于 固定体4底部的凸台7，凸台7在与真空室壁垂直的方向凸出，固定体4与凸台7的连接的 方式可以为在凸台上设置定位孔与固定体上的螺纹相匹配，通过螺钉固定连接。凸台可以 焊接在真空室壁上。这样就避免了由于固定体设置于真空室底板，占用了镀膜室内其它部 件的空间，使镀膜机的配置减少，也就减少了镀膜机的功能。 本实用新型的实施例通过设置连接架、T型调整座、L型调整座，以及固定体，使得
补偿挡板能够在三维空间中自由调整位置，获得最佳的补偿效果，从而提高了镀膜质量和
稳定性。在不需要进行补偿时，可以将定位体及补偿挡板整体拆卸下来，拆卸方便；且补偿
挡板可全部或部分设置于连接架上，加大了连接架对补偿挡板的支撑面积，使得补偿挡板
在受热时不易变形、弯折，提高了补偿挡板的重复使用性，降低了生产成本。 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技
术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改
进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求一种补偿挡板机构，其包括补偿挡板、连接架、定位体及固定体，所述补偿挡板的一端固定于所述连接架的一端、所述连接架的另一端与所述定位体连接，所述定位体与所述固定体连接。
2. 如权利要求1所述的补偿挡板机构，其特征在于，所述定位体包括T型调整座，所述 T型调整座的一端与所述连接架的所述另一端连接。
3. 如权利要求2所述的补偿挡板机构，其特征在于，所述定位体还包括L型调整座，所 述L型调整座的一端与所述T型调整座的另一端连接，所述L型调整座的另一端与所述固 定体连接。
4. 如权利要求2所述的补偿挡板机构，其特征在于，在所述连接架与所述T型调整座连 接的所述另一端设置有长槽定位孔，在所述T型调整座上设置有与所述连接架上的长槽定 位孔匹配的螺纹孔。
5. 如权利要求3所述的补偿挡板机构，其特征在于，在所述T型调整座与所述L型调整 座连接的所述另一端设置有长槽定位孔，在所述L型调整座上设置有与所述T型调整座上 的长槽定位孔匹配的螺纹孔。
6. 如权利要求3所述补偿挡板机构，其特征在于，在所述L型调整座与所述固定体连接 的所述另一端设置有长槽定位孔，在所述固定体与所述L型调整座连接的位置设置有与所 述L型调整座上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。
7. 如权利要求1至6之任一项所述的补偿挡板机构，其特征在于，所述补偿挡板机构还 包括安装于所述固定体底部的凸台。
8. 如权利要求7所述的补偿挡板机构，其特征在于，在所述凸台上设置有定位孔，在所 述固定体底部与所述凸台连接的位置设置有与所述定位孔匹配的螺纹孔。
9. 如权利要求7所述的补偿挡板机构，其特征在于，所述凸台焊接在真空室壁上。
专利摘要本实用新型涉及一种补偿挡板机构。该补偿挡板机构包括补偿挡板、连接架、定位体及固定体，补偿挡板的一端固定于连接架的一端、连接架的另一端与定位体连接，定位体与固定体连接。定位体可以包括T型调整座和L型调整座。本实用新型通过设置连接架、定位体以及固定体，使得补偿挡板能够在三维空间中自由调整位置；在不需要进行补偿时，可以将定位体及补偿挡板整体拆卸下来，拆卸方便；且补偿挡板可全部或部分设置于连接架上，加大了连接架对补偿挡板的支撑面积，使得补偿挡板在受热时不易变形，提高了补偿挡板的重复使用性，从而提高了补偿效果及镀膜的均匀性。
文档编号C23C14/24GK201459229SQ20092011017
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月23日 优先权日2009年7月23日
发明者侯荣华, 王燕, 赵益萍 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司